华力12英寸先进生产线建设项目新增辐射设备

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华力12英寸先进生产线建设项目新增辐射设备

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建设项目环境影响登记表

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华力 * 英寸先进生产线建设项目新增辐射设备
(略) 市直辖市 (略) 区良腾路6号 * .8
(略) 华力 (略) 张素心
李诗茵 * 点击查看>>* *
* 8 *
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新建
(略) 华力 (略) * 英寸先进生产线建设项目新增 * 台辐射设备。1)X射线荧光分析仪增设2台(Ⅲ类X射线装置),位于FAB6 F1 3F; 2)全反射X射线荧光分析仪增设1台(Ⅲ类X射线装置),位于FAB6 F1 3F;3)高分辨率X射线衍射仪增设1台(Ⅲ类X射线装置),位于FAB6 F1 3F;4)离子注入机增设 * 台(Ⅲ类X射线装置),位于FAB6 F1 3F。
环保措施:
环保措施:正常工况时:因 (略) 有多重互锁装置及防止幅射外泄的 (略) 以无幅射外泄之可能性。事故工况时:当机台互锁装置失效时仍能由操作区与机台间的隔离门防止操作人员照射到外泄幅射。 * 、X射线荧光分析仪、全反射X射线荧光分析仪保护装置:1.1 屏壁金属层:机台具有两个独立腔体,分别为暂存腔与分析腔。腔体内均有防止幅射外泄的屏壁金属层;X射线管是安置在分析腔内。1.2 隔离匣门:样品传送区与暂存腔及暂存腔与分腔间各有 * 道隔离匣门且具有互锁功能;同 * 时间内只允许其中 * 道隔离匣门开启,否则会因互锁装置作动自动将X射线的电源关闭。1.3 铅玻璃金属门:操作区与样品传送区之间有铅玻璃金属门隔离。当上述互锁装置失效时仍能由此隔离门防止操作人员照射到外泄幅射。 * 、高分辨率X射线衍射仪保护装置:2.1 屏蔽金属层:机台具有独立的分析腔体,腔体内有防止辐射外泄的屏蔽金属层;X射线管是安置在分析腔内。2.2 隔离匣门:样品传送区与分析腔有 * 道匣门,分析腔内也有匣门,当传送进分析腔时,分析腔匣门是关闭的;同 * 时间内只允许其中 * 道隔离匣门开启,当任意 * 个匣门开启,互锁装置启动,切断x射线光管的电源。 * 、离子注入机保护装置分为:3.1 机台连锁装置控制射线产生:机台 (略) 安全防护门及连锁装置组成,实现此联锁保护人员免受高电压冲击危险和离子源内辐射危险。3.2 机台互锁装置控制射线产生:通过放电连锁、排气连锁、门连锁、特气报警连锁、终端门连锁及高压吸合开关等信号串联同时作用实现离子源的电路通电,当任意条件不满足均无法实现离子束的形成,从根本上控制离子源的安全,通过互锁作用有效防止在某些装置失效时对相关人员造成辐射危害。员工保护及监测计划:设备的操作人员配发辐射剂量收集器, (略) 辐射剂量监控。定期以幅射度量计量测机台操作区域及周边的幅射值并记录之。
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(略) 华力 (略) * 英寸先进生产线建设项目新增 * 台辐射设备。1)X射线荧光分析仪增设2台(Ⅲ类X射线装置),位于FAB6 F1 3F; 2)全反射X射线荧光分析仪增设1台(Ⅲ类X射线装置),位于FAB6 F1 3F;3)高分辨率X射线衍射仪增设1台(Ⅲ类X射线装置),位于FAB6 F1 3F;4)离子注入机增设 * 台(Ⅲ类X射线装置),位于FAB6 F1 3F。
环保措施:
环保措施:正常工况时:因 (略) 有多重互锁装置及防止幅射外泄的 (略) 以无幅射外泄之可能性。事故工况时:当机台互锁装置失效时仍能由操作区与机台间的隔离门防止操作人员照射到外泄幅射。 * 、X射线荧光分析仪、全反射X射线荧光分析仪保护装置:1.1 屏壁金属层:机台具有两个独立腔体,分别为暂存腔与分析腔。腔体内均有防止幅射外泄的屏壁金属层;X射线管是安置在分析腔内。1.2 隔离匣门:样品传送区与暂存腔及暂存腔与分腔间各有 * 道隔离匣门且具有互锁功能;同 * 时间内只允许其中 * 道隔离匣门开启,否则会因互锁装置作动自动将X射线的电源关闭。1.3 铅玻璃金属门:操作区与样品传送区之间有铅玻璃金属门隔离。当上述互锁装置失效时仍能由此隔离门防止操作人员照射到外泄幅射。 * 、高分辨率X射线衍射仪保护装置:2.1 屏蔽金属层:机台具有独立的分析腔体,腔体内有防止辐射外泄的屏蔽金属层;X射线管是安置在分析腔内。2.2 隔离匣门:样品传送区与分析腔有 * 道匣门,分析腔内也有匣门,当传送进分析腔时,分析腔匣门是关闭的;同 * 时间内只允许其中 * 道隔离匣门开启,当任意 * 个匣门开启,互锁装置启动,切断x射线光管的电源。 * 、离子注入机保护装置分为:3.1 机台连锁装置控制射线产生:机台 (略) 安全防护门及连锁装置组成,实现此联锁保护人员免受高电压冲击危险和离子源内辐射危险。3.2 机台互锁装置控制射线产生:通过放电连锁、排气连锁、门连锁、特气报警连锁、终端门连锁及高压吸合开关等信号串联同时作用实现离子源的电路通电,当任意条件不满足均无法实现离子束的形成,从根本上控制离子源的安全,通过互锁作用有效防止在某些装置失效时对相关人员造成辐射危害。员工保护及监测计划:设备的操作人员配发辐射剂量收集器, (略) 辐射剂量监控。定期以幅射度量计量测机台操作区域及周边的幅射值并记录之。
    
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