中芯绍兴MEMS和功率器件芯片制造及封装测试生产基地技术改造项目浙江省绍兴市越城区皋埠街道临江路518号-采招网

中芯绍兴MEMS和功率器件芯片制造及封装测试生产基地技术改造项目浙江省绍兴市越城区皋埠街道临江路518号

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中芯绍兴MEMS和功率器件芯片制造及封装测试生产基地技术改造项目浙江省绍兴市越城区皋埠街道临江路518号

备案系统登记表管理

(浙江省)

建设项目环境影响登记表

填表日期：点击查看>>

项目名称	中芯绍兴MEMS和功率器件芯片制造及封 (略) 技术改造项目
建设地点	浙江 (略) 区皋埠街道临江路 * 号	占地面积（平方米）	点击查看>>
建设单位	绍兴中芯集成 (略)	法定代表人	赵奇
联系人	李向阳	联系电话	* 点击查看>>* *
项目投资(万元)	点击查看>>	环保投资(万元)	*
拟投入生产运营日期	点击查看>>
建设性质	扩建
备案依据	该项目属于《建设项目环境影响评价分类管理名录》中应当填报环境影响登记表的建设项目，属于第 * 核技术利用建设项目项中销售Ⅰ类、Ⅱ类、Ⅲ类、Ⅳ类、Ⅴ类放射源的；使用Ⅳ类、Ⅴ类放射源的；医疗机构使用植入治疗用放射性粒子源的；销售非密封放射性物质的；销售Ⅱ类射线装置的；生产、销售、使用Ⅲ类射线装置的。
建设内容及规模	本项目为集成电路制造， (略) 过环境影响评价并于 * 年7月14日获得批复（绍市环越审【 * 】22号）。因产品生产需要， (略) 区内安装16台（套）三类辐射装置，信息如下：序号机台ID 机台名称型号数量(台) 厂家最大管电压（kV）最大管电流（mA）最大能量（keV）1ADXRF01 X射线检查机 RIGAKU- * rigaku * ；2AIMCI02离子注入机 V * XP1AMAT * 点击查看>> ；3AIMCI03离子注入机 ZKX CI P * AMAT * * ；4AIHCI07离子注入机 GSD * E21Axcelis * * ；5AIHCI08离子注入机 GSD * E21Axcelis * * ；6AIHCI09离子注入机 GSD * E21Axcelis * * ；7AIHCI10离子注入机 GSD * E21Axcelis * * ；8AIHCI12 离子注入机 TRIDENT XP21AMAT85 20 85；9MFXR * X光扫描仪 COUGAR-EVO1YXLON * ；10MFXR * X-rayX2#1Nodson * 0.3；11ETXRF01 X射线荧光分析仪XRF * Rigaku40 * ；12ETXRD01 X射线薄膜衍射仪JV-DX1Bruker40 * .04；13ETTRF01 X射线全反射荧光分析仪K-TRX1Kowa60 * .4；14EYDFT02 晶格缺陷分析仪 Sensus-CS1Bruker50 50 10；15EIHEI01 离子注入机 purion EXE1Axcelis * 60 * ；16EIMCI01 离子注入机 purion M1Axcelis * 70 * ；
主要环境影响		采取的环保措施及排放去向






	环保措施: 环保措施:1.装置放置 (略) 房2楼和3楼，所在车间边界外50m范围内无居民、学校等环境敏感目标,根据本项目评价范围确定环境敏感目标为:辐射装置操作人员和周边工作人员;环境保护要求:职业人员年有效剂量不超过 5mSv，公众成员年有效剂量不超过0.1mSv；2.我公司依法依规完成《辐射安全许可证》申请及设备操作规程及人员考证上岗.3.装置张贴有辐射警示标识4.配备有X-γ剂量率测量仪，每季度用巡 (略) 所（射线装置操作人员操作位置和射线装置周围环境）进行环境自检；委托有资质单位监测每年一次；5.每季度将放射工作人员佩戴的剂量计送有资质的监测机构检测，检测结果登记保存；6. (略) 有涉及放射性的 (略) 职业病体检。
??承诺：绍兴中芯集成 (略) (略) 填写各项内容真实、准确、完整，建设项目符合《建设项目环境影响登记表备案管理办法》的规定。如存在弄虚作假、隐瞒欺骗等情况及由此导致的一切后果由绍兴中芯集成 (略) ，赵奇 (略) 责任。
备案回执：该项目环境影响登记表已经完成备案，备案号：点击查看>> 。

备案系统登记表管理

(浙江省)

建设项目环境影响登记表

填表日期：点击查看>>

项目名称	中芯绍兴MEMS和功率器件芯片制造及封 (略) 技术改造项目
建设地点	浙江 (略) 区皋埠街道临江路 * 号	占地面积（平方米）	点击查看>>
建设单位	绍兴中芯集成 (略)	法定代表人	赵奇
联系人	李向阳	联系电话	* 点击查看>>* *
项目投资(万元)	点击查看>>	环保投资(万元)	*
拟投入生产运营日期	点击查看>>
建设性质	扩建
备案依据	该项目属于《建设项目环境影响评价分类管理名录》中应当填报环境影响登记表的建设项目，属于第 * 核技术利用建设项目项中销售Ⅰ类、Ⅱ类、Ⅲ类、Ⅳ类、Ⅴ类放射源的；使用Ⅳ类、Ⅴ类放射源的；医疗机构使用植入治疗用放射性粒子源的；销售非密封放射性物质的；销售Ⅱ类射线装置的；生产、销售、使用Ⅲ类射线装置的。
建设内容及规模	本项目为集成电路制造， (略) 过环境影响评价并于 * 年7月14日获得批复（绍市环越审【 * 】22号）。因产品生产需要， (略) 区内安装16台（套）三类辐射装置，信息如下：序号机台ID 机台名称型号数量(台) 厂家最大管电压（kV）最大管电流（mA）最大能量（keV）1ADXRF01 X射线检查机 RIGAKU- * rigaku * ；2AIMCI02离子注入机 V * XP1AMAT * 点击查看>> ；3AIMCI03离子注入机 ZKX CI P * AMAT * * ；4AIHCI07离子注入机 GSD * E21Axcelis * * ；5AIHCI08离子注入机 GSD * E21Axcelis * * ；6AIHCI09离子注入机 GSD * E21Axcelis * * ；7AIHCI10离子注入机 GSD * E21Axcelis * * ；8AIHCI12 离子注入机 TRIDENT XP21AMAT85 20 85；9MFXR * X光扫描仪 COUGAR-EVO1YXLON * ；10MFXR * X-rayX2#1Nodson * 0.3；11ETXRF01 X射线荧光分析仪XRF * Rigaku40 * ；12ETXRD01 X射线薄膜衍射仪JV-DX1Bruker40 * .04；13ETTRF01 X射线全反射荧光分析仪K-TRX1Kowa60 * .4；14EYDFT02 晶格缺陷分析仪 Sensus-CS1Bruker50 50 10；15EIHEI01 离子注入机 purion EXE1Axcelis * 60 * ；16EIMCI01 离子注入机 purion M1Axcelis * 70 * ；
主要环境影响		采取的环保措施及排放去向






	环保措施: 环保措施:1.装置放置 (略) 房2楼和3楼，所在车间边界外50m范围内无居民、学校等环境敏感目标,根据本项目评价范围确定环境敏感目标为:辐射装置操作人员和周边工作人员;环境保护要求:职业人员年有效剂量不超过 5mSv，公众成员年有效剂量不超过0.1mSv；2.我公司依法依规完成《辐射安全许可证》申请及设备操作规程及人员考证上岗.3.装置张贴有辐射警示标识4.配备有X-γ剂量率测量仪，每季度用巡 (略) 所（射线装置操作人员操作位置和射线装置周围环境）进行环境自检；委托有资质单位监测每年一次；5.每季度将放射工作人员佩戴的剂量计送有资质的监测机构检测，检测结果登记保存；6. (略) 有涉及放射性的 (略) 职业病体检。
??承诺：绍兴中芯集成 (略) (略) 填写各项内容真实、准确、完整，建设项目符合《建设项目环境影响登记表备案管理办法》的规定。如存在弄虚作假、隐瞒欺骗等情况及由此导致的一切后果由绍兴中芯集成 (略) ，赵奇 (略) 责任。
备案回执：该项目环境影响登记表已经完成备案，备案号：点击查看>> 。

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