粤芯半导体项目二期
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| (略) (略) 穗开审批环评〔 * 号关于粤芯半导体项目 * 期环境影响报告表的批复 (略) 粤 (略) :你司通过广 (略) 报来的《粤芯半导体项目 * 期环境影响报告表》（以下简称《报告表》）、《专家意见》、《技术评估意见》及有关材料收悉。经审查，现批复如下： * 、根据环境影响评价结论，从环境保护角度，我局同意该项目选址在 (略) 市 (略) 区凤凰 * 路 * 号建设。请你司按照《报告表》内容落实各项环境污染控制和环境管理措施。项目拟依托 (略) (略) 分辅助指标的基础上，新增建设 * 个 * 类仓库、 * 个 * 类仓库和LSR水池及泵房，新增生产设备、废 (略) 理设施等，将现有产品方向为电源管理集成电路（PMIC）、微控制单位（MCU）、系统级芯片（SOC）、金属—氧 (略) 效应晶体管的 * .6万片/年 * 英寸集成 (略) 调整为生产产品方向为高精度数模转换芯片、高端电源管理芯片、光学传感器、车载及生物传感芯片的 * 英寸集成电路芯片（产品方向的变化主要体现在生产原料种类、配比、产污等方面的不同），并在此基础上扩建新增产品规格 * ~ * nm的 * 寸集成电路芯片。项目内增设激光打标机（扩散MRK）、外延气相沉积机（扩散EPI）、立式炉管（扩散炉管）、湿式酸槽刻蚀清洗机、 (略) 理机台（快速热退火机）等生产设备（详见《报告表》），以硅片、 * %F2/ * %N2、0. * %F2/1. * %Kr/Ne、4%H2/N2、5%B2H6/N2、 * 氯化硼、 * 氟 * * 烯、 * 氟环 * 烷等为主要原辅材料，年增产 * 英寸集成电路芯片 * .4万片， (略) 年产 * 英寸集成电路芯片 * 万片。项目年工作 * 天，每天工作 * 小时。 * 、施工期环境管理措施和要求（ * ）废水治理措施和要求施工营地产生的生活污水经收集、预 (略) (略) 理厂。临时污水治理设施应落实防渗措施，施工废水经收集、 (略) 理后回用于本工程。禁止施工泥浆直接排入水 (略) 。（ * ）废气治理措施和要求应按照《 (略) 省建设工程施工扬尘污染防治管理办法（试行）》等相关要求，严格落实“6个 * %”扬尘控制措施， (略) 地采取围蔽作业， (略) (略) 道路定期洒水，施工物料采取密封运输，出场车辆需经过冲洗，裸土、 (略) 应覆盖，最大限度减缓扬尘污染影响。（ * ）噪声防治措施和要求施工期间应选用低噪设备和工艺，加强施工机械的维护和保养。合理安排施工时间，避免在居民休息时间作业，特殊情况下需延长施工时间的， (略) 。项目施 (略) 《 (略) 界环境噪声排放标准》（GB 点击查看>> 1）。（ * ） (略) 理措施和要求施工中产生的固体废弃物应按照《 (略) 市建筑废弃物管理条例》 (略) 置。（ * ）生态保护措施和要求应 (略) 的排水系统，并有计划地开挖土方，减少裸露地表面积和裸露时间，防止雨天造成水土流失。 * 、运营期环境管理措施和要求（ * ）废水治理措施和要求1.员工办公生活污水在满足《电子工业水污染物排放标准》（GB 点击查看>> 0）表1 水污染物排放限值中的间接排放限值的前提下，排入 (略) 由 * 龙 (略) (略) 理。2.项目含铜废水（主要包括铜制程水洗、含铜研磨废水）经“混凝沉淀”处理；研磨废水（主要包括氧化硅、多晶硅和金属钨的化学机械研磨工序废水）单独收集后经“化学中和+双氧水去除+化学沉淀法”处理；酸碱废水（主要包括盐酸、硫酸、磷酸、双氧水等酸碱废水、地面清洗废水、硅片背面酸洗（含硝酸）、冷却塔废水、纯水系统反洗废水、纯水回用系统RO浓水和纯水系统再生酸碱废水）单独收集经“化学中和”处理；含氟废水（主要包括硅片背面酸洗（含氢氟酸）、氮化硅刻蚀、湿法去胶清洗废水（酸性）、 * 氧化硅刻蚀、酸洗前工段和后工段清洗废水（含氟）、酸洗含氟酸性废水，Local scrubber 系统废水，酸性工艺废气喷淋塔废水）单独收集后经“化学中和+CaCl2化学沉淀法”处理；含氟含氨废水（主要包括显影废水（含氨）、显影、碱洗前工段和后工段清洗废水（含氨）、碱洗碱性废水（含氨）、碱性工艺废气喷淋塔废水、金属钨刻蚀废水（含氨）、湿法蚀刻、酸洗前工段和后工段清洗废水（含氟））单独收集后经“氨氮吹脱+化学中和+双氧水去除+CaCl2化学沉淀法”处理后与有机废水（主要包括湿法去胶前工段和后工段清洗废水（有机））汇合经“水解酸化+AO+MBR”处理；含氟废水中的废气喷淋洗涤水含砷化物，属于第 * 类污染物，应确保混合前满足《电子工业水污染物排放标准》（GB 点击查看>> 0）表1 水污染物排放限值中的间接排放限值的要求（即“车间口达标”）；各股 (略) 理后进入综 (略) 理池，满足《电子工业水污染物排放标准》（GB 点击查看>> 0）表1 水污染物排放限值中的间接排放限值后，排入 (略) 由 * 龙 (略) (略) 理。3.酸性废气喷淋吸收液出口应设置总砷在线监测装置；废水总排放口安装在线监测装置，并确保与 (略) (略) 联网对接，实时监控污染物的排放情况。（ * ）废气治理措施和要求1.改扩建后项目有机废气（VOCs）集中收集经2套沸石转轮浓 (略) 理（焚烧炉燃天然气），其中VOCs达到《家具制造业挥发性有机物排放标准》（DB * / 点击查看>> ）第Ⅱ时段排放限值，SO2和NOx达到 (略) 省地方标准《大气污染物排放限值》（DB * / * - * ）第 * 时段 * 级标准后，经2根 * m高排气筒引向高空排放。2.改扩建后项目热氧化、CVD、光刻中的曝光、干法刻蚀、离子注入等工艺废气集中收集经“POU设备”（主要工艺为“燃烧水洗”和“干式吸附”）处理后并 (略) 理系统（碱液喷淋洗涤塔）处理，其中氟化物、氯化氢、硫酸雾、氯气、氮氧化物、砷及其化合物达到 (略) 省《大气污染物排放限值》（DB * / * - * ）第 * 时段 * 级标准，磷烷、 (略) 《环境影响评价技术导则 制药建设项目》（HJ 点击查看>> ）附录C 多介质环境目标值估算DMEG值和《荷兰排放导则》（NER）中的排放限值较严者后，与酸性废气共用排气筒引向高空排放，共设8根高度为 * m的排气筒。3.改扩建项目新增的离子注入工艺废气集中收集后经POU装置（干式吸附）处理后，其中砷及其化合物达到 (略) 省《大气污染物排放限值》（DB * / * - * ）第 * 时段 * 级标准，磷烷达到《环境影响评价技术导则 制药建设项目》（HJ 点击查看>> ）附录C 多介质环境目标值估算DMEG值和《荷兰排放导则》（NER）中的排放限值较严者后，经1根 * m高排气筒引向高空排放。4.改扩建后项目碱性废气（NH3）集中收集经酸液 (略) 理，在满足《恶臭污染物排放标准》（GB 点击查看>> 3）表2的前提下引至高空排放，设3根高度为 * m的排气筒。5.改扩建 (略) 理站的水 (略) 采用加盖封闭的结构，并对封闭池内抽风换气， (略) 于微负压状态，臭气不外逸；对机械设备中可能 (略) 分， (略) 部抽排风措施；确保收集的臭气（氨气、硫化氢等）经双级 (略) 理，达到《恶臭污染物排放标准》（GB 点击查看>> ）的要求，经1根 * 米高的排气筒引向高空排放。6.改扩建后项目生产车间应为密闭区域，产生废气的生产设备均设置在密闭的生产设备区，产 (略) 经所在设备区的抽风系统进入净化系统。7.改扩建后项目燃气热水锅炉（1台 * KW）采用天然气作为燃料，燃料燃烧尾气应达到 (略) 省《锅炉大气污染物排放标准》（DB * / 点击查看>> ）表2 新建锅炉大气污染物排放浓度限值中燃气锅炉的要求，经1根 * 米高排气筒引向高空排放。项目属于集中供热规划覆盖区，在 (略) 接通后，应在3个月内按有关规定拆除供热锅炉。8.备用发电机应燃含硫量符合国家规定的轻柴油，尾气在满足 (略) 省《大气污染物排放限值》（DB * / * - * ）第 * 时段 * 级标准排放限值，其中烟气黑度低于林格曼黑度1级标准的前提下，通过烟道集中引向高空排放。备用发电机只能在应急时使用。9.员工食堂厨房炉灶应使用燃气或电等清洁能源，烹 (略) (略) (略) 理达到《饮食业油烟排放标准》（GB 点击查看>> 1）后通过烟管引向高空排放。 * .做好各类废气分区收集收理工作， (略) 区车间有机废气、酸性废气及有害废气的收集效率，防止工艺废气跟随热气引至通风系统排放。 * .各排气筒均应按有关环境监测规范要求设置取样孔及取样平台，以 (略) (略) 取样监测。 * . (略) 理系 (略) 理装置及其输液泵、风机和排气筒等辅助设施，排风设置报警装置， * 旦出现故障，及时启用备用设备。当 (略) 理装置故障时，相关生产设 (略) ，在连锁装置作用下，化学品物料供应系统停止，设备内污染 (略) 理装置。含砷废气监控点应设置在“POU装置”出口。 * .厂内VOCS应满足《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB 点击查看>> 9）特别排放限值管控要求，厂界VOCS应满足 (略) 省《 (略) 业挥发性有机化合物排放标准》（DB * - 点击查看>> ）无组织排放浓度监控限值，厂界氨、硫化氢和臭气浓度应满足《恶臭污染物排放标准》（GB 点击查看>> ）表1 * 级新改扩建标准，厂界氟化物、氯气、氯化氢、硫酸雾、氮氧化物、砷及其化合物等应满足 (略) 省《大气污染物排放限值》（DB * / * - * ）第 * 时段无组织排放监控浓度限值。 * . * 期项目新增污染物排放总量（t/a）应控制在以下范围：VOCs≤2. * 、SO2≤1. * 、NOX≤ * . * 、氟化物≤3. * 、HCl≤7. * 、硫酸雾≤7. * 、氯气≤1. * 、硅烷≤0. * 、磷烷≤0. * 4、砷烷≤0. * 4、氨气≤3. * 、硫化氢≤0. * 、烟尘≤0. * ； (略) 排放总量（t/a）应控制在以下范围：VOCs≤7. * 、SO2≤1. * 、NOX≤ * . * 、氟化物≤4. * 、HCl≤8. * 、硫酸雾≤9. * 、氯气≤2. * 、硅烷≤0. * 、磷烷≤0. * 、砷烷≤0. * 、氨气≤4. * 、硫化氢≤0. * 、烟尘≤0. * 。 * .项目应安装有机废气（VOCs）在线监测系统，并确保与 (略) (略) (略) (略) 联网对接，实时监控污染物的排放情况。（ * ）噪声治理措施和要求应对冷冻机组、空压机、真空泵、风机、水泵、生产设备等 (略) 合理布设，同时采取隔声、降噪、防振等措施， (略) 界噪声符合《 (略) 界环境噪声排放标准》（GB 点击查看>> 8）2类标准。（ * ）固体废弃物防治措施和要求1.磷酸废液、硫酸废液、含铜污泥、废稀释剂（含光刻胶）、废去光阻液（含光刻胶）、抹布/手套/清洗液等（沾化学物质清洗杂物等）、废化学容器、废铅酸电池镉电池、废灯管、含砷废气废过滤芯、废活性炭、 (略) 理系统离子交换树脂等属《国家危险废物名录》中的废物，应按 (略) 收集，委托具有相应危险废物经营许可证资 (略) (略) 理。按时完成年度固体废物申报登记。危 (略) 应按照国家《危险废物贮存污染控制标准》（GB 点击查看>> 1） (略) 设置。2.氟化钙污泥、废包装材料、废靶材、纯水制备系统的废离子交换树脂、废芯片、研磨系统污泥、氨氮吹脱系统产生的硫酸铵废液等应委托有相应 (略) (略) (略) 理。3.生活垃 (略) (略) (略) 理。（ * ）环境风险 (略) 理措施1. (略) 环境管理， (略) 理突发环境事件的设施和物资，明确环 (略) 理第 * 责任人，定期开展环境安全教育及环 (略) 理应急演练。在发生环境污染事故第 * 时间，除本公司积极做好抢险工作以外，应立即 (略) 门报告，并立即向周边环境敏感点发出应急通知，争取将环境污染事故消灭在萌芽状态，避免对公司人员和周边居民产生不利影响。2.改 (略) 内设置1个事故应急池和1个事故废水池，总容积为 * m3，以及事故 (略) 和控制阀门，以收集事故过程中产生的废水。 * 旦发生事故性泄漏和火灾，应确保泄漏的化学品和消防过程产 (略) 进入废水收集池，并将事故废水 (略) (略) 处理，杜绝直接 (略) 或自然水体。3.实现生产设备与污染治理设施联动，并制定相应的管理制度，避免产生非正常或事故性排放。4.车间、 (略) 、化学品仓库等应设置防渗防泄措施，避免事故性泄漏的污染物进入环境。5.应加强对运输单位的管理，确保由有相应资质的单位承担化学品运输。（ * ）应按《关于印发 (略) 省污染源排污口规范化设置导则的通知》（粤环〔 * 〕 * 号）要求设置排污口。（ * ）应按先进的清洁生产水平和节能 (略) 设计，优先采用先进的清洁生产工艺、设备，采取有效措施减少物耗、水耗、能耗和污染物的产生量，最大限度地从源头削减污染物的排放量，持续提高清洁生产水平。 * 、项目建成后，正式排放污染物前，应按照排污口规范化管理要求做好排污口规范化，并依法申办排污许可手续；按照《建设项目环境保护管理条例》（ (略) * 日修订）和《 (略) (略) 关于规范建设单位自主开展建设项目竣工环境保护验收的通知》（穗环〔 * 号）要求依法办理该项目竣工环保验收工作，环境保护设施经验收合格后方可 (略) 。运行过程中如遇环境信访投诉，你司应负责妥善解决，直至事态平息。 * 、建设项目的环境影响评价文件经批准后，建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动的，建设单位应当重新报批建设项目的环境影响评价文件。 * 、该项目涉及有关规划、消防、安全生产、卫生等问题的， (略) 门办理手续。 * 、 (略) 政许可决定，可在接到本文之日起 * 日内，向 (略) 市 (略) 区人 (略) 政复议申请，或在6个月内直接向有管辖 (略) (略) 政诉讼。行政复议、行政诉讼期间内，不停止本决定（批复） (略) 。 (略) (略) * 日 (略) (略) * 日公开形式：主动公开 抄送： (略) 区 (略) | |||
| (略) (略) 穗开审批环评〔 * 号关于粤芯半导体项目 * 期环境影响报告表的批复 (略) 粤 (略) :你司通过广 (略) 报来的《粤芯半导体项目 * 期环境影响报告表》（以下简称《报告表》）、《专家意见》、《技术评估意见》及有关材料收悉。经审查，现批复如下： * 、根据环境影响评价结论，从环境保护角度，我局同意该项目选址在 (略) 市 (略) 区凤凰 * 路 * 号建设。请你司按照《报告表》内容落实各项环境污染控制和环境管理措施。项目拟依托 (略) (略) 分辅助指标的基础上，新增建设 * 个 * 类仓库、 * 个 * 类仓库和LSR水池及泵房，新增生产设备、废 (略) 理设施等，将现有产品方向为电源管理集成电路（PMIC）、微控制单位（MCU）、系统级芯片（SOC）、金属—氧 (略) 效应晶体管的 * .6万片/年 * 英寸集成 (略) 调整为生产产品方向为高精度数模转换芯片、高端电源管理芯片、光学传感器、车载及生物传感芯片的 * 英寸集成电路芯片（产品方向的变化主要体现在生产原料种类、配比、产污等方面的不同），并在此基础上扩建新增产品规格 * ~ * nm的 * 寸集成电路芯片。项目内增设激光打标机（扩散MRK）、外延气相沉积机（扩散EPI）、立式炉管（扩散炉管）、湿式酸槽刻蚀清洗机、 (略) 理机台（快速热退火机）等生产设备（详见《报告表》），以硅片、 * %F2/ * %N2、0. * %F2/1. * %Kr/Ne、4%H2/N2、5%B2H6/N2、 * 氯化硼、 * 氟 * * 烯、 * 氟环 * 烷等为主要原辅材料，年增产 * 英寸集成电路芯片 * .4万片， (略) 年产 * 英寸集成电路芯片 * 万片。项目年工作 * 天，每天工作 * 小时。 * 、施工期环境管理措施和要求（ * ）废水治理措施和要求施工营地产生的生活污水经收集、预 (略) (略) 理厂。临时污水治理设施应落实防渗措施，施工废水经收集、 (略) 理后回用于本工程。禁止施工泥浆直接排入水 (略) 。（ * ）废气治理措施和要求应按照《 (略) 省建设工程施工扬尘污染防治管理办法（试行）》等相关要求，严格落实“6个 * %”扬尘控制措施， (略) 地采取围蔽作业， (略) (略) 道路定期洒水，施工物料采取密封运输，出场车辆需经过冲洗，裸土、 (略) 应覆盖，最大限度减缓扬尘污染影响。（ * ）噪声防治措施和要求施工期间应选用低噪设备和工艺，加强施工机械的维护和保养。合理安排施工时间，避免在居民休息时间作业，特殊情况下需延长施工时间的， (略) 。项目施 (略) 《 (略) 界环境噪声排放标准》（GB 点击查看>> 1）。（ * ） (略) 理措施和要求施工中产生的固体废弃物应按照《 (略) 市建筑废弃物管理条例》 (略) 置。（ * ）生态保护措施和要求应 (略) 的排水系统，并有计划地开挖土方，减少裸露地表面积和裸露时间，防止雨天造成水土流失。 * 、运营期环境管理措施和要求（ * ）废水治理措施和要求1.员工办公生活污水在满足《电子工业水污染物排放标准》（GB 点击查看>> 0）表1 水污染物排放限值中的间接排放限值的前提下，排入 (略) 由 * 龙 (略) (略) 理。2.项目含铜废水（主要包括铜制程水洗、含铜研磨废水）经“混凝沉淀”处理；研磨废水（主要包括氧化硅、多晶硅和金属钨的化学机械研磨工序废水）单独收集后经“化学中和+双氧水去除+化学沉淀法”处理；酸碱废水（主要包括盐酸、硫酸、磷酸、双氧水等酸碱废水、地面清洗废水、硅片背面酸洗（含硝酸）、冷却塔废水、纯水系统反洗废水、纯水回用系统RO浓水和纯水系统再生酸碱废水）单独收集经“化学中和”处理；含氟废水（主要包括硅片背面酸洗（含氢氟酸）、氮化硅刻蚀、湿法去胶清洗废水（酸性）、 * 氧化硅刻蚀、酸洗前工段和后工段清洗废水（含氟）、酸洗含氟酸性废水，Local scrubber 系统废水，酸性工艺废气喷淋塔废水）单独收集后经“化学中和+CaCl2化学沉淀法”处理；含氟含氨废水（主要包括显影废水（含氨）、显影、碱洗前工段和后工段清洗废水（含氨）、碱洗碱性废水（含氨）、碱性工艺废气喷淋塔废水、金属钨刻蚀废水（含氨）、湿法蚀刻、酸洗前工段和后工段清洗废水（含氟））单独收集后经“氨氮吹脱+化学中和+双氧水去除+CaCl2化学沉淀法”处理后与有机废水（主要包括湿法去胶前工段和后工段清洗废水（有机））汇合经“水解酸化+AO+MBR”处理；含氟废水中的废气喷淋洗涤水含砷化物，属于第 * 类污染物，应确保混合前满足《电子工业水污染物排放标准》（GB 点击查看>> 0）表1 水污染物排放限值中的间接排放限值的要求（即“车间口达标”）；各股 (略) 理后进入综 (略) 理池，满足《电子工业水污染物排放标准》（GB 点击查看>> 0）表1 水污染物排放限值中的间接排放限值后，排入 (略) 由 * 龙 (略) (略) 理。3.酸性废气喷淋吸收液出口应设置总砷在线监测装置；废水总排放口安装在线监测装置，并确保与 (略) (略) 联网对接，实时监控污染物的排放情况。（ * ）废气治理措施和要求1.改扩建后项目有机废气（VOCs）集中收集经2套沸石转轮浓 (略) 理（焚烧炉燃天然气），其中VOCs达到《家具制造业挥发性有机物排放标准》（DB * / 点击查看>> ）第Ⅱ时段排放限值，SO2和NOx达到 (略) 省地方标准《大气污染物排放限值》（DB * / * - * ）第 * 时段 * 级标准后，经2根 * m高排气筒引向高空排放。2.改扩建后项目热氧化、CVD、光刻中的曝光、干法刻蚀、离子注入等工艺废气集中收集经“POU设备”（主要工艺为“燃烧水洗”和“干式吸附”）处理后并 (略) 理系统（碱液喷淋洗涤塔）处理，其中氟化物、氯化氢、硫酸雾、氯气、氮氧化物、砷及其化合物达到 (略) 省《大气污染物排放限值》（DB * / * - * ）第 * 时段 * 级标准，磷烷、 (略) 《环境影响评价技术导则 制药建设项目》（HJ 点击查看>> ）附录C 多介质环境目标值估算DMEG值和《荷兰排放导则》（NER）中的排放限值较严者后，与酸性废气共用排气筒引向高空排放，共设8根高度为 * m的排气筒。3.改扩建项目新增的离子注入工艺废气集中收集后经POU装置（干式吸附）处理后，其中砷及其化合物达到 (略) 省《大气污染物排放限值》（DB * / * - * ）第 * 时段 * 级标准，磷烷达到《环境影响评价技术导则 制药建设项目》（HJ 点击查看>> ）附录C 多介质环境目标值估算DMEG值和《荷兰排放导则》（NER）中的排放限值较严者后，经1根 * m高排气筒引向高空排放。4.改扩建后项目碱性废气（NH3）集中收集经酸液 (略) 理，在满足《恶臭污染物排放标准》（GB 点击查看>> 3）表2的前提下引至高空排放，设3根高度为 * m的排气筒。5.改扩建 (略) 理站的水 (略) 采用加盖封闭的结构，并对封闭池内抽风换气， (略) 于微负压状态，臭气不外逸；对机械设备中可能 (略) 分， (略) 部抽排风措施；确保收集的臭气（氨气、硫化氢等）经双级 (略) 理，达到《恶臭污染物排放标准》（GB 点击查看>> ）的要求，经1根 * 米高的排气筒引向高空排放。6.改扩建后项目生产车间应为密闭区域，产生废气的生产设备均设置在密闭的生产设备区，产 (略) 经所在设备区的抽风系统进入净化系统。7.改扩建后项目燃气热水锅炉（1台 * KW）采用天然气作为燃料，燃料燃烧尾气应达到 (略) 省《锅炉大气污染物排放标准》（DB * / 点击查看>> ）表2 新建锅炉大气污染物排放浓度限值中燃气锅炉的要求，经1根 * 米高排气筒引向高空排放。项目属于集中供热规划覆盖区，在 (略) 接通后，应在3个月内按有关规定拆除供热锅炉。8.备用发电机应燃含硫量符合国家规定的轻柴油，尾气在满足 (略) 省《大气污染物排放限值》（DB * / * - * ）第 * 时段 * 级标准排放限值，其中烟气黑度低于林格曼黑度1级标准的前提下，通过烟道集中引向高空排放。备用发电机只能在应急时使用。9.员工食堂厨房炉灶应使用燃气或电等清洁能源，烹 (略) (略) (略) 理达到《饮食业油烟排放标准》（GB 点击查看>> 1）后通过烟管引向高空排放。 * .做好各类废气分区收集收理工作， (略) 区车间有机废气、酸性废气及有害废气的收集效率，防止工艺废气跟随热气引至通风系统排放。 * .各排气筒均应按有关环境监测规范要求设置取样孔及取样平台，以 (略) (略) 取样监测。 * . (略) 理系 (略) 理装置及其输液泵、风机和排气筒等辅助设施，排风设置报警装置， * 旦出现故障，及时启用备用设备。当 (略) 理装置故障时，相关生产设 (略) ，在连锁装置作用下，化学品物料供应系统停止，设备内污染 (略) 理装置。含砷废气监控点应设置在“POU装置”出口。 * .厂内VOCS应满足《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB 点击查看>> 9）特别排放限值管控要求，厂界VOCS应满足 (略) 省《 (略) 业挥发性有机化合物排放标准》（DB * - 点击查看>> ）无组织排放浓度监控限值，厂界氨、硫化氢和臭气浓度应满足《恶臭污染物排放标准》（GB 点击查看>> ）表1 * 级新改扩建标准，厂界氟化物、氯气、氯化氢、硫酸雾、氮氧化物、砷及其化合物等应满足 (略) 省《大气污染物排放限值》（DB * / * - * ）第 * 时段无组织排放监控浓度限值。 * . * 期项目新增污染物排放总量（t/a）应控制在以下范围：VOCs≤2. * 、SO2≤1. * 、NOX≤ * . * 、氟化物≤3. * 、HCl≤7. * 、硫酸雾≤7. * 、氯气≤1. * 、硅烷≤0. * 、磷烷≤0. * 4、砷烷≤0. * 4、氨气≤3. * 、硫化氢≤0. * 、烟尘≤0. * ； (略) 排放总量（t/a）应控制在以下范围：VOCs≤7. * 、SO2≤1. * 、NOX≤ * . * 、氟化物≤4. * 、HCl≤8. * 、硫酸雾≤9. * 、氯气≤2. * 、硅烷≤0. * 、磷烷≤0. * 、砷烷≤0. * 、氨气≤4. * 、硫化氢≤0. * 、烟尘≤0. * 。 * .项目应安装有机废气（VOCs）在线监测系统，并确保与 (略) (略) (略) (略) 联网对接，实时监控污染物的排放情况。（ * ）噪声治理措施和要求应对冷冻机组、空压机、真空泵、风机、水泵、生产设备等 (略) 合理布设，同时采取隔声、降噪、防振等措施， (略) 界噪声符合《 (略) 界环境噪声排放标准》（GB 点击查看>> 8）2类标准。（ * ）固体废弃物防治措施和要求1.磷酸废液、硫酸废液、含铜污泥、废稀释剂（含光刻胶）、废去光阻液（含光刻胶）、抹布/手套/清洗液等（沾化学物质清洗杂物等）、废化学容器、废铅酸电池镉电池、废灯管、含砷废气废过滤芯、废活性炭、 (略) 理系统离子交换树脂等属《国家危险废物名录》中的废物，应按 (略) 收集，委托具有相应危险废物经营许可证资 (略) (略) 理。按时完成年度固体废物申报登记。危 (略) 应按照国家《危险废物贮存污染控制标准》（GB 点击查看>> 1） (略) 设置。2.氟化钙污泥、废包装材料、废靶材、纯水制备系统的废离子交换树脂、废芯片、研磨系统污泥、氨氮吹脱系统产生的硫酸铵废液等应委托有相应 (略) (略) (略) 理。3.生活垃 (略) (略) (略) 理。（ * ）环境风险 (略) 理措施1. (略) 环境管理， (略) 理突发环境事件的设施和物资，明确环 (略) 理第 * 责任人，定期开展环境安全教育及环 (略) 理应急演练。在发生环境污染事故第 * 时间，除本公司积极做好抢险工作以外，应立即 (略) 门报告，并立即向周边环境敏感点发出应急通知，争取将环境污染事故消灭在萌芽状态，避免对公司人员和周边居民产生不利影响。2.改 (略) 内设置1个事故应急池和1个事故废水池，总容积为 * m3，以及事故 (略) 和控制阀门，以收集事故过程中产生的废水。 * 旦发生事故性泄漏和火灾，应确保泄漏的化学品和消防过程产 (略) 进入废水收集池，并将事故废水 (略) (略) 处理，杜绝直接 (略) 或自然水体。3.实现生产设备与污染治理设施联动，并制定相应的管理制度，避免产生非正常或事故性排放。4.车间、 (略) 、化学品仓库等应设置防渗防泄措施，避免事故性泄漏的污染物进入环境。5.应加强对运输单位的管理，确保由有相应资质的单位承担化学品运输。（ * ）应按《关于印发 (略) 省污染源排污口规范化设置导则的通知》（粤环〔 * 〕 * 号）要求设置排污口。（ * ）应按先进的清洁生产水平和节能 (略) 设计，优先采用先进的清洁生产工艺、设备，采取有效措施减少物耗、水耗、能耗和污染物的产生量，最大限度地从源头削减污染物的排放量，持续提高清洁生产水平。 * 、项目建成后，正式排放污染物前，应按照排污口规范化管理要求做好排污口规范化，并依法申办排污许可手续；按照《建设项目环境保护管理条例》（ (略) * 日修订）和《 (略) (略) 关于规范建设单位自主开展建设项目竣工环境保护验收的通知》（穗环〔 * 号）要求依法办理该项目竣工环保验收工作，环境保护设施经验收合格后方可 (略) 。运行过程中如遇环境信访投诉，你司应负责妥善解决，直至事态平息。 * 、建设项目的环境影响评价文件经批准后，建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动的，建设单位应当重新报批建设项目的环境影响评价文件。 * 、该项目涉及有关规划、消防、安全生产、卫生等问题的， (略) 门办理手续。 * 、 (略) 政许可决定，可在接到本文之日起 * 日内，向 (略) 市 (略) 区人 (略) 政复议申请，或在6个月内直接向有管辖 (略) (略) 政诉讼。行政复议、行政诉讼期间内，不停止本决定（批复） (略) 。 (略) (略) * 日 (略) (略) * 日公开形式：主动公开 抄送： (略) 区 (略) | |||
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