广州爱思威电子工业有限公司年产35万片碳化硅衬底片及25万片晶圆器件建设项目

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建设项目环境影响登记表

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(略) 爱 (略) 年产 * 万片碳化硅衬底片及 * 万片晶圆器件建设项目
(略) 省 (略) 市南沙区新垦大道 * 号 * 铺， * 房， * 房（ * 址多照） 点击查看>>
(略) 爱 (略) 王治中
颜文彬 * 点击查看>>* *
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新建
建设内容： (略) 碳化硅衬底片及晶圆器件的生产，年产6英寸碳化硅衬底及外延片 * 万片、6英寸晶圆器件 * 万片。 建设规模：本项目主要原材料及用量为籽晶 * 0颗/年、氮化镓衬底 * 0片/年、氮化镓控片 * 片/年、靶材 * 千克/年。项目碳化硅衬底及外延片生产线主要设备有长晶炉 * 台、切磨抛洗设备 * 台、测试设备2台，主要生产工序为晶体生长、晶柱成型、切片、研磨抛光、清洗、外延工艺；晶圆器件生产线主要设备有清洗机 * 台、腐蚀机 * 台、去胶机 * 台、甩干机4台、打标机2台、擦片机2台、离子注入机4台、光刻机 * 台、显影机 * 台、固胶机4台、刻蚀机 * 台、去胶机 * 台、金属蒸发台 * 台、溅射台8台、贴膜机2台、脱模机2台、减薄机4台、检测仪 * 台、测试仪 * 台、扫描电镜2台、台阶仪2台、自动显微镜4台、探针台 * 台，主要生产工序为位置对准、金属形成、刻蚀、保护层淀积、绝缘层注入、电阻区形成、引线孔形成、电容介质与电容极板形成、通孔形成、垫层形成、电性量测等。项目设员工约 * 人，年工作日为 * 天。


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建设内容： (略) 碳化硅衬底片及晶圆器件的生产，年产6英寸碳化硅衬底及外延片 * 万片、6英寸晶圆器件 * 万片。 建设规模：本项目主要原材料及用量为籽晶 * 0颗/年、氮化镓衬底 * 0片/年、氮化镓控片 * 片/年、靶材 * 千克/年。项目碳化硅衬底及外延片生产线主要设备有长晶炉 * 台、切磨抛洗设备 * 台、测试设备2台，主要生产工序为晶体生长、晶柱成型、切片、研磨抛光、清洗、外延工艺；晶圆器件生产线主要设备有清洗机 * 台、腐蚀机 * 台、去胶机 * 台、甩干机4台、打标机2台、擦片机2台、离子注入机4台、光刻机 * 台、显影机 * 台、固胶机4台、刻蚀机 * 台、去胶机 * 台、金属蒸发台 * 台、溅射台8台、贴膜机2台、脱模机2台、减薄机4台、检测仪 * 台、测试仪 * 台、扫描电镜2台、台阶仪2台、自动显微镜4台、探针台 * 台，主要生产工序为位置对准、金属形成、刻蚀、保护层淀积、绝缘层注入、电阻区形成、引线孔形成、电容介质与电容极板形成、通孔形成、垫层形成、电性量测等。项目设员工约 * 人，年工作日为 * 天。
    
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