序号

项目名称

建设地点

建设单位

环境影响评价机构

项目概况

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

1

LED关键装备及智能生物设备项目

保定市国家高新技术产业 (略) 北侧、巨力街西侧、工业大街东侧

保定中创燕 (略)

河北十环 (略)

项目概况：

项目位于保定国家高新技术产业 (略) 北侧、巨力街西侧、工业大街东侧，中心

地理位置坐标为东经 115°25" 点击查看>> "，北纬 38°55" 点击查看>> "。项目东侧为高压线走廊，西侧隔工业大街 (略) 科技园科创分园（在建）， (略) 为保定金阳光 (略) ，北侧为空地。距离项目最近的环境敏感点为东北侧 480m 处的秀兰一代华航小区。项目地理位置见附图 1，周边关系见附图 2。

3、建设内容:本项目新征用地 点击查看>> 亩（ 点击查看>> .05m 2 ），总建筑面积为 点击查看>> .76m 2 。地上总建筑面积 点击查看>> .48m 2 ，主要用于生产车间及办公楼、研发楼建设。地下建筑面积约为 点击查看>> m 2 ，主要用于人防及地下车库建设。购置铣床、钻床、烧结炉、流延机、全热交换风机、消防设备及传输轨道等设备共计 1128 套。

新征用地 点击查看>> 亩（ 点击查看>> .05m 2 ），根据《国有土地使用证》（冀（2019）保定市不动产权第 点击查看>> 号），该地块地类（用途）为工业，符合工业用地性质要求。根据《建设工程规划许可证》（地字第 点击查看>> ），本建设工程符合城乡规划要求。

本项目设计年产新型图形化衬底 500 万片，氮化铝陶瓷基板 20 万件，全环控智能农业设备（全光谱 LED 智能植物光源）1000 套。

营运期环境影响分析：

一、大气环境影响分析

1、废气

本项目共设置三个生产工艺，新型图形化衬底生产工艺、氮化铝陶瓷基板生产工艺和全环控智能农业设备生产工艺。 (略) 楼、6号楼、8号楼生产新型图形化衬底，大气污染物主要为PECVD生长工序产生的氮氧化物和氟化物、酸洗工序产生的硫酸雾、涂胶工序产生的非 点击查看>> 烷总烃、ICP刻蚀工序产生的氯化氢。5号楼、7号楼、9号楼生产氮化铝陶瓷基板，大气污染物主要为真空除泡、流延成型、坯片干燥工序产生的非 点击查看>> 烷总烃，一次预烧结产生的非 点击查看>> 烷总烃。2号楼生产全环控智能农业设备，无大气污染物产生。

新型图形化衬底生产线：

①废生长气体

PECVD生长气体排空和清洗工序会有CF₄、笑气及其分解反应物质产生。废气中主要污染物为氟化物、氮氧化物。

4号楼2层设置17台PECVD，设备残余气体经1 (略) (略) 理后经43m高排气筒排放（P2）。

6号楼2层设置16台PECVD，设备残余气体经1 (略) (略) 理后经43m高排气筒排放（P6）。

8号楼2层设置17台PECVD，设备残余气体经1 (略) (略) 理后经43m高排气筒排放（P10）。

(略) 理设备（Heat-wet Scrubber）工作原理：设备主体采用加热器产生850度高温， (略) 排出的残余气体进行高温 (略) 理成无毒害的反应物，这些反应后的生成物利用喷淋系统将反应生成的残渣 (略) 理槽内，该反应后生成氟化物、氮氧化物通过排气筒外排。

类比同类项目，氟化物产生量约为25%，则氟化物产生量为6.75t/a，每台PECVD氟化物产生量为0.135t/a， (略) 楼、6号楼、8号楼氟化物的产生量分别为2.295t/a、2.16t/a、2.295t/a，设计风机风量均为8000m³/h，速率分别为0.257kg/h、0.257kg/h、0.247kg/h，产生浓度分别为 点击查看>> mg/m³、 点击查看>> mg/m³、 点击查看>> mg/m³。加 (略) 理后，处理效率约80%，则氟化物排放量约为1.35t/a，P2、P6、P10的排放量分别为0.459t/a、0.432t/a、0.459t/a，排放速率分别为0.0524kg/h、0.0493kg/h、0.0524kg/h，排放浓度分别为6.55mg/m³、6.16mg/m³、6.55mg/m³。

类比同类项目，氮氧化物产生量约为20%，则氮氧化物产生量为1.296t/a，每台PECVD氮氧化物产生量为0. 点击查看>> t/a， (略) 楼、6号楼、8号楼氮氧化物的产生量分别为0.441t/a、0.415t/a、0.441t/a，设计风机风量均为8000m³/h，速率分别为0.0503kg/h、0.0474kg/h、0.0503kg/h，产生浓度分别为6.29mg/m³、5.92mg/m³、6.29mg/m³。加 (略) 理后，处理效率约80%，则氮氧化物排放量约为0.259t/a，P2、P6、P10的排放量分别为0.088t/a、0.083t/a、0.088t/a，排放速率分别为0.0100kg/h、0.0095kg/h、0.0100kg/h，排放浓度分别为1.26mg/m³、1.18mg/m³、1.26mg/m³。

满足《大气污染物综合排放标准》（GB 点击查看>> -1996）表2中二级标准要求（氮氧化物排放浓度≤240mg/m³，排放速率≤7.5kg/h，40m高排气筒；氟化物排放浓度≤9.0mg/m³，排放速率≤1.0kg/h，40m高排气筒）。

②刻蚀废气

刻蚀废气主要来源于ICP刻蚀工序，未分解的BCl₃气体（约3.6t/a，占总用量的30%）。

4号楼2层设置17台ICP，产生的废气 (略) (略) 理后经1根43m排气筒排放（P1）。

6号楼2层设置16台ICP，产生的废气 (略) (略) 理后经1根43m排气筒排放（P5）。

8号楼2层设置17台ICP，产生的废气 (略) (略) 理后经1根43m排气筒排放（P9）。

刻蚀废气由设备内管道直接收集，收集率为100%。

由于三氯化硼不稳定，遇水后极易水解生成HCl气体和硼酸，生成的硼酸进入水洗系统中，产生氯化氢的量为3.36t/a，则每台ICP设备生成的HCl气体量约为0.0672t/a， (略) 楼、6号楼、8号楼HCl的产生量分别为1.14t/a、1.08t/a、1.14t/a， (略) 理塔设计风机风量均为 点击查看>> m³/h，速率分别为0.130kg/h、0.123kg/h、0.130kg/h，产生浓度分别为 点击查看>> mg/m³、 点击查看>> mg/m³、 点击查看>> mg/m³。

由于HCl气体易溶于水，生产的HCl气体溶于水的量约为80%，则HCl排放量约为0.672t/a，P1、P5、P9的排放量分别为0.228t/a、0.216t/a、0.228t/a，排放速率分别为0.0260kg/h、0.0245kg/h、0.0260kg/h，排放浓度分别为2.60mg/m³、2.45mg/m³、2.60mg/m³，满足《大气污染物综合排放标准》（GB 点击查看>> -1996）表2中二级标准要求（排放浓度≤100mg/m³，排放速率≤2.6kg/h，40m高排气筒）。

③有机废气VOC_S

项目蓝宝石晶片生产过程中涂胶工序使用的光刻胶（主要由 点击查看>> 酸 点击查看>> 酯、乳酸 点击查看>> 酯、感光树脂等组成）涂胶后烘干过程会有少量废气产生，主要为酯类等气体，本环评以非 点击查看>> 烷总烃计，由于光刻胶溶剂含量较低且毒性较小，该部分气体产生量小，光刻废气产生量按照光刻胶用量的10%计，本项目光刻胶使用量为5.76t/a，则废气产生量约为0.576t/a。

4号楼3层设置3台翻模机、3台压印机、5台大产能匀胶机，压印、翻模、匀胶工序废气收集后（收集率90%）由一套活性 (略) 理经43m排气筒排放（P3）。

6号楼3层设置4台翻模机、4台压印机、5台大产能匀胶机，压印、翻模、匀胶工序废气收集后（收集率90%）由一套活性 (略) 理经43m排气筒排放（P7）。

8号楼3层设置3台翻模机、3台压印机、5台大产能匀胶机，压印、翻模、匀胶工序废气收集后（收集率90%）由一套活性 (略) 理经43m排气筒排放（P11）。

4、6、8号楼VOC_S有组织产生量均为0.173t/a，设计风机风量均为5000m³/h，速率均为0.0198kg/h，产生浓度均为3.95mg/m³。

活性炭吸附装置净化效率以40%计，VOC_S有组织排放总量为0.312t/a，则4、6、8号楼VOC_S有组织排放量均为0.104t/a，设计风机风量均为5000m³/h，排放速率均为0.0119kg/h，排放浓度均为2.37mg/m³。满足《工业企业挥发性有机物排放控制标准》（DB13/2322-2016）表1中其他行业排放限值（非 点击查看>> 烷总烃≤80mg/m³）。

未被收集的废气以无组织排放，无组织排放量为0.057t/a，排放速率为0.0065kg/h。本项目涉VOCs物料为光刻胶，原料为桶装，非取用状态时保持密闭。本评价要求涉VOCs物料的储存、转移运输、工艺过程以及台账管理等均满足《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB 点击查看>> -2019）中VOCs无组织管控要求及《工业企业挥发性有机物排放控制标准》（DB1313/2322-2016）表2中其他行业排放限值要求。

④酸雾

项目采用30%双氧水和96%硫酸（配比1:4）去除蓝宝石底片上生长后的杂质，

4号楼4层设置3台清洗机与5台刷片机，产生的废气通过密闭管道收集，收集的硫酸经1套 (略) 理后由1根43m高排气筒排放（P4）。

6号楼4层设置4台清洗机与5台刷片机，产生的废气通过密闭管道收集，收集的硫酸经1套 (略) 理后由1根43m高排气筒排放（P8）。

8号楼4层设置3台清洗机与5台刷片机，产生的废气通过密闭管道收集，收集的硫酸经1套 (略) 理后由1根43m高排气筒排放（P12）。

经 (略) 理后清洗过程清洗机密闭，本项目车间为负压车间，收集效率100%计，处理效率以80%计，设计风量为2500m³/h，则每根排气筒硫酸雾有组织排放量为0.064t/a，排放速率为0.0073kg/h，排放浓度2.92mg/m³，满足《大气污染物综合排放标准》（GB 点击查看>> -1996）表2二级标准要求（40m排气筒，排放浓度≤45mg/m³、排放速率≤1.5kg/h）。

氮化铝陶瓷基板生产线：

①真空除泡、流延成型、坯片干燥工序废气

产生的废气主要是 点击查看>> 醇、异 点击查看>> 醇挥发， 点击查看>> 醇和异 点击查看>> 醇用量合计为20t， (略) 挥发计，则VOC_S产生量为20t/a。

②一次预烧结工序废气

根据建设单位提供资料，一次预烧结工序磷酸三 点击查看>> 酯、PVB、DBP经高温挥发产生废气，产生的废气主要为磷酸三 点击查看>> 酯、邻苯二 点击查看>> 酸二 点击查看>> 酯、聚 点击查看>> 烯醇浓缩 点击查看>> 醛挥发物，以VOC_S计，磷酸三 点击查看>> 酯、PVB、DBP用量合计为8.15t， (略) 挥发计，则VOC_S产生量为8.15t/a。

5号楼一层设置2台烧结炉与4台马弗炉，产生的废气经一套两级活性 (略) 理后由一根排气筒排放（P13）；二层设置2台流延机，产生的废气经一套两级活性 (略) 理，与一层烧结废气共用一根排气筒排放（P13）。

7号楼一层设置2台烧结炉与4台马弗炉，产生的废气经一套两级活性 (略) 理后由一根排气筒排放（P14）；二层设置2台流延机，产生的废气经一套两级活性 (略) 理，与一层烧结废气共用一根排气筒排放（P14）。

9号楼一层设置2台烧结炉与4台马弗炉，产生的废气经一套两级活性 (略) 理后由一根排气筒排放（P15）；二层设置2台流延机，产生的废气经一套两级活性 (略) 理，与一层烧结废气共用一根排气筒排放（P15）。

非 点击查看>> 烷总烃产生总量为 点击查看>> t/a，5、7、9号楼均为9.38t/a，收集效率按98%计，5、7、9号楼有组织非 点击查看>> 烷总烃产生量均为9.20t/a，风机风量均为 点击查看>> m³/h，速率均为1.05kg/h，则VOC_S产生浓度均为 点击查看>> mg/m³，两级活性 (略) 理，去除效率均按85%计，则VOC_S排放浓度均为 点击查看>> mg/m³，排放速率均为0.157kg/h，排放量均为1.38t/a，VOC_S排放总量为4.14t/a。满足《工业企业挥发性有机物排放控制标准》（DB13/2322-2016）表1中其他行业排放限值。

未被收集的废气以无组织排放，无组织排放量为0.55t/a，5、7、9号楼均为0.183t/a，排放速率均为0.0209kg/h。本项目涉VOCs物料为 点击查看>> 醇、异 点击查看>> 醇、磷酸三 点击查看>> 酯、PVB、DBP， 点击查看>> 醇、异 点击查看>> 醇桶装，磷酸三 点击查看>> 酯、DBP瓶装，PVB袋装，非取用状态时均保持密闭。本评价要求涉VOCs物料的储存、转移运输、工艺过程以及台账管理等均满足《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB 点击查看>> -2019）中VOCs无组织管控要求及《工业企业挥发性有机物排放控制标准》（DB1313/2322-2016）表2中其他行业排放限值要求。

本项目生长废气采用“ (略) 理设备”处理，刻蚀废气采用“ (略) 理设备”处理，去光阻工序废气采用“酸雾洗涤塔”处理，酸洗工序酸雾采用“酸雾洗涤塔”处理，涂胶工序及烧结、流延有机废气采用“活性炭吸附装置”处理。满足《排污许可证申请与核发技术规范 电子工业》（HJ1031-2019）附录B表B.1电子专用材料制造排污单位废气防治可行技术要求。

二、水环境影响分析

1、废水污染物排放情况

本项目废水主要为生活污水、生产废水，QDR清洗废水、刷片和甩干废水、循环系统冷却水、 (略) 浓水、酸雾洗涤塔废水加碱中和， (略) 理装置废水加生石灰沉淀法除氟，研磨抛光废水、基片清洗废水经沉淀装置沉淀，上 (略) 理后与地面清洁废水及生活污水一 (略) 理后经市政管网进入保定 (略) (略) 理。

三、声环境影响分析

1、噪声源强基本情况

项目主要噪声源为机加工设备、真空泵、风机等机械，噪声值75-90dB(A)。采取选用低噪声设备、基础减震、厂房隔声等措 (略) 界环境噪声排放可达到《 (略) 界环境噪声排放标准》（GB 点击查看>> -2008）3类标准。

四、固体废物对环境的影响

本项目建成后，新型图形化衬底生产工艺固体废物主要包括原料检验工序的不合格品、半成品检测工序的不合格品、成品检测的不合格品、 (略) 理装置沉淀污泥、涂胶工序产生的废光刻胶和废去边液、酸洗工序产生的废硫酸和废酸桶、废气治理设施更换的废活性炭及员工生活垃圾；氮化铝陶瓷基板生产工艺固体废物主要包括冲击成型边角料、激光打孔和产品分割边角料、性能检测及成品检测不合格品、研磨抛光基片清洗废水经沉淀装置产生的沉淀污泥、废气治理设施更换的废活性炭及员工生活垃圾；全环控智能农业设备生产工艺固体废物主要包括组件加工产生的边角料、成品检测的不合格品及员工生活垃圾。根据《国家危险废物名录（2021年版）》判定，废光刻胶、废去边液、废硫酸、废酸桶、废活性炭属于危险废物。项目将危险废物储存于危废暂存间，危废间裙角，地面做耐腐蚀、 (略) 理，渗透系数小于1×10^-10cm/s；危废暂存间按规范要求建设四防设施（防风、防雨、防晒和防渗漏），并根据危废特性，采用专用的容器分类分区存放；暂存间设立危险废物警示标志，由专人进行管理并做好了危险废 (略) 置记录。同时参照《危险废物贮存污染控制标准》(GB 点击查看>> -2001)附录A相关要求张贴对应标签，包括危废类别、主要成分、危险情况、安全措施、数量等内容，严格按照《危险废物贮存污染控制标准》（GB 点击查看>> -2001）及其修改单和《危险废物收集贮存运输技术规范》（HJ2025-2012）的要求进行。

本项目总量控制建议指标为颗粒物0t/a、SO₂0t/a、NO_X0.259t/a、非 点击查看>> 烷总烃4.452t/a、COD 点击查看>> t/a、NH₃-N1.080t/a、TN4.321t/a、TP0.540t/a。

序号

项目名称

建设地点

建设单位

环境影响评价机构

项目概况

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

1

LED关键装备及智能生物设备项目

保定市国家高新技术产业 (略) 北侧、巨力街西侧、工业大街东侧

保定中创燕 (略)

河北十环 (略)

项目概况：

项目位于保定国家高新技术产业 (略) 北侧、巨力街西侧、工业大街东侧，中心

地理位置坐标为东经 115°25" 点击查看>> "，北纬 38°55" 点击查看>> "。项目东侧为高压线走廊，西侧隔工业大街 (略) 科技园科创分园（在建）， (略) 为保定金阳光 (略) ，北侧为空地。距离项目最近的环境敏感点为东北侧 480m 处的秀兰一代华航小区。项目地理位置见附图 1，周边关系见附图 2。

3、建设内容:本项目新征用地 点击查看>> 亩（ 点击查看>> .05m 2 ），总建筑面积为 点击查看>> .76m 2 。地上总建筑面积 点击查看>> .48m 2 ，主要用于生产车间及办公楼、研发楼建设。地下建筑面积约为 点击查看>> m 2 ，主要用于人防及地下车库建设。购置铣床、钻床、烧结炉、流延机、全热交换风机、消防设备及传输轨道等设备共计 1128 套。

新征用地 点击查看>> 亩（ 点击查看>> .05m 2 ），根据《国有土地使用证》（冀（2019）保定市不动产权第 点击查看>> 号），该地块地类（用途）为工业，符合工业用地性质要求。根据《建设工程规划许可证》（地字第 点击查看>> ），本建设工程符合城乡规划要求。

本项目设计年产新型图形化衬底 500 万片，氮化铝陶瓷基板 20 万件，全环控智能农业设备（全光谱 LED 智能植物光源）1000 套。

营运期环境影响分析：

一、大气环境影响分析

1、废气

本项目共设置三个生产工艺，新型图形化衬底生产工艺、氮化铝陶瓷基板生产工艺和全环控智能农业设备生产工艺。 (略) 楼、6号楼、8号楼生产新型图形化衬底，大气污染物主要为PECVD生长工序产生的氮氧化物和氟化物、酸洗工序产生的硫酸雾、涂胶工序产生的非 点击查看>> 烷总烃、ICP刻蚀工序产生的氯化氢。5号楼、7号楼、9号楼生产氮化铝陶瓷基板，大气污染物主要为真空除泡、流延成型、坯片干燥工序产生的非 点击查看>> 烷总烃，一次预烧结产生的非 点击查看>> 烷总烃。2号楼生产全环控智能农业设备，无大气污染物产生。

新型图形化衬底生产线：

①废生长气体

PECVD生长气体排空和清洗工序会有CF₄、笑气及其分解反应物质产生。废气中主要污染物为氟化物、氮氧化物。

4号楼2层设置17台PECVD，设备残余气体经1 (略) (略) 理后经43m高排气筒排放（P2）。

6号楼2层设置16台PECVD，设备残余气体经1 (略) (略) 理后经43m高排气筒排放（P6）。

8号楼2层设置17台PECVD，设备残余气体经1 (略) (略) 理后经43m高排气筒排放（P10）。

(略) 理设备（Heat-wet Scrubber）工作原理：设备主体采用加热器产生850度高温， (略) 排出的残余气体进行高温 (略) 理成无毒害的反应物，这些反应后的生成物利用喷淋系统将反应生成的残渣 (略) 理槽内，该反应后生成氟化物、氮氧化物通过排气筒外排。

类比同类项目，氟化物产生量约为25%，则氟化物产生量为6.75t/a，每台PECVD氟化物产生量为0.135t/a， (略) 楼、6号楼、8号楼氟化物的产生量分别为2.295t/a、2.16t/a、2.295t/a，设计风机风量均为8000m³/h，速率分别为0.257kg/h、0.257kg/h、0.247kg/h，产生浓度分别为 点击查看>> mg/m³、 点击查看>> mg/m³、 点击查看>> mg/m³。加 (略) 理后，处理效率约80%，则氟化物排放量约为1.35t/a，P2、P6、P10的排放量分别为0.459t/a、0.432t/a、0.459t/a，排放速率分别为0.0524kg/h、0.0493kg/h、0.0524kg/h，排放浓度分别为6.55mg/m³、6.16mg/m³、6.55mg/m³。

类比同类项目，氮氧化物产生量约为20%，则氮氧化物产生量为1.296t/a，每台PECVD氮氧化物产生量为0. 点击查看>> t/a， (略) 楼、6号楼、8号楼氮氧化物的产生量分别为0.441t/a、0.415t/a、0.441t/a，设计风机风量均为8000m³/h，速率分别为0.0503kg/h、0.0474kg/h、0.0503kg/h，产生浓度分别为6.29mg/m³、5.92mg/m³、6.29mg/m³。加 (略) 理后，处理效率约80%，则氮氧化物排放量约为0.259t/a，P2、P6、P10的排放量分别为0.088t/a、0.083t/a、0.088t/a，排放速率分别为0.0100kg/h、0.0095kg/h、0.0100kg/h，排放浓度分别为1.26mg/m³、1.18mg/m³、1.26mg/m³。

满足《大气污染物综合排放标准》（GB 点击查看>> -1996）表2中二级标准要求（氮氧化物排放浓度≤240mg/m³，排放速率≤7.5kg/h，40m高排气筒；氟化物排放浓度≤9.0mg/m³，排放速率≤1.0kg/h，40m高排气筒）。

②刻蚀废气

刻蚀废气主要来源于ICP刻蚀工序，未分解的BCl₃气体（约3.6t/a，占总用量的30%）。

4号楼2层设置17台ICP，产生的废气 (略) (略) 理后经1根43m排气筒排放（P1）。

6号楼2层设置16台ICP，产生的废气 (略) (略) 理后经1根43m排气筒排放（P5）。

8号楼2层设置17台ICP，产生的废气 (略) (略) 理后经1根43m排气筒排放（P9）。

刻蚀废气由设备内管道直接收集，收集率为100%。

由于三氯化硼不稳定，遇水后极易水解生成HCl气体和硼酸，生成的硼酸进入水洗系统中，产生氯化氢的量为3.36t/a，则每台ICP设备生成的HCl气体量约为0.0672t/a， (略) 楼、6号楼、8号楼HCl的产生量分别为1.14t/a、1.08t/a、1.14t/a， (略) 理塔设计风机风量均为 点击查看>> m³/h，速率分别为0.130kg/h、0.123kg/h、0.130kg/h，产生浓度分别为 点击查看>> mg/m³、 点击查看>> mg/m³、 点击查看>> mg/m³。

由于HCl气体易溶于水，生产的HCl气体溶于水的量约为80%，则HCl排放量约为0.672t/a，P1、P5、P9的排放量分别为0.228t/a、0.216t/a、0.228t/a，排放速率分别为0.0260kg/h、0.0245kg/h、0.0260kg/h，排放浓度分别为2.60mg/m³、2.45mg/m³、2.60mg/m³，满足《大气污染物综合排放标准》（GB 点击查看>> -1996）表2中二级标准要求（排放浓度≤100mg/m³，排放速率≤2.6kg/h，40m高排气筒）。

③有机废气VOC_S

项目蓝宝石晶片生产过程中涂胶工序使用的光刻胶（主要由 点击查看>> 酸 点击查看>> 酯、乳酸 点击查看>> 酯、感光树脂等组成）涂胶后烘干过程会有少量废气产生，主要为酯类等气体，本环评以非 点击查看>> 烷总烃计，由于光刻胶溶剂含量较低且毒性较小，该部分气体产生量小，光刻废气产生量按照光刻胶用量的10%计，本项目光刻胶使用量为5.76t/a，则废气产生量约为0.576t/a。

4号楼3层设置3台翻模机、3台压印机、5台大产能匀胶机，压印、翻模、匀胶工序废气收集后（收集率90%）由一套活性 (略) 理经43m排气筒排放（P3）。

6号楼3层设置4台翻模机、4台压印机、5台大产能匀胶机，压印、翻模、匀胶工序废气收集后（收集率90%）由一套活性 (略) 理经43m排气筒排放（P7）。

8号楼3层设置3台翻模机、3台压印机、5台大产能匀胶机，压印、翻模、匀胶工序废气收集后（收集率90%）由一套活性 (略) 理经43m排气筒排放（P11）。

4、6、8号楼VOC_S有组织产生量均为0.173t/a，设计风机风量均为5000m³/h，速率均为0.0198kg/h，产生浓度均为3.95mg/m³。

活性炭吸附装置净化效率以40%计，VOC_S有组织排放总量为0.312t/a，则4、6、8号楼VOC_S有组织排放量均为0.104t/a，设计风机风量均为5000m³/h，排放速率均为0.0119kg/h，排放浓度均为2.37mg/m³。满足《工业企业挥发性有机物排放控制标准》（DB13/2322-2016）表1中其他行业排放限值（非 点击查看>> 烷总烃≤80mg/m³）。

未被收集的废气以无组织排放，无组织排放量为0.057t/a，排放速率为0.0065kg/h。本项目涉VOCs物料为光刻胶，原料为桶装，非取用状态时保持密闭。本评价要求涉VOCs物料的储存、转移运输、工艺过程以及台账管理等均满足《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB 点击查看>> -2019）中VOCs无组织管控要求及《工业企业挥发性有机物排放控制标准》（DB1313/2322-2016）表2中其他行业排放限值要求。

④酸雾

项目采用30%双氧水和96%硫酸（配比1:4）去除蓝宝石底片上生长后的杂质，

4号楼4层设置3台清洗机与5台刷片机，产生的废气通过密闭管道收集，收集的硫酸经1套 (略) 理后由1根43m高排气筒排放（P4）。

6号楼4层设置4台清洗机与5台刷片机，产生的废气通过密闭管道收集，收集的硫酸经1套 (略) 理后由1根43m高排气筒排放（P8）。

8号楼4层设置3台清洗机与5台刷片机，产生的废气通过密闭管道收集，收集的硫酸经1套 (略) 理后由1根43m高排气筒排放（P12）。

经 (略) 理后清洗过程清洗机密闭，本项目车间为负压车间，收集效率100%计，处理效率以80%计，设计风量为2500m³/h，则每根排气筒硫酸雾有组织排放量为0.064t/a，排放速率为0.0073kg/h，排放浓度2.92mg/m³，满足《大气污染物综合排放标准》（GB 点击查看>> -1996）表2二级标准要求（40m排气筒，排放浓度≤45mg/m³、排放速率≤1.5kg/h）。

氮化铝陶瓷基板生产线：

①真空除泡、流延成型、坯片干燥工序废气

产生的废气主要是 点击查看>> 醇、异 点击查看>> 醇挥发， 点击查看>> 醇和异 点击查看>> 醇用量合计为20t， (略) 挥发计，则VOC_S产生量为20t/a。

②一次预烧结工序废气

根据建设单位提供资料，一次预烧结工序磷酸三 点击查看>> 酯、PVB、DBP经高温挥发产生废气，产生的废气主要为磷酸三 点击查看>> 酯、邻苯二 点击查看>> 酸二 点击查看>> 酯、聚 点击查看>> 烯醇浓缩 点击查看>> 醛挥发物，以VOC_S计，磷酸三 点击查看>> 酯、PVB、DBP用量合计为8.15t， (略) 挥发计，则VOC_S产生量为8.15t/a。

5号楼一层设置2台烧结炉与4台马弗炉，产生的废气经一套两级活性 (略) 理后由一根排气筒排放（P13）；二层设置2台流延机，产生的废气经一套两级活性 (略) 理，与一层烧结废气共用一根排气筒排放（P13）。

7号楼一层设置2台烧结炉与4台马弗炉，产生的废气经一套两级活性 (略) 理后由一根排气筒排放（P14）；二层设置2台流延机，产生的废气经一套两级活性 (略) 理，与一层烧结废气共用一根排气筒排放（P14）。

9号楼一层设置2台烧结炉与4台马弗炉，产生的废气经一套两级活性 (略) 理后由一根排气筒排放（P15）；二层设置2台流延机，产生的废气经一套两级活性 (略) 理，与一层烧结废气共用一根排气筒排放（P15）。

非 点击查看>> 烷总烃产生总量为 点击查看>> t/a，5、7、9号楼均为9.38t/a，收集效率按98%计，5、7、9号楼有组织非 点击查看>> 烷总烃产生量均为9.20t/a，风机风量均为 点击查看>> m³/h，速率均为1.05kg/h，则VOC_S产生浓度均为 点击查看>> mg/m³，两级活性 (略) 理，去除效率均按85%计，则VOC_S排放浓度均为 点击查看>> mg/m³，排放速率均为0.157kg/h，排放量均为1.38t/a，VOC_S排放总量为4.14t/a。满足《工业企业挥发性有机物排放控制标准》（DB13/2322-2016）表1中其他行业排放限值。

未被收集的废气以无组织排放，无组织排放量为0.55t/a，5、7、9号楼均为0.183t/a，排放速率均为0.0209kg/h。本项目涉VOCs物料为 点击查看>> 醇、异 点击查看>> 醇、磷酸三 点击查看>> 酯、PVB、DBP， 点击查看>> 醇、异 点击查看>> 醇桶装，磷酸三 点击查看>> 酯、DBP瓶装，PVB袋装，非取用状态时均保持密闭。本评价要求涉VOCs物料的储存、转移运输、工艺过程以及台账管理等均满足《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB 点击查看>> -2019）中VOCs无组织管控要求及《工业企业挥发性有机物排放控制标准》（DB1313/2322-2016）表2中其他行业排放限值要求。

本项目生长废气采用“ (略) 理设备”处理，刻蚀废气采用“ (略) 理设备”处理，去光阻工序废气采用“酸雾洗涤塔”处理，酸洗工序酸雾采用“酸雾洗涤塔”处理，涂胶工序及烧结、流延有机废气采用“活性炭吸附装置”处理。满足《排污许可证申请与核发技术规范 电子工业》（HJ1031-2019）附录B表B.1电子专用材料制造排污单位废气防治可行技术要求。

二、水环境影响分析

1、废水污染物排放情况

本项目废水主要为生活污水、生产废水，QDR清洗废水、刷片和甩干废水、循环系统冷却水、 (略) 浓水、酸雾洗涤塔废水加碱中和， (略) 理装置废水加生石灰沉淀法除氟，研磨抛光废水、基片清洗废水经沉淀装置沉淀，上 (略) 理后与地面清洁废水及生活污水一 (略) 理后经市政管网进入保定 (略) (略) 理。

三、声环境影响分析

1、噪声源强基本情况

项目主要噪声源为机加工设备、真空泵、风机等机械，噪声值75-90dB(A)。采取选用低噪声设备、基础减震、厂房隔声等措 (略) 界环境噪声排放可达到《 (略) 界环境噪声排放标准》（GB 点击查看>> -2008）3类标准。

四、固体废物对环境的影响

本项目建成后，新型图形化衬底生产工艺固体废物主要包括原料检验工序的不合格品、半成品检测工序的不合格品、成品检测的不合格品、 (略) 理装置沉淀污泥、涂胶工序产生的废光刻胶和废去边液、酸洗工序产生的废硫酸和废酸桶、废气治理设施更换的废活性炭及员工生活垃圾；氮化铝陶瓷基板生产工艺固体废物主要包括冲击成型边角料、激光打孔和产品分割边角料、性能检测及成品检测不合格品、研磨抛光基片清洗废水经沉淀装置产生的沉淀污泥、废气治理设施更换的废活性炭及员工生活垃圾；全环控智能农业设备生产工艺固体废物主要包括组件加工产生的边角料、成品检测的不合格品及员工生活垃圾。根据《国家危险废物名录（2021年版）》判定，废光刻胶、废去边液、废硫酸、废酸桶、废活性炭属于危险废物。项目将危险废物储存于危废暂存间，危废间裙角，地面做耐腐蚀、 (略) 理，渗透系数小于1×10^-10cm/s；危废暂存间按规范要求建设四防设施（防风、防雨、防晒和防渗漏），并根据危废特性，采用专用的容器分类分区存放；暂存间设立危险废物警示标志，由专人进行管理并做好了危险废 (略) 置记录。同时参照《危险废物贮存污染控制标准》(GB 点击查看>> -2001)附录A相关要求张贴对应标签，包括危废类别、主要成分、危险情况、安全措施、数量等内容，严格按照《危险废物贮存污染控制标准》（GB 点击查看>> -2001）及其修改单和《危险废物收集贮存运输技术规范》（HJ2025-2012）的要求进行。

本项目总量控制建议指标为颗粒物0t/a、SO₂0t/a、NO_X0.259t/a、非 点击查看>> 烷总烃4.452t/a、COD 点击查看>> t/a、NH₃-N1.080t/a、TN4.321t/a、TP0.540t/a。