项目名称

(略) 年生产半导体分立器件2千套建设项目

建设地点

(略) 市 (略) 建业大街 * 号

建设单位

(略)

环评机构

(略) (略)

建设项目概况

(略) 年生产半导体分立器件2千套建设项目位于 (略) 省 (略) 市 (略) 建业大街 * 号,地理坐标：东经 * °1′ * . * ″,北纬 * ° * ′ * . * ″。项目占地面积 * 平方米，总建筑面积 * 0平方米。

项目以氢气、氧气、氮气、氨气、硅烷、 * 氟化碳、氩气、氦气、 * 氟化硫、氯气、 * 烷、 * 氟 * 烷、 * 氯化硼、 * 酮、NMP、异 * 醇、盐酸、硫酸、双氧水、氨水、BOE、无水 * 醇、 * * 基氢氧化铵、光刻胶、砷、钛、铂、金、锗、镍、钯、银、铟、InP衬底、研磨粉、抛光粉等原辅材料，通过晶片检验、电子束镀膜、光刻、退火、蚀刻、去胶、钝化膜、晶圆划片、倒装焊接灌胶、背面研磨、抛光、清洗、装片、焊线、测试等工序，年产2千套半导体分立器件。项目主要建设内容 (略) 房、办公楼、食堂及环保工程等。项目生产设备主要有：光刻机、清洗台、等离子体化学气相沉积、干法蚀刻机、金属镀膜机、减薄抛光机、快速退火炉、涂胶台、显影台、解离机、腔面镀膜机、测试系统、热板等。项目总投资为 * 0万元，其中环保投资 * 万元。

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

1、废气污染防治措施

项目晶片检验清洗、蚀刻废气经负压收集后采 (略) 理，处理后经不低于 * m高排气筒排放；钝化、清洗、光刻胶、抛光废气经负压收集后采取 (略) 理，处理后经不低于 * m高排气筒排放。非 * 烷总烃、硫酸雾 (略) 《大气污染物综合排放标准》（GB 点击查看>> 6）表2中 * 级标准， (略) 《恶臭污染物排放标准》（GB 点击查看>> ）标准。

2、废水污染防治措施

项目生产废水 (略) 理，生活污 (略) 理。废水外排 (略) 理厂接管标准，其 (略) 《污水综合排放标准》（GB 点击查看>> ）表4中 * 级标准。

3、噪声污染防治措施

强化管理，对使用的机械设备选用低噪声设备，并采取隔振、减振、消音措施， (略) 界噪声达标。项目噪声来源于生产车间内 (略) 噪声，主要为真空泵、多孔钻床、多片锯床、空压机等设备，营运期 (略) 《 (略) 界环境噪声排放标准》（GB 点击查看>> 8）3类标准。

4、固体废物污染防治措施

项目产生的外延片废料、外延片次品、废包装等收集 (略) 处置，废气瓶由供应商回收；生活 (略) (略) 市生 (略) (略) 理。 * 般 (略) 《 * 般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》（GB 点击查看>> 0）。项目产生的废显影液、废 * 酮溶液、双氧水、硫酸混合废液、废包装桶/瓶、废BOE溶液委 (略) 理， (略) 《危险废物贮存污染物控制标准》（GB 点击查看>> 1）及其修改清单要求。

5、项目周边控制规划要求。

项目卫生防护 (略) 房周边 * m。项目卫生防护距离范围内不得新建居民住宅、学校、医院等环境敏感建筑。

公众参与

情况

项目 (略) 了受理公示，无单位或个人反对本项目的建设。

项目名称

(略) 年生产半导体分立器件2千套建设项目

建设地点

(略) 市 (略) 建业大街 * 号

建设单位

(略)

环评机构

(略) (略)

建设项目概况

(略) 年生产半导体分立器件2千套建设项目位于 (略) 省 (略) 市 (略) 建业大街 * 号,地理坐标：东经 * °1′ * . * ″,北纬 * ° * ′ * . * ″。项目占地面积 * 平方米，总建筑面积 * 0平方米。

项目以氢气、氧气、氮气、氨气、硅烷、 * 氟化碳、氩气、氦气、 * 氟化硫、氯气、 * 烷、 * 氟 * 烷、 * 氯化硼、 * 酮、NMP、异 * 醇、盐酸、硫酸、双氧水、氨水、BOE、无水 * 醇、 * * 基氢氧化铵、光刻胶、砷、钛、铂、金、锗、镍、钯、银、铟、InP衬底、研磨粉、抛光粉等原辅材料，通过晶片检验、电子束镀膜、光刻、退火、蚀刻、去胶、钝化膜、晶圆划片、倒装焊接灌胶、背面研磨、抛光、清洗、装片、焊线、测试等工序，年产2千套半导体分立器件。项目主要建设内容 (略) 房、办公楼、食堂及环保工程等。项目生产设备主要有：光刻机、清洗台、等离子体化学气相沉积、干法蚀刻机、金属镀膜机、减薄抛光机、快速退火炉、涂胶台、显影台、解离机、腔面镀膜机、测试系统、热板等。项目总投资为 * 0万元，其中环保投资 * 万元。

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

1、废气污染防治措施

项目晶片检验清洗、蚀刻废气经负压收集后采 (略) 理，处理后经不低于 * m高排气筒排放；钝化、清洗、光刻胶、抛光废气经负压收集后采取 (略) 理，处理后经不低于 * m高排气筒排放。非 * 烷总烃、硫酸雾 (略) 《大气污染物综合排放标准》（GB 点击查看>> 6）表2中 * 级标准， (略) 《恶臭污染物排放标准》（GB 点击查看>> ）标准。

2、废水污染防治措施

项目生产废水 (略) 理，生活污 (略) 理。废水外排 (略) 理厂接管标准，其 (略) 《污水综合排放标准》（GB 点击查看>> ）表4中 * 级标准。

3、噪声污染防治措施

强化管理，对使用的机械设备选用低噪声设备，并采取隔振、减振、消音措施， (略) 界噪声达标。项目噪声来源于生产车间内 (略) 噪声，主要为真空泵、多孔钻床、多片锯床、空压机等设备，营运期 (略) 《 (略) 界环境噪声排放标准》（GB 点击查看>> 8）3类标准。

4、固体废物污染防治措施

项目产生的外延片废料、外延片次品、废包装等收集 (略) 处置，废气瓶由供应商回收；生活 (略) (略) 市生 (略) (略) 理。 * 般 (略) 《 * 般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》（GB 点击查看>> 0）。项目产生的废显影液、废 * 酮溶液、双氧水、硫酸混合废液、废包装桶/瓶、废BOE溶液委 (略) 理， (略) 《危险废物贮存污染物控制标准》（GB 点击查看>> 1）及其修改清单要求。

5、项目周边控制规划要求。

项目卫生防护 (略) 房周边 * m。项目卫生防护距离范围内不得新建居民住宅、学校、医院等环境敏感建筑。

公众参与

情况

项目 (略) 了受理公示，无单位或个人反对本项目的建设。