东莞市中晶半导体科技有限公司第三代半导体GaN基衬底及MicroLED产业化改扩建项目
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东莞市中晶半导体科技有限公司第三代半导体GaN基衬底及MicroLED产业化改扩建项目
| 受理号(号) | 点击查看>> |
| 项目名称 | 东莞市中 (略) 第三代半导体GaN基衬底及MicroLED产业化改扩建项目 |
| 建设地点 | 东莞市企石镇北纵二路2号 |
| 建设单位 | 东莞市中 (略) |
| 环境影响评价机构 | 广东 (略) |
| 项目概况 | 东莞市中 (略) 是一家集半导体材料、芯片、器件等设计、研发、生产 (略) 。 * 年10月东莞市中 (略) 拟投资 * 万元，在东莞市企石镇北纵二路2号(北纬23°02′22.88″、东经 * °02′48.36″)建设东莞市中 (略) 第三代半导体GaN基衬底及MicroLED产业化改扩建项目。本次改扩建不新增现有产品产能，结合实际生产经验，对现有产品清洗 (略) 改建，提高清洗次数以满足产品要求，并新增硅衬底外延片、蓝宝石衬底外延片，产生量分别为 * 片/a、 * 片/a，生产废水依 (略) 处理。项目劳动定员 * 人；采用两班倒12小时工作制，年工作 * 天。 |
| 主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施 | ①环境空气影响评价结论项目产生的VOCs废气经收集后，采用沸石浓缩+催 (略) 理，经处理后尾气通过25m高1#排气筒外排，满足广东省《 (略) 业挥发性有机化合物排放标准》(DB44/ 点击查看>> )第II时段排放限值要求；项目新增的G5 MOCVD和中晟MOCVD设备产生的氨气、颗粒物经自 (略) 理后，再依托于原有 (略) 理设施（五级冷凝吸收装置+酸液喷淋塔）处理，尾气经25m高3#排气筒外排，满足广东省《大气污染物排放限值》(DB44/27- * )第二时段二级排放标准和《恶臭污染物排放标准》(GB 点击查看>> 3)表2恶臭污染物排放标准要求；外延设备清腔未消耗完的氯气采用设备尾气端氯 (略) 吸附后，再依托 (略) 理设施（碱洗涤塔净化）处理，尾气经25m高2#排气筒外排，满足广东省《大气污染物排放限值》(DB44/27- * )第二时段二级排放标准； (略) 理站产生的恶臭废气经收集后采用干式过滤器+活性 (略) 理，尾气通过20m高4#排气筒外排，满足《恶臭污染物排放标准》(GB 点击查看>> 3)表2恶臭污染物排放标准要求； (略) 催化燃烧装置过程中产生的天然气燃烧废气（颗粒物、SO2、NOx）收集后经25m高1#排气筒高空排放，满足广东省《大气污染物排放限值》(DB44/27- * )第二时段二级排放标准；无组织废气， (略) (略) 广东省《 (略) 业挥发性有机化合物排放标准》(DB44/ 点击查看>> )第II时段无组织排放监控浓度限值要求， (略) 《挥发性有机物无组织排放控制标准》(GB 点击查看>> 9)表A.1厂区内VOCs无组织特别排放限值；硫酸雾、 (略) 广东省《大气污染物排放限值》(DB44/27- * )第二时段无组织排放监控浓度限值；氨、硫化氢、 (略) 《恶臭污染物排放标准》(GB 点击查看>> 3) (略) 界标准值； (略) 述， (略) 理后对周围环境影响较小。②水环境影响评价结论及污染防治措施项目改扩建后排放生产废水 * . * m3/d，依托 (略) (略) 理（处理规模为 * m3/d），仅约5m3/d(2.2%) (略) 理达标后回用于酸碱液喷淋塔和冷却塔补水；剩余 * . * m3/d(97.8%)生产废水经MBR+活 (略) 理后满足广东省《水污染物排放限值》(DB44/26- * )第二时段三级标准、《 (略) 镇下水道水质标准》(GB/T 点击查看>> 5)B等级标准及《电子工业水污染物排放标准》（GB 点击查看>> 0）表1间接排放中电子专用材料标准的较严值要求，经 (略) 排入 (略) (略) 理，最终排入东引运河。③声环境影响评价结论项 (略) 生产，采取经墙体隔音、减振和 (略) 理后，项目营 (略) 界的噪声预测值较小，不会对周围的日常生活造成明显影响，使厂界噪声控制在昼间65dB(A)、夜间55dB(A)，符合《 (略) 界环境噪声排放标准》(GB 点击查看>> 8)3类标准要求，对周围环境影响不大。④固体废弃物影响评价结论项目产生的危险废物定期交 (略) 置 (略) 置；一般工业固体废物交 (略) 理。采取上述措施后，项目固废不外排，对周围环境影响较小。 |
| 公众参与情况 | |
| 相关环保措施承诺 | 严格落实环评文件中的各项环保措施，确保达标排放，并落实风险防范措施，将环境风险降低到可接受水平。 |
| 公示时间 | 点击查看>> |
| 联系人 | 东莞 (略) 松 (略) |
| 联系电话 | 点击查看>> |
| 通讯地址 | 松山湖管委会办公楼B3栋三楼 * |
| 初步审查意见 | 根据《中华人民共和国环境影响评价法》、《建设项目环境保护管理条例》、《建设项目环境影响评价分类管理名录》、《建设项目环境影响报告书（表）编制监督管理办法》以及环境影响评价有关技术导则、建设项目环境影响评价审批程序等有关规定，我局对该建设项目的环境影响评价文件（见附件） (略) 审查，对该建设项目环境影响评价文件作出拟不予批准的审批意见。 |
| 初步审查意见附件 | |
| 备注 | 为体现公开、公正的原则，维护公众环境权益，现拟作出审批意见的环境影响评价文件基本情况予以公示，公示期五个工作日。听证告知：依据《中华 (略) 政许可法》，自公示之日五个工作日申请人、利害关系人可对以上拟作出的建设项目环境影响评价文件审批意见提出书面听证申请。 |
| 受理号(号) | 点击查看>> |
| 项目名称 | 东莞市中 (略) 第三代半导体GaN基衬底及MicroLED产业化改扩建项目 |
| 建设地点 | 东莞市企石镇北纵二路2号 |
| 建设单位 | 东莞市中 (略) |
| 环境影响评价机构 | 广东 (略) |
| 项目概况 | 东莞市中 (略) 是一家集半导体材料、芯片、器件等设计、研发、生产 (略) 。 * 年10月东莞市中 (略) 拟投资 * 万元，在东莞市企石镇北纵二路2号(北纬23°02′22.88″、东经 * °02′48.36″)建设东莞市中 (略) 第三代半导体GaN基衬底及MicroLED产业化改扩建项目。本次改扩建不新增现有产品产能，结合实际生产经验，对现有产品清洗 (略) 改建，提高清洗次数以满足产品要求，并新增硅衬底外延片、蓝宝石衬底外延片，产生量分别为 * 片/a、 * 片/a，生产废水依 (略) 处理。项目劳动定员 * 人；采用两班倒12小时工作制，年工作 * 天。 |
| 主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施 | ①环境空气影响评价结论项目产生的VOCs废气经收集后，采用沸石浓缩+催 (略) 理，经处理后尾气通过25m高1#排气筒外排，满足广东省《 (略) 业挥发性有机化合物排放标准》(DB44/ 点击查看>> )第II时段排放限值要求；项目新增的G5 MOCVD和中晟MOCVD设备产生的氨气、颗粒物经自 (略) 理后，再依托于原有 (略) 理设施（五级冷凝吸收装置+酸液喷淋塔）处理，尾气经25m高3#排气筒外排，满足广东省《大气污染物排放限值》(DB44/27- * )第二时段二级排放标准和《恶臭污染物排放标准》(GB 点击查看>> 3)表2恶臭污染物排放标准要求；外延设备清腔未消耗完的氯气采用设备尾气端氯 (略) 吸附后，再依托 (略) 理设施（碱洗涤塔净化）处理，尾气经25m高2#排气筒外排，满足广东省《大气污染物排放限值》(DB44/27- * )第二时段二级排放标准； (略) 理站产生的恶臭废气经收集后采用干式过滤器+活性 (略) 理，尾气通过20m高4#排气筒外排，满足《恶臭污染物排放标准》(GB 点击查看>> 3)表2恶臭污染物排放标准要求； (略) 催化燃烧装置过程中产生的天然气燃烧废气（颗粒物、SO2、NOx）收集后经25m高1#排气筒高空排放，满足广东省《大气污染物排放限值》(DB44/27- * )第二时段二级排放标准；无组织废气， (略) (略) 广东省《 (略) 业挥发性有机化合物排放标准》(DB44/ 点击查看>> )第II时段无组织排放监控浓度限值要求， (略) 《挥发性有机物无组织排放控制标准》(GB 点击查看>> 9)表A.1厂区内VOCs无组织特别排放限值；硫酸雾、 (略) 广东省《大气污染物排放限值》(DB44/27- * )第二时段无组织排放监控浓度限值；氨、硫化氢、 (略) 《恶臭污染物排放标准》(GB 点击查看>> 3) (略) 界标准值； (略) 述， (略) 理后对周围环境影响较小。②水环境影响评价结论及污染防治措施项目改扩建后排放生产废水 * . * m3/d，依托 (略) (略) 理（处理规模为 * m3/d），仅约5m3/d(2.2%) (略) 理达标后回用于酸碱液喷淋塔和冷却塔补水；剩余 * . * m3/d(97.8%)生产废水经MBR+活 (略) 理后满足广东省《水污染物排放限值》(DB44/26- * )第二时段三级标准、《 (略) 镇下水道水质标准》(GB/T 点击查看>> 5)B等级标准及《电子工业水污染物排放标准》（GB 点击查看>> 0）表1间接排放中电子专用材料标准的较严值要求，经 (略) 排入 (略) (略) 理，最终排入东引运河。③声环境影响评价结论项 (略) 生产，采取经墙体隔音、减振和 (略) 理后，项目营 (略) 界的噪声预测值较小，不会对周围的日常生活造成明显影响，使厂界噪声控制在昼间65dB(A)、夜间55dB(A)，符合《 (略) 界环境噪声排放标准》(GB 点击查看>> 8)3类标准要求，对周围环境影响不大。④固体废弃物影响评价结论项目产生的危险废物定期交 (略) 置 (略) 置；一般工业固体废物交 (略) 理。采取上述措施后，项目固废不外排，对周围环境影响较小。 |
| 公众参与情况 | |
| 相关环保措施承诺 | 严格落实环评文件中的各项环保措施，确保达标排放，并落实风险防范措施，将环境风险降低到可接受水平。 |
| 公示时间 | 点击查看>> |
| 联系人 | 东莞 (略) 松 (略) |
| 联系电话 | 点击查看>> |
| 通讯地址 | 松山湖管委会办公楼B3栋三楼 * |
| 初步审查意见 | 根据《中华人民共和国环境影响评价法》、《建设项目环境保护管理条例》、《建设项目环境影响评价分类管理名录》、《建设项目环境影响报告书（表）编制监督管理办法》以及环境影响评价有关技术导则、建设项目环境影响评价审批程序等有关规定，我局对该建设项目的环境影响评价文件（见附件） (略) 审查，对该建设项目环境影响评价文件作出拟不予批准的审批意见。 |
| 初步审查意见附件 | |
| 备注 | 为体现公开、公正的原则，维护公众环境权益，现拟作出审批意见的环境影响评价文件基本情况予以公示，公示期五个工作日。听证告知：依据《中华 (略) 政许可法》，自公示之日五个工作日申请人、利害关系人可对以上拟作出的建设项目环境影响评价文件审批意见提出书面听证申请。 |
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