内 (略) * t/a硅片及半导体CMP抛光液添加剂

项目环境影响评价第 * 次公示

* 、建设项目情况简述

内 (略) * t/a硅片及半导体CMP抛光液添加剂项目位于 (略) 阿拉善 (略) 技术产业开发区-乌兰布和工业园内，本项目拟在生产车间内设置全氟聚醚羧酸生产线1条，规模为年产全氟聚醚羧酸 * t/a，主要包括光氧化釜、水解、热处理、水洗、精馏等设备及相应的配套辅助设施。本项目占地面积为 点击查看>> m²。劳动定员为 * 人，年工作 * 天，每天8小时， * 班 * 倒制。项目总投资 * 万元，环保投资 * 万元，占总投资的2. * %。

* 、污染防治措施及达标排放情况

（1）大气环境

本项目生产过程产生的废气主要为：氟化氢、氯化氢、 * 氟 * 酰氟、碳酰氟、 * 氟 * 烯、 * 氟氯 * 烯、 * 氟 * 酰氯、 * 氟 * 酸、全氟聚醚羧酸。本项目采取“ * 级降膜水吸收+ * 级水喷淋+ * 级碱吸收+ * 级活性炭吸附” (略) 理后通过 * m高排气筒（P1）排放。

本项目危废仓库废气排放量为0. * t/a，排放速率为0. * kg/h，排放浓度为3. * mg/m³。排放浓度及速率均满足《工业企业挥发性有机物排放控制标准》（DB * / 点击查看>> ）新污染源排放限值。

本项目无组织废气主要为生产装置区物料无组织排放、危废暂存间无组织废气排放，污染因子主要为 * 氟 * 烯、 * 氟氯 * 烯、 * 氟 * 酰氟、碳酰氟、 * 氟 * 烯、 * 氟氯 * 烯、 * 氟 * 酰氯、 * 氟 * 酸、全氟聚醚羧酸等有机挥发性废气。

（1）项目无组织废气排放特征

本项目生产工艺过程中整套生产工艺设备未密闭生产系统，在工艺设计中理论上不存在无组织污染物产生。但在实际过程中管道、 (略) ，由于连接性能不好以及设备腐蚀等原因，不可避免的会发生跑、冒、滴、漏现象。由于反应器、管道、 (略) 产生泄漏，会有少量无组织排放的气体。

危废库暂存的废活性炭中会挥发 * 定量的有机废气。

（2）VOCs防治措施

建设单位拟采取如下措施，以减少生产区的无组织挥发量：

①选用高质量的管件，提 (略) 装质量，并经常对设备检修维护，将化学品在输送过程中的跑、冒、滴、漏减至最小；

②在设备管 (略) 采用密封性能较好的石墨材质密封环。根据分析密封形式有填料密封和机械密封两大类。由于橡胶类填料容易膨胀而失去弹性和强度，其他类型填料亦不耐用，故采用机械密封效果较好。机械密封使用的密封环有陶瓷质、不锈钢质和石墨质等。其中以石墨质密封环最好。因此该项目在物料输送管道法兰接头、阀门、加 (略) 采用石墨材质密封环，可有效减少密封泄漏事故的产生；

③生产装 (略) 前， (略) 气密性检测，确保系统无泄漏。生产 (略) 检查、保养、维修、更换，及时发现并整改隐患， (略) 于良好的工作状态。进行全面检修预防性地 (略) 件、密封件，消除泄漏隐患；

④对输送管道定期检修，加 (略) 的密封；

⑤加强人员培训，增强事故防范意识。

采取措施后， (略) 区内无组织排放TVOC（以VOCs计）满足《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB 点击查看>> 9）中的附录A表A.1厂区内VOCs无组织特别排放限值；厂界无组织排放TVOC（以非 * 烷总烃计）执行《大气污染物综合排放标准》（GB 点击查看>> 6）表2周界外无组织排放监控浓度限值。

（2）水环境

本项目生产废水主要包括工艺废水、高纯水制备排水、软水制备排水、蒸汽发生器排水、循环水系统排水、真空泵系统排水、 (略) 理设施排水、地面冲洗废水。

工艺废水（水解废水， * 次水洗废水， * 次水洗废水）、高纯水制备产生的浓水， (略) (略) 理后排 (略) 理厂；蒸汽发生器排水回用于水循环系统，循环水系统排水属于清净下水，排 (略) 理厂；真空泵系统排水、 (略) 理设施排水和地面冲洗废水， (略) (略) 理后排 (略) 理厂；生活污水 (略) 理后 (略) 排 (略) 理厂。

（3）噪声

项目选用环保低噪型设备，车间内各设备合理的布置，且设备作基础减振等防治措施， 从源头上降低噪声水平；安全气囊置于专用引爆容器内密闭引爆；打包压实机应采取减振基座；高噪声设备机房安装隔声门窗，厂房内设备噪 (略) (略) 理； (略) 过程中，维护设备使其保持最佳状态，降低因设备磨损产生的噪声。项目建设对周围声环境影响不大。

（4）固体废物

本项目产生的固体废物主要包括： * 般固废、危险废物、生活垃圾。

（1） (略) 置情况

本项目产生的 * 般固废包括：高纯水设备产生的废分子筛、反渗透膜。

本项目纯水制备产生的废分子筛产生量均为0.7t/a、反渗透膜产生量为0.8t/a，由厂家定期回收。

（2） (略) 置情况

对照《国家危险废物名录》（ * 年版）以及《关于印发 (略) 自治区进 * (略) 业项目建设若干规定的通知》（内工信原工字（ * 号），本项目产生的危险废物主要包括蒸馏釜残、 (略) 理产生的废活性炭， (略) 理产生的废盐、产品的废包装、废导热油。

①工艺固废精馏釜残

根据物料平衡可知，本项目精馏釜残产生量为 * . * t/a。根据《国家危险废物名录》（ * 年版），精馏釜残属于危险废物，危废类别为HW * （精（蒸）馏残渣），代码为 点击查看>> （ (略) 业 其他化工生产过程（不包括以生物质为主要原料的加工过程）中精馏、蒸馏和热解工艺产生的高沸点釜底残余物）。 (略) 区危废暂存间，委托有资 (略) 理。

② (略) 理产生的废活性炭

本项目废活性炭主 (略) 理装置治理VOCs过程，活性炭主要吸附废气中 * 氟 * 烯，其他物质的吸附量可忽略不计， * 氟 * 烯产生量为 * . * t/a，废活性炭与有机废气吸附比例为9：1，故废活性炭产生量为 * . * t/a，根据《国家危险废物名录》（ * 年版），废活性炭危废类别为HW * （其他废物），代码为 点击查看>> （ (略) 业生产过程中产生的废活性炭）产生的废活性炭，本项目废活性炭暂存于危废间，定期委托有 (略) 处置。

③ (略) 理产生的废盐

(略) (略) 理后，得到废盐，废盐年产生量为 * .6t/a。根据《关于印发 (略) 自治区进 * (略) 业项目建设若干规定的通知》（内工信原工字（ * 号）中“（ * ）、严格环保准入新（改、扩）建化工项目必须符合规划环评及审查意见相关要求，废盐属于危险废物。

④废包装

本项目产品全氟聚醚羧酸采用玻璃瓶包装，预计损坏的玻璃瓶年产生量为0.2t/a，根据《国家危险废物名录》（ * 版），破损包装属于危险废物，危废类别为HW * （其他废物），代码 点击查看>> （含有或沾染毒性、感染性危险废物的废气包装物、容器、过滤吸附介质），委托有 (略) 处置。

⑤废导热油

本项目废导热油主要产自电导热油炉，产生量为0.5t/a，根据《国家危险废物名录》（ * 年版），废导热油危废类别为HW * （废矿物油与含矿物油废物），代码为 点击查看>> （其他生产、销售、使用过程中产生的废矿物油及沾染矿物油的废弃包装物）。本项目废导热油暂存于危废暂存间，定期委托有 (略) 处置。

（3）生活垃圾

本项目劳动定员为 * 人，每人每天生活垃圾产生量为0.5kg，年工作 * 天，则职工生活垃圾产生量为7.5t/a。由厂区垃圾箱收集后委 (略) 门定期清运。

采取以上措施后，项目产生的固废不会对周围环境产生影响。

* 、查阅环境影响报告和相关信息的方式

如需查 (略) 有关信息，可于本公告发布后 * 个工作日内向环评单位 (略) 、查阅环评文件可公开版本。

* 、征求公众意见的联系方式

建设单位：内 (略)

联系人：郭总

联系地址： (略) 阿拉善 (略) 技术产业开发区乌兰布和工业园

电话： 点击查看>>

评价单位名称： (略) 信中 (略)

联系地址： (略) 自治区 (略) 市 (略) 区金 (略) A座 * 室联系人：邢工

电话： 点击查看>>

* 、公众提出意见的起止时间

(略) 发布后 * 个工作日内，通过邮件、电话、传真等形式向环评单位或建设单位反映意见和建议。

建设项目环评公众 (略) 址：http:/ 点击查看>> 内 (略)

* 日

内 (略) * t/a硅片及半导体CMP抛光液添加剂

项目环境影响评价第 * 次公示

* 、建设项目情况简述

内 (略) * t/a硅片及半导体CMP抛光液添加剂项目位于 (略) 阿拉善 (略) 技术产业开发区-乌兰布和工业园内，本项目拟在生产车间内设置全氟聚醚羧酸生产线1条，规模为年产全氟聚醚羧酸 * t/a，主要包括光氧化釜、水解、热处理、水洗、精馏等设备及相应的配套辅助设施。本项目占地面积为 点击查看>> m²。劳动定员为 * 人，年工作 * 天，每天8小时， * 班 * 倒制。项目总投资 * 万元，环保投资 * 万元，占总投资的2. * %。

* 、污染防治措施及达标排放情况

（1）大气环境

本项目生产过程产生的废气主要为：氟化氢、氯化氢、 * 氟 * 酰氟、碳酰氟、 * 氟 * 烯、 * 氟氯 * 烯、 * 氟 * 酰氯、 * 氟 * 酸、全氟聚醚羧酸。本项目采取“ * 级降膜水吸收+ * 级水喷淋+ * 级碱吸收+ * 级活性炭吸附” (略) 理后通过 * m高排气筒（P1）排放。

本项目危废仓库废气排放量为0. * t/a，排放速率为0. * kg/h，排放浓度为3. * mg/m³。排放浓度及速率均满足《工业企业挥发性有机物排放控制标准》（DB * / 点击查看>> ）新污染源排放限值。

本项目无组织废气主要为生产装置区物料无组织排放、危废暂存间无组织废气排放，污染因子主要为 * 氟 * 烯、 * 氟氯 * 烯、 * 氟 * 酰氟、碳酰氟、 * 氟 * 烯、 * 氟氯 * 烯、 * 氟 * 酰氯、 * 氟 * 酸、全氟聚醚羧酸等有机挥发性废气。

（1）项目无组织废气排放特征

本项目生产工艺过程中整套生产工艺设备未密闭生产系统，在工艺设计中理论上不存在无组织污染物产生。但在实际过程中管道、 (略) ，由于连接性能不好以及设备腐蚀等原因，不可避免的会发生跑、冒、滴、漏现象。由于反应器、管道、 (略) 产生泄漏，会有少量无组织排放的气体。

危废库暂存的废活性炭中会挥发 * 定量的有机废气。

（2）VOCs防治措施

建设单位拟采取如下措施，以减少生产区的无组织挥发量：

①选用高质量的管件，提 (略) 装质量，并经常对设备检修维护，将化学品在输送过程中的跑、冒、滴、漏减至最小；

②在设备管 (略) 采用密封性能较好的石墨材质密封环。根据分析密封形式有填料密封和机械密封两大类。由于橡胶类填料容易膨胀而失去弹性和强度，其他类型填料亦不耐用，故采用机械密封效果较好。机械密封使用的密封环有陶瓷质、不锈钢质和石墨质等。其中以石墨质密封环最好。因此该项目在物料输送管道法兰接头、阀门、加 (略) 采用石墨材质密封环，可有效减少密封泄漏事故的产生；

③生产装 (略) 前， (略) 气密性检测，确保系统无泄漏。生产 (略) 检查、保养、维修、更换，及时发现并整改隐患， (略) 于良好的工作状态。进行全面检修预防性地 (略) 件、密封件，消除泄漏隐患；

④对输送管道定期检修，加 (略) 的密封；

⑤加强人员培训，增强事故防范意识。

采取措施后， (略) 区内无组织排放TVOC（以VOCs计）满足《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB 点击查看>> 9）中的附录A表A.1厂区内VOCs无组织特别排放限值；厂界无组织排放TVOC（以非 * 烷总烃计）执行《大气污染物综合排放标准》（GB 点击查看>> 6）表2周界外无组织排放监控浓度限值。

（2）水环境

本项目生产废水主要包括工艺废水、高纯水制备排水、软水制备排水、蒸汽发生器排水、循环水系统排水、真空泵系统排水、 (略) 理设施排水、地面冲洗废水。

工艺废水（水解废水， * 次水洗废水， * 次水洗废水）、高纯水制备产生的浓水， (略) (略) 理后排 (略) 理厂；蒸汽发生器排水回用于水循环系统，循环水系统排水属于清净下水，排 (略) 理厂；真空泵系统排水、 (略) 理设施排水和地面冲洗废水， (略) (略) 理后排 (略) 理厂；生活污水 (略) 理后 (略) 排 (略) 理厂。

（3）噪声

项目选用环保低噪型设备，车间内各设备合理的布置，且设备作基础减振等防治措施， 从源头上降低噪声水平；安全气囊置于专用引爆容器内密闭引爆；打包压实机应采取减振基座；高噪声设备机房安装隔声门窗，厂房内设备噪 (略) (略) 理； (略) 过程中，维护设备使其保持最佳状态，降低因设备磨损产生的噪声。项目建设对周围声环境影响不大。

（4）固体废物

本项目产生的固体废物主要包括： * 般固废、危险废物、生活垃圾。

（1） (略) 置情况

本项目产生的 * 般固废包括：高纯水设备产生的废分子筛、反渗透膜。

本项目纯水制备产生的废分子筛产生量均为0.7t/a、反渗透膜产生量为0.8t/a，由厂家定期回收。

（2） (略) 置情况

对照《国家危险废物名录》（ * 年版）以及《关于印发 (略) 自治区进 * (略) 业项目建设若干规定的通知》（内工信原工字（ * 号），本项目产生的危险废物主要包括蒸馏釜残、 (略) 理产生的废活性炭， (略) 理产生的废盐、产品的废包装、废导热油。

①工艺固废精馏釜残

根据物料平衡可知，本项目精馏釜残产生量为 * . * t/a。根据《国家危险废物名录》（ * 年版），精馏釜残属于危险废物，危废类别为HW * （精（蒸）馏残渣），代码为 点击查看>> （ (略) 业 其他化工生产过程（不包括以生物质为主要原料的加工过程）中精馏、蒸馏和热解工艺产生的高沸点釜底残余物）。 (略) 区危废暂存间，委托有资 (略) 理。

② (略) 理产生的废活性炭

本项目废活性炭主 (略) 理装置治理VOCs过程，活性炭主要吸附废气中 * 氟 * 烯，其他物质的吸附量可忽略不计， * 氟 * 烯产生量为 * . * t/a，废活性炭与有机废气吸附比例为9：1，故废活性炭产生量为 * . * t/a，根据《国家危险废物名录》（ * 年版），废活性炭危废类别为HW * （其他废物），代码为 点击查看>> （ (略) 业生产过程中产生的废活性炭）产生的废活性炭，本项目废活性炭暂存于危废间，定期委托有 (略) 处置。

③ (略) 理产生的废盐

(略) (略) 理后，得到废盐，废盐年产生量为 * .6t/a。根据《关于印发 (略) 自治区进 * (略) 业项目建设若干规定的通知》（内工信原工字（ * 号）中“（ * ）、严格环保准入新（改、扩）建化工项目必须符合规划环评及审查意见相关要求，废盐属于危险废物。

④废包装

本项目产品全氟聚醚羧酸采用玻璃瓶包装，预计损坏的玻璃瓶年产生量为0.2t/a，根据《国家危险废物名录》（ * 版），破损包装属于危险废物，危废类别为HW * （其他废物），代码 点击查看>> （含有或沾染毒性、感染性危险废物的废气包装物、容器、过滤吸附介质），委托有 (略) 处置。

⑤废导热油

本项目废导热油主要产自电导热油炉，产生量为0.5t/a，根据《国家危险废物名录》（ * 年版），废导热油危废类别为HW * （废矿物油与含矿物油废物），代码为 点击查看>> （其他生产、销售、使用过程中产生的废矿物油及沾染矿物油的废弃包装物）。本项目废导热油暂存于危废暂存间，定期委托有 (略) 处置。

（3）生活垃圾

本项目劳动定员为 * 人，每人每天生活垃圾产生量为0.5kg，年工作 * 天，则职工生活垃圾产生量为7.5t/a。由厂区垃圾箱收集后委 (略) 门定期清运。

采取以上措施后，项目产生的固废不会对周围环境产生影响。

* 、查阅环境影响报告和相关信息的方式

如需查 (略) 有关信息，可于本公告发布后 * 个工作日内向环评单位 (略) 、查阅环评文件可公开版本。

* 、征求公众意见的联系方式

建设单位：内 (略)

联系人：郭总

联系地址： (略) 阿拉善 (略) 技术产业开发区乌兰布和工业园

电话： 点击查看>>

评价单位名称： (略) 信中 (略)

联系地址： (略) 自治区 (略) 市 (略) 区金 (略) A座 * 室联系人：邢工

电话： 点击查看>>

* 、公众提出意见的起止时间

(略) 发布后 * 个工作日内，通过邮件、电话、传真等形式向环评单位或建设单位反映意见和建议。

建设项目环评公众 (略) 址：http:/ 点击查看>> 内 (略)

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