建设项目名称

建设单位名称

建设地点

环评文件编制单位名称

建设项目概况

主要环境影响和环境保护对策与措施

建设单位开展的公众参与情况

公示起止日期

(略) 晶圆再生项目（变动）

(略)

(略) 市 (略) 区咸水沽镇聚兴道 * 号

(略) 环 (略)

(略) 位于 (略) 市 (略) 区咸水沽镇聚兴道 * 号,于 * 日取得天 (略) (略) 关于“晶圆再生项目”环评文件的批复后，组织开展相关工程建设。“晶圆再生项目”实际建设过程中，对部分 (略) 了调整，主要包括晶圆再生加工工艺、加工设备、 (略) 理工艺等，同时拟增加抛光头维保与测试线、抛光头研发与测试线、CMP及减薄设备测试系统、CMP及减薄设备测试系统、晶圆清洗工艺测试平台等建设内容。

项目建成后，具备 * 英寸晶圆再生加工能力 * 万片/年，CMP机台测试能力为 * 台/年，抛光头维保与测试能力2万个/年，同时开展抛光头研发与测试、CMP及减薄设备测试、晶圆清洗研究实验、晶圆清洗工艺测试。

（1）废气

本项目酸性废气排气筒（P1）排放的氟化物、氮氧化物、硫酸雾、氯化氢满足《大气污染物综合排放标准》（GB 点击查看>> 6）表2中 * 级标准限值要求；工艺废气排气筒（P2）排放的氟化物和氯化氢满足《大气污染物综合排放标准》（GB 点击查看>> 6）表2中 * 级标准限值要求，排放的氨满足《恶臭污染物排放标准》（DB * / 点击查看>> ）表1中标准限值要求；有机废气排气筒（P3）排放的TRVOC、NMHC满足该标准中表1中电子工业标准限值要求；燃气锅炉废气排气筒（P4/P5/P6）排放的颗粒物、SO₂、NO_x、CO、烟气黑度满足《锅炉大气污染物排放标准》（DB * / 点击查看>> ）中新建燃气锅炉标准限值要求；食堂排放的油烟满足《餐饮业油烟排放标准》（DB * / 点击查看>> ）中餐饮油烟浓度排放限值要求。

（2）废水

本项目 (略) (略) 理规模为 * m³/ (略) 理系统，对含氟废水（处理能力8m³/h）、研磨废水（处理能力 * m³/h）、含氨废水（处理能力7m³/h） (略) 理后排入综合调节池，与其他废水混合，调节pH后，通过现有污水总排口（DW * ）排入 (略) ，新增 (略) 区化粪池沉淀后，通过污水总排口（DW * ）排入 (略) 。

本项目新增排放废水污染物满足《电子工业水污染物排放标准》（GB 点击查看>> 0）和《污水综合排放标准》（DB * / 点击查看>> ）间接排放标准限值要求，可以实现达标排放。

（3）噪声

本项目 (略) ，建筑隔声，安装减振基垫等，并选取低噪声设备降低噪声对环境的影响。

经预测，本项目噪声源的 (略) 界现状值后，东、 (略) 界昼间、夜间预测值够满足《 (略) 界环境噪声排放标准》（GB 点击查看>> 8）3类标准要求， (略) 界昼间、夜间预测值够满足《 (略) 界环境噪声排放标准》（GB 点击查看>> 8）4类标准要求， (略) 界达标排放。

经预测，本项目噪声源的贡献值叠加声环境保护目标现状值后，海河文化创意产业园声环境质量预测值满足《声环境质量标准》（GB 点击查看>> ）2类标准要求，满足标准要求。

（4）固体废物

本项目固体废物为废晶圆（S₁）、废酸液（S₂）、检测废液（S₃）、废零配件（S₄）、硫酸铵溶液（S₅）、 (略) 理污泥（S₆）、废活性炭（S₇）、废包装容器（S₈）、其他废弃包装物（S₉）和生活垃圾（S _* ）。本项目固体废物分类收集、 (略) 理，不会对环境造成 * 次污染， (略) 理 (略) 性。

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建设项目名称

建设单位名称

建设地点

环评文件编制单位名称

建设项目概况

主要环境影响和环境保护对策与措施

建设单位开展的公众参与情况

公示起止日期

(略) 晶圆再生项目（变动）

(略)

(略) 市 (略) 区咸水沽镇聚兴道 * 号

(略) 环 (略)

(略) 位于 (略) 市 (略) 区咸水沽镇聚兴道 * 号,于 * 日取得天 (略) (略) 关于“晶圆再生项目”环评文件的批复后，组织开展相关工程建设。“晶圆再生项目”实际建设过程中，对部分 (略) 了调整，主要包括晶圆再生加工工艺、加工设备、 (略) 理工艺等，同时拟增加抛光头维保与测试线、抛光头研发与测试线、CMP及减薄设备测试系统、CMP及减薄设备测试系统、晶圆清洗工艺测试平台等建设内容。

项目建成后，具备 * 英寸晶圆再生加工能力 * 万片/年，CMP机台测试能力为 * 台/年，抛光头维保与测试能力2万个/年，同时开展抛光头研发与测试、CMP及减薄设备测试、晶圆清洗研究实验、晶圆清洗工艺测试。

（1）废气

本项目酸性废气排气筒（P1）排放的氟化物、氮氧化物、硫酸雾、氯化氢满足《大气污染物综合排放标准》（GB 点击查看>> 6）表2中 * 级标准限值要求；工艺废气排气筒（P2）排放的氟化物和氯化氢满足《大气污染物综合排放标准》（GB 点击查看>> 6）表2中 * 级标准限值要求，排放的氨满足《恶臭污染物排放标准》（DB * / 点击查看>> ）表1中标准限值要求；有机废气排气筒（P3）排放的TRVOC、NMHC满足该标准中表1中电子工业标准限值要求；燃气锅炉废气排气筒（P4/P5/P6）排放的颗粒物、SO₂、NO_x、CO、烟气黑度满足《锅炉大气污染物排放标准》（DB * / 点击查看>> ）中新建燃气锅炉标准限值要求；食堂排放的油烟满足《餐饮业油烟排放标准》（DB * / 点击查看>> ）中餐饮油烟浓度排放限值要求。

（2）废水

本项目 (略) (略) 理规模为 * m³/ (略) 理系统，对含氟废水（处理能力8m³/h）、研磨废水（处理能力 * m³/h）、含氨废水（处理能力7m³/h） (略) 理后排入综合调节池，与其他废水混合，调节pH后，通过现有污水总排口（DW * ）排入 (略) ，新增 (略) 区化粪池沉淀后，通过污水总排口（DW * ）排入 (略) 。

本项目新增排放废水污染物满足《电子工业水污染物排放标准》（GB 点击查看>> 0）和《污水综合排放标准》（DB * / 点击查看>> ）间接排放标准限值要求，可以实现达标排放。

（3）噪声

本项目 (略) ，建筑隔声，安装减振基垫等，并选取低噪声设备降低噪声对环境的影响。

经预测，本项目噪声源的 (略) 界现状值后，东、 (略) 界昼间、夜间预测值够满足《 (略) 界环境噪声排放标准》（GB 点击查看>> 8）3类标准要求， (略) 界昼间、夜间预测值够满足《 (略) 界环境噪声排放标准》（GB 点击查看>> 8）4类标准要求， (略) 界达标排放。

经预测，本项目噪声源的贡献值叠加声环境保护目标现状值后，海河文化创意产业园声环境质量预测值满足《声环境质量标准》（GB 点击查看>> ）2类标准要求，满足标准要求。

（4）固体废物

本项目固体废物为废晶圆（S₁）、废酸液（S₂）、检测废液（S₃）、废零配件（S₄）、硫酸铵溶液（S₅）、 (略) 理污泥（S₆）、废活性炭（S₇）、废包装容器（S₈）、其他废弃包装物（S₉）和生活垃圾（S _* ）。本项目固体废物分类收集、 (略) 理，不会对环境造成 * 次污染， (略) 理 (略) 性。

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