项目名称

(略) 绿菱电子 (略) 项目

建设地点

(略) 经济技术开发区南港工业区港达路以南、中和海丰项目以西

建设单位

(略)

环评机构

联合泰泽 (略)

项目概况

该项目主要建设内容包括：在 * 1车间新建 * 氟碘 * 烷、 * 氟 * 烯、 * 氟 * * 烯、锗烷、 * 锗烷、氟气、 * 氯化钨、 * * 硅烷基胺、 * 碘硅烷的合成产品生产线，氟气/氮气混合气、氪/氟/氖/氙的混合气生产线； * 2车间新建 * 烷、 * 氟 * 烷、 * 烯、 * 氧化碳、 * 氟 * 烷、硫化氢、氧硫化碳的纯化产品生产线， * 氧化碳、 * 氟 * 烷、 * 氧化碳、氧硫化碳、 * 氧化氮的合成产品生产线，氧气/ * 氟化碳、氧气/氦气、硅烷/氮气、硅烷/氢气、硅烷/氦气、磷烷/氮气、磷烷/氢气、 * 烷/氩气、氢气/氮气的混合气生产线， * 氧化 * 氮、氯化氢、 * 氯硅烷、 * 氯氢硅的分装产品生产线、；戊类车间新建 * 氟 * 烷、 * 氟化碳、 * 氟 * 烷、 * 氟化硫、 * 氟 * 烯、 * 氟环 * 烷、 * 氧化碳、 * 氟 * 烷、 * 氯化硼、 * 氟化硼、溴化氢的纯化产品生产线， * 氟化硅合成产品生产线，氦气/氮气、氪气/氖气的混合气生产线，氮气分装产品生产线。该项目建成后生产半导体、集成电路用特种气体 * 种，年产能 * 吨。

主要环境影响及拟采取的环保措施

(1)施工期

本项 (略) 房内建设（厂房项目环境影响登记表已于 * 年 (略) (略) 备案，备案号是 点击查看>> ）， (略) 分建筑物的土建施工，仅涉及新增设备的安装、 (略) 理站的施工，因此，本项目施工期产生的污染物主要为施工扬尘、施工噪声、施工废水以及固废等。施工结束后，此类影响即消失，故施工期的环境影响是短期的、轻微的和小范围的。

(2)运营期

①废气：

本项目各车间产生的废气主要来源于卸料置换、冷凝、反冲洗、充装置换、精馏不凝气排放的工艺生产环节、原料配制、补漆、焊接、配酸等工序产生的废气及实验室废气，废气污染物主要为TRVOC、非 * 烷总烃、氟化物、颗粒物、苯、 * 苯、硫化氢、NOx、硫酸、氯化氢、臭气浓度。另外食堂产生油烟。

* 1车间的卸料置换、冷凝、反冲洗、充装置换的操作均在密闭系统（钢瓶、生产设备等排气口与密闭管道连接）内完成，排放的废气（TRVOC、非 * 烷总烃、氟化物）由密闭管道收集后引入 * 套废气治理设施（ * 级喷淋+活性炭吸附装置）处理后经 * m高排气筒P1排放，锗烷/ * 锗烷产品、 * 氯化钨产品及 * 碘硅烷产品（苯硅烷与之共用）的原料称量，产生的少量颗粒物由独立隔间的排风系统密闭收集后引入 * 套旋 (略) 理后经 * m高排气筒P2排放。 * * 硅烷基胺、苯硅烷、 * 碘硅烷及氨在生产过程中的精馏不凝气由密闭管道收集后引入 * 套废气治理装置（喷淋+活性炭吸附+催化燃烧设施）处理后经 * m高排气筒P3排放（氨最终经催化燃烧转化为NOx）。钢瓶补漆工序位于密闭喷漆房内，采用水性漆，产生的 (略) 理后经喷漆间整体排风系统密闭收集后引入上述喷淋塔后的活性炭吸附+催 (略) 理，处理后废气经 * m高排气筒P3排放。

* 2车间的卸料置换、反冲洗、充装置换、精馏不凝气排放的操作均在密闭系统内完成，排放的废气（TRVOC、非 * 烷总烃、氟化物、硫化氢、氯化氢）由密闭管道收集后引入 * 套废气治理设施（ * 级喷淋+活性炭吸附装置）处理后经 * m高排气筒P4排放。配酸全过程密闭管道连接，无硫酸雾外排，仅在更换酸桶的时候会有少量酸雾逸散，酸雾由配酸间的排风系统密闭收集，与密闭收集的其他废气（NO生产过程中产生NOx和 * 氟化碳混配过程产生的TRVOC、非 * 烷总烃）共同引入 * 套废气治理装置（ * 级喷淋+活性炭吸附装置）处理后经 * m高排气筒P5排放。COS产品原料称量产生的颗粒物由独立隔间的排风系统密闭收集后引入 * 套旋 (略) 理后经 * m高排气筒P6排放。

戊类车间的卸料置换、反冲洗、充装置换、精馏不凝气排放的操作均在密闭系统内完成，排放的废气（TRVOC、非 * 烷总烃、氟化物）由密闭管道收集，与由通风橱负压收集的实验室废气上并引入 * 套废气治理设施（ * 级喷淋+活性炭吸附装置）处理后经 * m高排气筒P7排放； * 氟化硼生产中的精馏不凝气由密闭管道收集后引入单独 * 套废气治理设施（ * 级喷淋塔）处理后经 * m高排气筒P7排放。戊类车间内设机修车间用于焊接，焊接烟尘由工位上顶吸集气罩+及地软帘负压收集， * 氟化硅产品原料称量产生的少量颗粒物由独立隔间的排风系统密闭收集后与焊接烟尘 * 并引入 * 套旋 (略) 理后经 * m高排气筒P8排放。

另外，本项目生产环境均为压力环境，并配套在线监控系统，各置换钢瓶除了与密闭管道连接外，操作时还置于单独的密闭气柜内，各生产线上的反应釜、压缩机、原料罐、冷凝器、电 (略) 均设置了密闭集气罩（集气罩+软帘），密闭气柜和 (略) 配套气体探测器、排风等安全防护设施，并通过密闭管道接入生产线对应的废气治理装置，避免了有毒有害气体的无组织排放。

在采取以上措施后，各车间排气筒排放的氯化氢、硫酸雾及氮氧化物均满足《大气污染物综合排放标准》（GB 点击查看>> 6）表2中新建污染源标准限值； TRVOC、非 * 烷总烃、苯、 * 苯均满足《工业企业挥发性有机物排放控制标准》（DB * / 点击查看>> ） (略) 业排放限值要求；硫化氢满足《恶臭污染物排放标准》（DB * / 点击查看>> ）表1排放限值。

* 1车间排气筒P1排放的氟化物、 * 2车间排气筒P6排放的颗粒物、戊类车间排气筒P7排放的氟化物、排气筒P8排放的颗粒物排放浓度均满足《无机化学工业污染物排放标准》（GB 点击查看>> 5）表4大气污染物特别排放限值； * 1车间排气筒P3排放的颗粒物、 * 2车间排气筒P4排放的氟化物排放浓度满足《大气污染物综合排放标准》（GB 点击查看>> 6）表2 中的标准要求。

全厂排气筒中 * 1车间的P1和P3等效， * 2车间的P4和P5等效，计算后等效排气筒排放的TRVOC、非 * 烷总烃满足《工业企业挥发性有机物排放控制标准》（DB * / 点击查看>> ）表1排放限值要求。

食堂油烟经 (略) 理后由 * m专用烟道P9排放，可满足《餐饮业油烟排放标准》（DB * / 点击查看>> ）表1标准。

本项目大气污染物均能做到达标排放。不会对周围环境造成明显不利影响。

②废水：

本项目冷却水循环使用，定期外排。本项目产生的生产废水除纯水制备排浓水、冷却水排水外，其余均收集后交 (略) 置，因此，外排的废水为生活污水、纯水制备排浓水和冷却水排水，食堂废 (略) 理，与其余生活 (略) (略) 理，处理后与纯水制备排浓水、冷却水 (略) 区总排口排入 (略) ，最终排入南港 (略) (略) 理，厂区排放口水质可满足《无机化学工业污染物排放标准》GB 点击查看>> 5表1中的间接排放标准和《污水综合排放标准》（DB * / 点击查看>> ） * 级标准要求，符合南港 (略) 理厂的收水标准，因此， (略) 。

③噪声：

本项目在营运期产生的噪声主要来源于泵类、风机及压缩机等，由厂界噪声预测结果可知，在对主要噪声源采取隔声、降噪、减振等噪声治理措施后， (略) 界处的噪声值均满足《 (略) 界环境噪声排放标准》（GB 点击查看>> 8）3类标准要求，不会对周边声环境产生明显不利影响。

④固废：

本项目废焊丝在车间内收 (略) 门回收， (略) 理站污泥、生活 (略) 管委清运，废包装材料、废吸附剂、除尘灰、漆渣、碱性废液、酸性废液、废电解液、废研磨液、实验室废液及废试剂、副产物（氯化铵、氯化锂、氯化铝、碘及苯）、副产物DSA、废催化剂、废活性炭、沾染废物、废贵金属催化剂、废旧碳板、废润滑油及废导热油、废铅蓄电池、废膜组件等危险废物均暂存于危废间， (略) (略) 处置。

(略) 置去向明确， (略) ，不会对环境造成 * 次污染。

⑤地下水影响：

在正常状况下，本项目原材料仓库地面防渗措施完善。防渗性能基本符合《环境影响评价技术导则地下水环境》（HJ 点击查看>> ），污染物从源头到末端均得到有效控制，污染物不会入渗到地下水含水层，按照《环境影响评价技术导则地下水环境》（HJ 点击查看>> ）相关要求不再对正常状况下的地 (略) 预测。

在非正常状况下预测结果可知，项目在发生非正常状况情形下，由于项目地下水含水层污染物扩散能力较差，对周边地下水的影响会在 * 定时间内会持续影响，由预测结果可知，随时间推移影响距离和影响范围变大，在 * 年时污染物 * 氯 * 烷在地下水中超标距离最大为 * .7m， (略) 界范围。在加强监测，及时发现问 (略) 理的条件下，建设项目对地下水环境的影响是可接受的。

⑥土壤环境影响：

本项目从大气沉降、垂直入渗两种影响途径，分析项目运营对土壤环境的影响。经地 * 年的大气沉降，调查评价范围内单位质量土壤中苯的预测值小于《土壤环境质量建设用地土壤污染风险管控标准（试行）》（GB 点击查看>> 8）中第 * 类建设用地土壤污染筛选值。

在非正常状况下， * 类仓库中 * 氯 * 烷包装桶渗漏到包气带后约 * min，潜水含水层与包气带接触位置 * 氯 * 烷浓度即超过《地下水质量标准》（GB/T 点击查看>> 7）中Ⅲ类水标准限值；渗漏地生 * min后， (略) 土壤中 * 氯 * 烷含量超过《土壤环境质量建设用地土壤污染风险管控标准（试行）》（GB3 * ）中第 * 类用地筛选值。可考虑使用抗渗等级为P6的混凝土浇筑地面，或采用满足地下水导则及其他相关规范的防渗措施。在符合导则的防渗措施得以落实后，几乎不会有污染物渗漏，处理技术要求可满足土壤污染防治的相关规定。

公示日期

* 日－ * 日（5个工作日）

项目名称

(略) 绿菱电子 (略) 项目

建设地点

(略) 经济技术开发区南港工业区港达路以南、中和海丰项目以西

建设单位

(略)

环评机构

联合泰泽 (略)

项目概况

该项目主要建设内容包括：在 * 1车间新建 * 氟碘 * 烷、 * 氟 * 烯、 * 氟 * * 烯、锗烷、 * 锗烷、氟气、 * 氯化钨、 * * 硅烷基胺、 * 碘硅烷的合成产品生产线，氟气/氮气混合气、氪/氟/氖/氙的混合气生产线； * 2车间新建 * 烷、 * 氟 * 烷、 * 烯、 * 氧化碳、 * 氟 * 烷、硫化氢、氧硫化碳的纯化产品生产线， * 氧化碳、 * 氟 * 烷、 * 氧化碳、氧硫化碳、 * 氧化氮的合成产品生产线，氧气/ * 氟化碳、氧气/氦气、硅烷/氮气、硅烷/氢气、硅烷/氦气、磷烷/氮气、磷烷/氢气、 * 烷/氩气、氢气/氮气的混合气生产线， * 氧化 * 氮、氯化氢、 * 氯硅烷、 * 氯氢硅的分装产品生产线、；戊类车间新建 * 氟 * 烷、 * 氟化碳、 * 氟 * 烷、 * 氟化硫、 * 氟 * 烯、 * 氟环 * 烷、 * 氧化碳、 * 氟 * 烷、 * 氯化硼、 * 氟化硼、溴化氢的纯化产品生产线， * 氟化硅合成产品生产线，氦气/氮气、氪气/氖气的混合气生产线，氮气分装产品生产线。该项目建成后生产半导体、集成电路用特种气体 * 种，年产能 * 吨。

主要环境影响及拟采取的环保措施

(1)施工期

本项 (略) 房内建设（厂房项目环境影响登记表已于 * 年 (略) (略) 备案，备案号是 点击查看>> ）， (略) 分建筑物的土建施工，仅涉及新增设备的安装、 (略) 理站的施工，因此，本项目施工期产生的污染物主要为施工扬尘、施工噪声、施工废水以及固废等。施工结束后，此类影响即消失，故施工期的环境影响是短期的、轻微的和小范围的。

(2)运营期

①废气：

本项目各车间产生的废气主要来源于卸料置换、冷凝、反冲洗、充装置换、精馏不凝气排放的工艺生产环节、原料配制、补漆、焊接、配酸等工序产生的废气及实验室废气，废气污染物主要为TRVOC、非 * 烷总烃、氟化物、颗粒物、苯、 * 苯、硫化氢、NOx、硫酸、氯化氢、臭气浓度。另外食堂产生油烟。

* 1车间的卸料置换、冷凝、反冲洗、充装置换的操作均在密闭系统（钢瓶、生产设备等排气口与密闭管道连接）内完成，排放的废气（TRVOC、非 * 烷总烃、氟化物）由密闭管道收集后引入 * 套废气治理设施（ * 级喷淋+活性炭吸附装置）处理后经 * m高排气筒P1排放，锗烷/ * 锗烷产品、 * 氯化钨产品及 * 碘硅烷产品（苯硅烷与之共用）的原料称量，产生的少量颗粒物由独立隔间的排风系统密闭收集后引入 * 套旋 (略) 理后经 * m高排气筒P2排放。 * * 硅烷基胺、苯硅烷、 * 碘硅烷及氨在生产过程中的精馏不凝气由密闭管道收集后引入 * 套废气治理装置（喷淋+活性炭吸附+催化燃烧设施）处理后经 * m高排气筒P3排放（氨最终经催化燃烧转化为NOx）。钢瓶补漆工序位于密闭喷漆房内，采用水性漆，产生的 (略) 理后经喷漆间整体排风系统密闭收集后引入上述喷淋塔后的活性炭吸附+催 (略) 理，处理后废气经 * m高排气筒P3排放。

* 2车间的卸料置换、反冲洗、充装置换、精馏不凝气排放的操作均在密闭系统内完成，排放的废气（TRVOC、非 * 烷总烃、氟化物、硫化氢、氯化氢）由密闭管道收集后引入 * 套废气治理设施（ * 级喷淋+活性炭吸附装置）处理后经 * m高排气筒P4排放。配酸全过程密闭管道连接，无硫酸雾外排，仅在更换酸桶的时候会有少量酸雾逸散，酸雾由配酸间的排风系统密闭收集，与密闭收集的其他废气（NO生产过程中产生NOx和 * 氟化碳混配过程产生的TRVOC、非 * 烷总烃）共同引入 * 套废气治理装置（ * 级喷淋+活性炭吸附装置）处理后经 * m高排气筒P5排放。COS产品原料称量产生的颗粒物由独立隔间的排风系统密闭收集后引入 * 套旋 (略) 理后经 * m高排气筒P6排放。

戊类车间的卸料置换、反冲洗、充装置换、精馏不凝气排放的操作均在密闭系统内完成，排放的废气（TRVOC、非 * 烷总烃、氟化物）由密闭管道收集，与由通风橱负压收集的实验室废气上并引入 * 套废气治理设施（ * 级喷淋+活性炭吸附装置）处理后经 * m高排气筒P7排放； * 氟化硼生产中的精馏不凝气由密闭管道收集后引入单独 * 套废气治理设施（ * 级喷淋塔）处理后经 * m高排气筒P7排放。戊类车间内设机修车间用于焊接，焊接烟尘由工位上顶吸集气罩+及地软帘负压收集， * 氟化硅产品原料称量产生的少量颗粒物由独立隔间的排风系统密闭收集后与焊接烟尘 * 并引入 * 套旋 (略) 理后经 * m高排气筒P8排放。

另外，本项目生产环境均为压力环境，并配套在线监控系统，各置换钢瓶除了与密闭管道连接外，操作时还置于单独的密闭气柜内，各生产线上的反应釜、压缩机、原料罐、冷凝器、电 (略) 均设置了密闭集气罩（集气罩+软帘），密闭气柜和 (略) 配套气体探测器、排风等安全防护设施，并通过密闭管道接入生产线对应的废气治理装置，避免了有毒有害气体的无组织排放。

在采取以上措施后，各车间排气筒排放的氯化氢、硫酸雾及氮氧化物均满足《大气污染物综合排放标准》（GB 点击查看>> 6）表2中新建污染源标准限值； TRVOC、非 * 烷总烃、苯、 * 苯均满足《工业企业挥发性有机物排放控制标准》（DB * / 点击查看>> ） (略) 业排放限值要求；硫化氢满足《恶臭污染物排放标准》（DB * / 点击查看>> ）表1排放限值。

* 1车间排气筒P1排放的氟化物、 * 2车间排气筒P6排放的颗粒物、戊类车间排气筒P7排放的氟化物、排气筒P8排放的颗粒物排放浓度均满足《无机化学工业污染物排放标准》（GB 点击查看>> 5）表4大气污染物特别排放限值； * 1车间排气筒P3排放的颗粒物、 * 2车间排气筒P4排放的氟化物排放浓度满足《大气污染物综合排放标准》（GB 点击查看>> 6）表2 中的标准要求。

全厂排气筒中 * 1车间的P1和P3等效， * 2车间的P4和P5等效，计算后等效排气筒排放的TRVOC、非 * 烷总烃满足《工业企业挥发性有机物排放控制标准》（DB * / 点击查看>> ）表1排放限值要求。

食堂油烟经 (略) 理后由 * m专用烟道P9排放，可满足《餐饮业油烟排放标准》（DB * / 点击查看>> ）表1标准。

本项目大气污染物均能做到达标排放。不会对周围环境造成明显不利影响。

②废水：

本项目冷却水循环使用，定期外排。本项目产生的生产废水除纯水制备排浓水、冷却水排水外，其余均收集后交 (略) 置，因此，外排的废水为生活污水、纯水制备排浓水和冷却水排水，食堂废 (略) 理，与其余生活 (略) (略) 理，处理后与纯水制备排浓水、冷却水 (略) 区总排口排入 (略) ，最终排入南港 (略) (略) 理，厂区排放口水质可满足《无机化学工业污染物排放标准》GB 点击查看>> 5表1中的间接排放标准和《污水综合排放标准》（DB * / 点击查看>> ） * 级标准要求，符合南港 (略) 理厂的收水标准，因此， (略) 。

③噪声：

本项目在营运期产生的噪声主要来源于泵类、风机及压缩机等，由厂界噪声预测结果可知，在对主要噪声源采取隔声、降噪、减振等噪声治理措施后， (略) 界处的噪声值均满足《 (略) 界环境噪声排放标准》（GB 点击查看>> 8）3类标准要求，不会对周边声环境产生明显不利影响。

④固废：

本项目废焊丝在车间内收 (略) 门回收， (略) 理站污泥、生活 (略) 管委清运，废包装材料、废吸附剂、除尘灰、漆渣、碱性废液、酸性废液、废电解液、废研磨液、实验室废液及废试剂、副产物（氯化铵、氯化锂、氯化铝、碘及苯）、副产物DSA、废催化剂、废活性炭、沾染废物、废贵金属催化剂、废旧碳板、废润滑油及废导热油、废铅蓄电池、废膜组件等危险废物均暂存于危废间， (略) (略) 处置。

(略) 置去向明确， (略) ，不会对环境造成 * 次污染。

⑤地下水影响：

在正常状况下，本项目原材料仓库地面防渗措施完善。防渗性能基本符合《环境影响评价技术导则地下水环境》（HJ 点击查看>> ），污染物从源头到末端均得到有效控制，污染物不会入渗到地下水含水层，按照《环境影响评价技术导则地下水环境》（HJ 点击查看>> ）相关要求不再对正常状况下的地 (略) 预测。

在非正常状况下预测结果可知，项目在发生非正常状况情形下，由于项目地下水含水层污染物扩散能力较差，对周边地下水的影响会在 * 定时间内会持续影响，由预测结果可知，随时间推移影响距离和影响范围变大，在 * 年时污染物 * 氯 * 烷在地下水中超标距离最大为 * .7m， (略) 界范围。在加强监测，及时发现问 (略) 理的条件下，建设项目对地下水环境的影响是可接受的。

⑥土壤环境影响：

本项目从大气沉降、垂直入渗两种影响途径，分析项目运营对土壤环境的影响。经地 * 年的大气沉降，调查评价范围内单位质量土壤中苯的预测值小于《土壤环境质量建设用地土壤污染风险管控标准（试行）》（GB 点击查看>> 8）中第 * 类建设用地土壤污染筛选值。

在非正常状况下， * 类仓库中 * 氯 * 烷包装桶渗漏到包气带后约 * min，潜水含水层与包气带接触位置 * 氯 * 烷浓度即超过《地下水质量标准》（GB/T 点击查看>> 7）中Ⅲ类水标准限值；渗漏地生 * min后， (略) 土壤中 * 氯 * 烷含量超过《土壤环境质量建设用地土壤污染风险管控标准（试行）》（GB3 * ）中第 * 类用地筛选值。可考虑使用抗渗等级为P6的混凝土浇筑地面，或采用满足地下水导则及其他相关规范的防渗措施。在符合导则的防渗措施得以落实后，几乎不会有污染物渗漏，处理技术要求可满足土壤污染防治的相关规定。

公示日期

* 日－ * 日（5个工作日）