华东光电集 (略) ：

你单位报批的《MEMS产能提升建设项目环境影响报告表》（以下简称《报告表》）收悉。经审查，现批复如下：

一、原则同意《报告表》结论。项目位于安徽省蚌埠市龙子湖区汤和路 * 号，项目总投资 * 万元，总用地面积 * ㎡。项目为产能提升扩建项目，利用现 (略) 房预留区，改造现有 * (略) 分厂房，配套新建2 (略) 房及设施，达到MEMS芯片生产的扩能要求。建设内容主要包括生产设备、动力保障设备、 (略) 房建设及集中供液系统，项目建成后将新增 * 片/年晶圆加工能力。在严格落实《报告表》提出的各项环保措施的前提下，各类污染物可实现达标排放，主要污染物排放量满足总量控制指标要求。我局原则同意《报告表》中所列建设项目的性质、规模、工艺、地点和拟采取的环境保护措施。

二、项目应重点做好以下工作：

1、严格落实《报告表》中提出的各项大气污染防治措施，做好项目施工期间和项目运营期间的废气污染防治工作，加强各类废气收集， (略) 理系统设备的管理维护，确保工艺废气稳定达标排放。项目营运期产生的废气主要有酸性废气、碱性废气、有机废气、有毒废气、集中供液系统废气和锅炉废气等。蚀刻工序产生的酸碱废气（盐酸酸雾、硫酸酸雾、碱雾），经1套酸/碱液喷淋吸 (略) 理后，一起由1根25米高的酸碱排气筒排放；光刻、腐蚀、刻蚀等工序产生VOCs由集气罩收集后，经二级活性 (略) 理后，由1根25米排气筒排放；金属沉积、刻蚀等工序产生的氟化物（主要有三氟化硼、六氟化硫、四氟化碳、磷烷等）等有毒废气，由各工序设置的集气罩收集后，经1套碱液/酸液喷 (略) 理后，一起由1根25米高排气筒排放；项目供液间密闭，集中供液系统产生的酸碱废气、有毒废气经单独设置的1套酸/碱液喷 (略) 理后，由1根25米高排气筒排放，集中供液系统产生的有机废气收集后，采用二级 (略) 理后，由1根25米排气筒排放；项目新增3台天然气锅炉，采用低氮燃烧技术后，燃烧废气分别由3根15米高排气筒排放。项目产生的氟化物、氯化氢、硫酸雾、 (略) 《大气污染物综合排放标准》（GB 点击查看>> 6）表2中二级标准；氨有 (略) 《恶臭污染物排放标准》（GB 点击查看>> ）表2中排放限值的要求，氨无 (略) 《恶臭污染物排放标准》（GB 点击查看>> ）表1中二级新扩改建标准；VOCs无 (略) 《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB * — * ）；锅炉 (略) 《锅炉大气污染物排放标准》（GB 点击查看>> 4）中表3大气污染物特别排放限值和《安徽省 * 年大气污染防治重点工作任务》（皖大气办〔 * 〕2号文）相关要求。加强生产 (略) 理站周边绿化，设置绿化带， (略) 理站恶臭对周边环境的影响。

2、 (略) “雨污分流、清污分流”，严格落实《报告表》中提出的生产废水污染防治措施。项目 (略) 理设施的基础上，新增一套含 (略) 理系统、一 (略) 理系统和一套 (略) 理系统，并将现有含 (略) 理工艺中采用的无机铝系絮凝剂替换为聚合硫酸铁絮凝剂。项目生产废水主要有酸碱废水、含氟含磷废水、有机废水、废气洗涤塔废水、纯水系统浓废水、循环冷却水废水和锅炉废水。酸碱废水直 (略) (略) 理；含氟废水 (略) (略) 理后， (略) (略) 理；含磷废水 (略) (略) 理后， (略) (略) 理；有机废水进入 (略) (略) 理后， (略) (略) (略) 理；废气洗涤塔废水汇 (略) (略) 理；纯水系统浓废水、循环冷却水废水和锅炉废水， (略) 收集后，由废水总排口直接排放。本项目 (略) 蚌埠 (略) 理厂接管标准及《电子工业水污染物排放标准》（GB 点击查看>> 0）表1中水污染物间接排放限值。规范设置废水总排放口。

3、做好项目运营期的环境噪声污染防治工作。项目噪声主要为生产设备、生产车间的通风设备、 (略) 理站的鼓风机 (略) 时产生的噪声。经厂房建筑物隔声，基础减震，设立单独操作室，设置百叶窗式隔声屏障等降噪措施后能达标排放。项目北侧、南侧、东侧及周 (略) 《 (略) 界环境噪声排放标准》（GB 点击查看>> 8）1类标准， (略) 《 (略) 界环境噪声排放标准》（GB 点击查看>> 8）4类标准。

4、按照《报告表》要求，强化固体废物产生、收集、贮运等环节的管理，规范设 (略) 所，分类存放，做到固体废物去向明确、 (略) 置或资源化利用。项目危险废物主要有废液（废光刻胶、废显影液、废蚀刻液）、 (略) 理站污泥、废活性炭。各类废液、废活性炭分类收集、存放在相应的专用容器中，定期委托 (略) 理 (略) 置； (略) 理站污泥送至有资质的专 (略) (略) 置； (略) 《危险废物贮存污染控制标准》(GB 点击查看>> 1)及 * 年修改单要求。项目一般固废主要为废树脂， (略) 家回收。

5、 (略) 分区防渗，防止土壤、地下水污染。项目应按照《报告表》中相关要求严格落实各类防范措施，在扩建区域内可能泄漏污染物的污 (略) (略) 理，及时将泄漏、渗漏的污染物 (略) 处理。

6、在项目施工和运营过程中，应建立畅通的公众参与平台，加强宣传与沟通工作，及时解决公众担忧的环境问题，满足公众合理的环境诉求。定期发布企业环境信息， (略) 会监督。

7、建立 (略) 环境管理机制，制定完善的环保规章制度，建立完整的企业环境管理体系。强化污染源无组织排放源管理，按照《报告表》 (略) 监测要求， (略) 监测方案，落实环境管理与监测计划，按 (略) 监测和信息公开。项目实施后，须加强污染 (略) 维护，保障污染防治 (略) ，严格落实污染防治设备安全生产要求，确保最终排入外环境的污染物总量不超过核定的总量控制指标。

三、加强环境风险防控。强化危险化学品的运输、使用、储存管理，加强生产过程中环保与风险防 (略) 管理和维护，制定环境风险应急预案，落实《报告表》提出的环境风险事故 (略) 理措施。液态危化品储存区必须按相关技术规范设置围堰，并对储存区 (略) 硬化、防腐、 (略) 理，同时应按照事故风险防范要求强化事故池日常管理。

四、做好环境影响评价制度与排污许可制衔接相关工作。根据《排污许可管理条例》、《固定污染源排污许可分类管理名录（ * 年版）》等环保法律法规要求， (略) 排污许可简化管理，项目发 (略) 为之前，你单位应当按照要求对排污可证予以变更。

五、项目实施 (略) 环境保护设施与主体工程同时设计、同时施工、同时投产使用的环境保护“三同时”制度，规范设置排污口。项目竣工后，你单位应按照《建设项目竣工环境 (略) 办法》 (略) (略) (略) 门规定的标准和程序，及时开展建设项目竣工环境保护验收工作。

六、《报告表》批准后，若建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动，你单位应当重新报批建设项目的环境影响评价文件。

七、此审批意见仅说明该项目应符合的环境保护相关要求，项目单位在开工建设前还应依法取 (略) 门的合法批件。

八、请蚌埠市经济开发区生态环 (略) (略) 负责该项目的监督检查和日常环境管理工作，确保项目按《报告表》及批复要求设计、施工和投入使用。

* 年1月6日

（ (略) 会信用代码： 点击查看>> J）

(略) 政诉讼权利告知：依据《中华 (略) 政复议法》和《中华 (略) 政诉讼法》，公民、法人或者其他组织认为公告的建设项目环境影响评价文件审批决定侵犯其合法权益的，可以自公告期限届满之日起六 (略) 政复议，也可以自公告期限届满之日起六 (略) 政诉讼。

华东光电集 (略) ：

你单位报批的《MEMS产能提升建设项目环境影响报告表》（以下简称《报告表》）收悉。经审查，现批复如下：

一、原则同意《报告表》结论。项目位于安徽省蚌埠市龙子湖区汤和路 * 号，项目总投资 * 万元，总用地面积 * ㎡。项目为产能提升扩建项目，利用现 (略) 房预留区，改造现有 * (略) 分厂房，配套新建2 (略) 房及设施，达到MEMS芯片生产的扩能要求。建设内容主要包括生产设备、动力保障设备、 (略) 房建设及集中供液系统，项目建成后将新增 * 片/年晶圆加工能力。在严格落实《报告表》提出的各项环保措施的前提下，各类污染物可实现达标排放，主要污染物排放量满足总量控制指标要求。我局原则同意《报告表》中所列建设项目的性质、规模、工艺、地点和拟采取的环境保护措施。

二、项目应重点做好以下工作：

1、严格落实《报告表》中提出的各项大气污染防治措施，做好项目施工期间和项目运营期间的废气污染防治工作，加强各类废气收集， (略) 理系统设备的管理维护，确保工艺废气稳定达标排放。项目营运期产生的废气主要有酸性废气、碱性废气、有机废气、有毒废气、集中供液系统废气和锅炉废气等。蚀刻工序产生的酸碱废气（盐酸酸雾、硫酸酸雾、碱雾），经1套酸/碱液喷淋吸 (略) 理后，一起由1根25米高的酸碱排气筒排放；光刻、腐蚀、刻蚀等工序产生VOCs由集气罩收集后，经二级活性 (略) 理后，由1根25米排气筒排放；金属沉积、刻蚀等工序产生的氟化物（主要有三氟化硼、六氟化硫、四氟化碳、磷烷等）等有毒废气，由各工序设置的集气罩收集后，经1套碱液/酸液喷 (略) 理后，一起由1根25米高排气筒排放；项目供液间密闭，集中供液系统产生的酸碱废气、有毒废气经单独设置的1套酸/碱液喷 (略) 理后，由1根25米高排气筒排放，集中供液系统产生的有机废气收集后，采用二级 (略) 理后，由1根25米排气筒排放；项目新增3台天然气锅炉，采用低氮燃烧技术后，燃烧废气分别由3根15米高排气筒排放。项目产生的氟化物、氯化氢、硫酸雾、 (略) 《大气污染物综合排放标准》（GB 点击查看>> 6）表2中二级标准；氨有 (略) 《恶臭污染物排放标准》（GB 点击查看>> ）表2中排放限值的要求，氨无 (略) 《恶臭污染物排放标准》（GB 点击查看>> ）表1中二级新扩改建标准；VOCs无 (略) 《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB * — * ）；锅炉 (略) 《锅炉大气污染物排放标准》（GB 点击查看>> 4）中表3大气污染物特别排放限值和《安徽省 * 年大气污染防治重点工作任务》（皖大气办〔 * 〕2号文）相关要求。加强生产 (略) 理站周边绿化，设置绿化带， (略) 理站恶臭对周边环境的影响。

2、 (略) “雨污分流、清污分流”，严格落实《报告表》中提出的生产废水污染防治措施。项目 (略) 理设施的基础上，新增一套含 (略) 理系统、一 (略) 理系统和一套 (略) 理系统，并将现有含 (略) 理工艺中采用的无机铝系絮凝剂替换为聚合硫酸铁絮凝剂。项目生产废水主要有酸碱废水、含氟含磷废水、有机废水、废气洗涤塔废水、纯水系统浓废水、循环冷却水废水和锅炉废水。酸碱废水直 (略) (略) 理；含氟废水 (略) (略) 理后， (略) (略) 理；含磷废水 (略) (略) 理后， (略) (略) 理；有机废水进入 (略) (略) 理后， (略) (略) (略) 理；废气洗涤塔废水汇 (略) (略) 理；纯水系统浓废水、循环冷却水废水和锅炉废水， (略) 收集后，由废水总排口直接排放。本项目 (略) 蚌埠 (略) 理厂接管标准及《电子工业水污染物排放标准》（GB 点击查看>> 0）表1中水污染物间接排放限值。规范设置废水总排放口。

3、做好项目运营期的环境噪声污染防治工作。项目噪声主要为生产设备、生产车间的通风设备、 (略) 理站的鼓风机 (略) 时产生的噪声。经厂房建筑物隔声，基础减震，设立单独操作室，设置百叶窗式隔声屏障等降噪措施后能达标排放。项目北侧、南侧、东侧及周 (略) 《 (略) 界环境噪声排放标准》（GB 点击查看>> 8）1类标准， (略) 《 (略) 界环境噪声排放标准》（GB 点击查看>> 8）4类标准。

4、按照《报告表》要求，强化固体废物产生、收集、贮运等环节的管理，规范设 (略) 所，分类存放，做到固体废物去向明确、 (略) 置或资源化利用。项目危险废物主要有废液（废光刻胶、废显影液、废蚀刻液）、 (略) 理站污泥、废活性炭。各类废液、废活性炭分类收集、存放在相应的专用容器中，定期委托 (略) 理 (略) 置； (略) 理站污泥送至有资质的专 (略) (略) 置； (略) 《危险废物贮存污染控制标准》(GB 点击查看>> 1)及 * 年修改单要求。项目一般固废主要为废树脂， (略) 家回收。

5、 (略) 分区防渗，防止土壤、地下水污染。项目应按照《报告表》中相关要求严格落实各类防范措施，在扩建区域内可能泄漏污染物的污 (略) (略) 理，及时将泄漏、渗漏的污染物 (略) 处理。

6、在项目施工和运营过程中，应建立畅通的公众参与平台，加强宣传与沟通工作，及时解决公众担忧的环境问题，满足公众合理的环境诉求。定期发布企业环境信息， (略) 会监督。

7、建立 (略) 环境管理机制，制定完善的环保规章制度，建立完整的企业环境管理体系。强化污染源无组织排放源管理，按照《报告表》 (略) 监测要求， (略) 监测方案，落实环境管理与监测计划，按 (略) 监测和信息公开。项目实施后，须加强污染 (略) 维护，保障污染防治 (略) ，严格落实污染防治设备安全生产要求，确保最终排入外环境的污染物总量不超过核定的总量控制指标。

三、加强环境风险防控。强化危险化学品的运输、使用、储存管理，加强生产过程中环保与风险防 (略) 管理和维护，制定环境风险应急预案，落实《报告表》提出的环境风险事故 (略) 理措施。液态危化品储存区必须按相关技术规范设置围堰，并对储存区 (略) 硬化、防腐、 (略) 理，同时应按照事故风险防范要求强化事故池日常管理。

四、做好环境影响评价制度与排污许可制衔接相关工作。根据《排污许可管理条例》、《固定污染源排污许可分类管理名录（ * 年版）》等环保法律法规要求， (略) 排污许可简化管理，项目发 (略) 为之前，你单位应当按照要求对排污可证予以变更。

五、项目实施 (略) 环境保护设施与主体工程同时设计、同时施工、同时投产使用的环境保护“三同时”制度，规范设置排污口。项目竣工后，你单位应按照《建设项目竣工环境 (略) 办法》 (略) (略) (略) 门规定的标准和程序，及时开展建设项目竣工环境保护验收工作。

六、《报告表》批准后，若建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动，你单位应当重新报批建设项目的环境影响评价文件。

七、此审批意见仅说明该项目应符合的环境保护相关要求，项目单位在开工建设前还应依法取 (略) 门的合法批件。

八、请蚌埠市经济开发区生态环 (略) (略) 负责该项目的监督检查和日常环境管理工作，确保项目按《报告表》及批复要求设计、施工和投入使用。

* 年1月6日

（ (略) 会信用代码： 点击查看>> J）

(略) 政诉讼权利告知：依据《中华 (略) 政复议法》和《中华 (略) 政诉讼法》，公民、法人或者其他组织认为公告的建设项目环境影响评价文件审批决定侵犯其合法权益的，可以自公告期限届满之日起六 (略) 政复议，也可以自公告期限届满之日起六 (略) 政诉讼。