台积电(南京)有限公司12吋晶圆厂与设计服务中心（一期）扩产及新建产线项目-增加射线装置和放射源应用项目江苏省南京市浦口区紫峰路16号

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台积电(南京)有限公司12吋晶圆厂与设计服务中心（一期）扩产及新建产线项目-增加射线装置和放射源应用项目江苏省南京市浦口区紫峰路16号



建设项目环境影响登记表

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台积电(南京)有限公司 (略) (略) （一期）扩产及新建产线项目-增加射线装置和放射源应用项目
江苏省南京市浦口区紫峰路16号 点击查看>> .72
台积电（南京）有限公司何丽梅
文艳萍 * 点击查看>>* *
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扩建
1．建设内容：①Ⅲ类射线装置：扩建项目增加31台高能离子植入机、15台中能离子植入机、1台荧光X线分析装置、1台X射线光电子能谱仪。②使用Ⅴ类放射源：扩建项目拟增加32枚Po- * 放射源（Ⅴ类）以及9枚Ni-63放射源（Ⅴ类）， (略) (略) (略) 。2．建设规模：公司现有《辐射安全许可证》(许可证号：苏环辐证[A * ]）有效期至 * 年5月4日，许可证许可内容包括使用28台Ⅲ类射线装置，使用Po- * (活度1.85E+7Bq*28枚)、Ni-63(活度3.7E+8Bq*6枚)两种V类放射源。 (略) 需，公司拟新增以下Ⅲ类射线装置及放射源：（1）31台高能离子植入机， (略) (略) ：①HCS XP型高能离子植入机：管电压60kV，管电流60mA，数量15台；②IPULSAR+型高能离子植入机：管电压40kV，管电流21mA，数量11台；③S-UHE型高能离子植入机：管电压90kV，管电流20mA，数量1台；④Trident高能离子植入机：管电压60kV，管电流60mA，数量4台；（2）15台中能离子植入机， (略) (略) ：①V * XPT型中能离子植入机：管电压 * kV，管电流20mA，数量10台；②MC3-II/GP型中能离子植入机：管电压 * kV，管电流20mA，数量5台；（3）Wafer X * 型荧光X线分析装置：管电压40kV，管电流80mA，数量1台， (略) 房 (略) ；（4）Vera Flex Ⅲ XF型X射线光电子能谱仪：管电压20kV，管电流30mA，数量1台， (略) 房 (略) ；（5）Po- * 放射源：拟增加32枚Po- * 放射源（单枚活度1.85E+7Bq，属于Ⅴ类放射源，无备用源）， (略) (略) (略) ；（6）Ni-63放射源：新增9枚Ni-63放射源（单枚活度3.7E+8Bq，属于Ⅴ类放射源，无备用源）， (略) (略) (略) 。
辐射环境影响环保措施:
环保措施:一、污染防治措施 1、警示标示：机台设 (略) 张贴电离辐射注意事项说明，告知任何变动需取得 (略) 核准，并由 (略) 操作， (略) 亦张贴中文标示“当心电离辐射”。2、屏蔽防护措施：机台外盖板为铅板，可阻挡辐射外泄，铅板亦有连锁装置，若密合不完全则无法产生辐射。新机台上线后会通过安全检测，确认辐射无外泄；3、防护用品和监测仪器：公司为辐射工作人员配备足量的个人辐射剂量计( * 年配备80个/每批次）， 2台辐射巡检仪，51台辐射报警仪。二、安全管理措施 1、公司设 (略) ，部门设有职业安全卫生环保业务主管一名，并设有职业安全卫生环保工程师十人以上，设有专人负责辐射安全管理。 2、规章制度：企业为加强防护管理工作，设置放射防护管理机构和组织，制定了《放射性仪器操作规程》、《放射性仪器操作岗位职责》、《辐射防护和安全保卫制度》、《辐射设备检修维护制度》、《辐射人员培训计划》和《辐射监测方案》等放射防护管理制度，并严格遵守和实施。3、辐射事故应急措施：企业建立了辐射事故应急管理制度，如果放射源被意外损伤或丢失等，应立即启动应急预案，所有员工必须撤离危险区，测量点附近区域拉上警戒线，并贴标记，禁止入内。4、个人剂量检测、个人剂量档案、职业健康体检、个人健康档案：企业使用放射源装置工作人员必须经过岗前体检且为辐射工作人员配备个人剂量计，建立个人剂量档案， (略) 职业健康检查。 5、参加辐射安全和防护知识培训：公司要求放射源相关工作人员必须通过统一考试，取得成绩合格证书，且目前证书均在有效期内；Ⅲ类射线装置工作人员建议考取辐射工作人员证照，但要 (略) 内辐射考核。三、废弃物最终去向。报废的 Po * 放射源由供源单位回收，Ni- (略) 市放射性废物库收贮。


建设项目环境影响登记表

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台积电(南京)有限公司 (略) (略) （一期）扩产及新建产线项目-增加射线装置和放射源应用项目
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扩建
1．建设内容：①Ⅲ类射线装置：扩建项目增加31台高能离子植入机、15台中能离子植入机、1台荧光X线分析装置、1台X射线光电子能谱仪。②使用Ⅴ类放射源：扩建项目拟增加32枚Po- * 放射源（Ⅴ类）以及9枚Ni-63放射源（Ⅴ类）， (略) (略) (略) 。2．建设规模：公司现有《辐射安全许可证》(许可证号：苏环辐证[A * ]）有效期至 * 年5月4日，许可证许可内容包括使用28台Ⅲ类射线装置，使用Po- * (活度1.85E+7Bq*28枚)、Ni-63(活度3.7E+8Bq*6枚)两种V类放射源。 (略) 需，公司拟新增以下Ⅲ类射线装置及放射源：（1）31台高能离子植入机， (略) (略) ：①HCS XP型高能离子植入机：管电压60kV，管电流60mA，数量15台；②IPULSAR+型高能离子植入机：管电压40kV，管电流21mA，数量11台；③S-UHE型高能离子植入机：管电压90kV，管电流20mA，数量1台；④Trident高能离子植入机：管电压60kV，管电流60mA，数量4台；（2）15台中能离子植入机， (略) (略) ：①V * XPT型中能离子植入机：管电压 * kV，管电流20mA，数量10台；②MC3-II/GP型中能离子植入机：管电压 * kV，管电流20mA，数量5台；（3）Wafer X * 型荧光X线分析装置：管电压40kV，管电流80mA，数量1台， (略) 房 (略) ；（4）Vera Flex Ⅲ XF型X射线光电子能谱仪：管电压20kV，管电流30mA，数量1台， (略) 房 (略) ；（5）Po- * 放射源：拟增加32枚Po- * 放射源（单枚活度1.85E+7Bq，属于Ⅴ类放射源，无备用源）， (略) (略) (略) ；（6）Ni-63放射源：新增9枚Ni-63放射源（单枚活度3.7E+8Bq，属于Ⅴ类放射源，无备用源）， (略) (略) (略) 。
辐射环境影响环保措施:
环保措施:一、污染防治措施 1、警示标示：机台设 (略) 张贴电离辐射注意事项说明，告知任何变动需取得 (略) 核准，并由 (略) 操作， (略) 亦张贴中文标示“当心电离辐射”。2、屏蔽防护措施：机台外盖板为铅板，可阻挡辐射外泄，铅板亦有连锁装置，若密合不完全则无法产生辐射。新机台上线后会通过安全检测，确认辐射无外泄；3、防护用品和监测仪器：公司为辐射工作人员配备足量的个人辐射剂量计( * 年配备80个/每批次）， 2台辐射巡检仪，51台辐射报警仪。二、安全管理措施 1、公司设 (略) ，部门设有职业安全卫生环保业务主管一名，并设有职业安全卫生环保工程师十人以上，设有专人负责辐射安全管理。 2、规章制度：企业为加强防护管理工作，设置放射防护管理机构和组织，制定了《放射性仪器操作规程》、《放射性仪器操作岗位职责》、《辐射防护和安全保卫制度》、《辐射设备检修维护制度》、《辐射人员培训计划》和《辐射监测方案》等放射防护管理制度，并严格遵守和实施。3、辐射事故应急措施：企业建立了辐射事故应急管理制度，如果放射源被意外损伤或丢失等，应立即启动应急预案，所有员工必须撤离危险区，测量点附近区域拉上警戒线，并贴标记，禁止入内。4、个人剂量检测、个人剂量档案、职业健康体检、个人健康档案：企业使用放射源装置工作人员必须经过岗前体检且为辐射工作人员配备个人剂量计，建立个人剂量档案， (略) 职业健康检查。 5、参加辐射安全和防护知识培训：公司要求放射源相关工作人员必须通过统一考试，取得成绩合格证书，且目前证书均在有效期内；Ⅲ类射线装置工作人员建议考取辐射工作人员证照，但要 (略) 内辐射考核。三、废弃物最终去向。报废的 Po * 放射源由供源单位回收，Ni- (略) 市放射性废物库收贮。
    
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