建设项目名称

建设单位名称

建设地点

环评文件编制单位名称

建设项目概况

主要环境影响和环境保护对策与措施

建设单位开展的公众参与情况

公示起止日期

久日半导体材料研发实验室建设

天津久 (略)

天津市西青区精武镇学府工 (略) 1 (略)

津滨绿意（天津） (略)

光刻胶是半导体工业的核心辅材之一，是光刻工艺的关键材料，配合光刻机使用。面板光刻胶全球需求量约5万吨/年，半导体光刻胶全球需求量约3000吨/年。目前国内的光刻胶主要依赖进口，已经成为最典型的卡脖子材料之一。为了改变这种现状，并实现产业链的延伸。本项目拟建设研发实验室，研发方向主要是光刻胶及光刻工艺其他半导体化学品。

项目的技术来源是引进外方专家成熟技术，外方专家从业经历23年， (略) 用面板光刻胶均为外方专家在国外开发的成熟产品。本项目引进外方专家后，可迅速调配 (略) 商所需各种光刻胶，包括了LCD和OL (略) (略) 有的光刻胶种类。预期我司实验室建成后，可在1~2年内开发出国内面板产业主要品类的光刻胶，并交付久日徐州生产基地生产，替代进口。现国 (略) 需光刻胶仍然90%需要从国外进口，本项目 (略) 分替代国外进口面板光刻胶的目的。

项目仅涉及产品研发、性能应用测试，无生产环节， (略) 分由本实验室进行性能检测，以便确定实验工艺和配方，检测后剩余的实验成品作为危险废物委托 (略) 置； (略) 分的实验成品外送潜在客户试用，取得反馈信息。

项目选址于天津市西青区精武镇学府工 (略) 1 (略) 厂房一层，地理坐标为：N39°3′ 点击查看>> ″，E117°5′ 点击查看>> ″。 (略) 房总建筑面积为 点击查看>> m²。 (略) 在楼栋共两层，二层为天津 (略) 。厂房四侧：北侧为天津福 (略) ， (略) 厂房，西侧为天津西青学府慧谷工业园-西区， (略) 厂房。

施工期

本项目租赁天津市学府 (略) (略) 房，不新增建筑物，无土建工程；现有公辅设施可满足本项目需求，施工期仅 (略) 装修和研发设备的安装。

施工期全过程按作业性质可以分为下列几个阶段：内部改造、部分地漏封堵、内部装修工程阶段（包括危废暂存间防渗）、设备设施安装工程（包括通风橱、千级洁净室安装）等。因此，在施工装修过程中产生的污染主要为噪声、装修固体废物等。

运营期

废气

本项目产生的大气污染物主要为光刻胶研发实验、成品光刻胶曝光实验（涂胶、前烘、坚膜、去胶、硅片清洗）过程产生有机废气（以TRVOC、非 点击查看>> 烷总烃表征）、 点击查看>> 醇和异味（以臭气浓度计）；样品制备（投料、灌装）过程产生有机废气（以TRVOC、非 点击查看>> 烷总烃表征）和异味（以臭气浓度计）、颗粒物；清洗过程产生有机废气（以TRVOC、非 点击查看>> 烷总烃表征）。??

废水

本项目实验区不设置给排水管网，实验用水均使用外购纯水或等离子水，产生的清洗废水利用塑料桶收集，储存于危险废物暂存间，定期交由 (略) 置。清洗废水严格与生活污水隔离，外排的废水主要为生活污水，废水排放量为 点击查看>> m³/a（0.675m³/d），生活污水经管网 (略) 理出水达到《污水综合排放标准》（DB12/356-2018）三级排放限值后， (略) 房建筑现有污水总排口排入园区污水管网，最 (略) (略) (略) 理。

噪音

本项目噪声源主要为样品搅拌罐、通风橱、样品室送风机、样品室引风机、新送风系统风机中央空调外 (略) 理装置风机等，噪声源强约为70~85dB(A)。本项目产生生产噪声的主要设备 (略) 房内，禁止噪声源直接暴露在室外。本项目在设备选型时应选择低噪声设备；设备安装消声、减振装置，如基础减振垫片等；风机风管采用柔性连接； (略) 于厂房中央，远离边界；营运期加强对设备的维护和保养等。在对产噪设备采取消声、减振措施后，可降噪20dB（A）左右。本项目的噪声控制可以从噪声源控制、噪声传播途径控制和个体防护三方面进行：

（1）噪声源控制：在选购设备时应购置符合国家颁布的各类机械噪声标准的低噪声设备，以保证今后设备投入运行时能符合工业企业车间噪声卫生标准，同时 (略) 界噪声控制值。

（2）噪声传播途径：所有高噪声 (略) ， (略) 界，同时配置减振装置，安装隔声罩，以降低噪声的环境影响。

（3）个体防护：

①生产设备：设备选型时选用符合国家标准的低噪声设备，并采取基础减振、厂房隔声等降噪措施。

②风机：风机选用低噪声设备，采用软接头连接，风机底座安装减振垫，以降低噪声强度；室外风机安装隔声罩。

固体废物

本项目固废产生情况如下：

（1）一般固体废物

①生活垃圾

本项目运营期产生的职工生活垃圾产生量按0.5kg/人?d，本项目定员15人，年工作250天，则生活垃圾产生量为1.875t/a，收集后由城市管理委员会清运。

②一般工业固体废物

本项目一般固体废物主要为废包装物、废晶圆硅片和废掩膜版，不包含废化学试剂瓶及沾染有毒有害化学品的废物。

废包装物主要为包装箱、包装袋等，产生量为??0.05t/a，根据《一般固废分类与代码》（GB/T 点击查看>> -2020，2021-05-01 正式实施），代码为732-001-07，收集后外 (略) 门。

成品光刻胶曝光实验使用的晶圆硅片需定期更换，更换下的废晶圆硅片为一般固体废物，产生量为0.05t/a，根据《一般固废分类与代码》（GB/T 点击查看>> -2020,2021-05-01 正式实施），代码为732-001-99，收集后外 (略) 门。

成品光刻胶曝光实验使用的掩膜版为玻璃制品，每10年需更换一次，更换量为0.0004t，根据《一般固废分类与代码》（GB/T 点击查看>> -2020,2021-05-01 正式实施），代码为732-001-08，收集后外 (略) 门。

（2）危险废物

本项目产生的废活性炭、废过滤网、废化学试剂瓶（桶）、清洗废水、沾染废物、实验废液、清洗废液、废过滤棉等属于危险废物，在危险废物暂存间暂存，定期由有资 (略) 置。

①废活性炭

本项 (略) 理设施运行过程会产生废活性炭，根据建设单位提供的资料，本项目活性炭吸附装置中为蜂窝状活性炭，单个活性炭装置填装量约为700kg，共设置1个活性炭箱。根据《简明通风设计手册》P510中活性炭有效吸附量为qe=0.24kg/kg活性炭，活性炭对有机废气的吸附净化效率为70%，有机废气的产生量为0.2394t/a，收集效率为100%，经活性炭需吸附的有机废气量为 点击查看>> kg/a，所需活性炭最少量= 点击查看>> kg/a÷0.24t/t= 点击查看>> kg/a，本项目拟设置700kg的活性炭箱。为保证废气治理设备正常有效运行，每半年更换1次活性炭，则每年废活性炭产生量=700kg/a×2+ 点击查看>> kg/a=1.6t/a。根据《国家危险废物名录》（2021年版）进行鉴别，废活性炭为危险废物，废物类别为HW49其他废物，废物代码为900-039-49，定期交 (略) 理。

②废过滤网

本项目新送风系统设置过滤器进行过滤，实验及样品制备统设置过滤器进行过滤，过滤器内过滤网定期更换，约每年更换一次，每次更换量合计为0.5t（含滤渣），废物类别为HW49其他废物，废物代码为900-041-49，暂存于危险废物暂存间，定期交 (略) 理。

③废化学试剂瓶（桶）

本项目化学品使用后剩余的废化学试剂瓶（桶）为危险废物，产生量为0.5t/a，废物类别为HW49其他废物，废物代码为900-047-49，暂存于危险废物暂存间，定期交 (略) 理。

④清洗废水

本项目实验仪器、器皿或罐体需利用纯水进行清洗， (略) 作 (略) 置，根据前文计算，本项目清洗废水产生量为1t/a，废物类别为HW49其他废物，废物代码为900-047-49，暂存于危险废物暂存间，定期交 (略) 理。

⑤沾染废物

本项目实验过程会产生一定量的沾染化学试剂的废物，如过滤纸、称量固体的硫酸纸，实验过程一次性手套、擦拭实验器皿的废纸、损坏和报废的玻璃器皿等，产生量为0.1t/a。沾染废物为危险废物，危险废物类别及代码为HW49其他废物900-047-49，暂存于危险废物暂存间，定期交 (略) 理。

⑥实验废液、清洗废液

实验过程不合格中产生的不合格实验品（液态）、检测后的实验品（液态）、废剥离液、废 点击查看>> 酮，产生量分别为0.56t/a、0.14t/a、0.146t/a、1.254t/a，产生总量为2.1t/a，危险废物类别及代码为HW49 其他废物 900-047-49，暂存于危险废物暂存间，定期交 (略) 理。

⑦废过滤棉

本项目样品室排风口设置过滤棉进行废气过滤，一年更换一次，更换量为0.1t，危险废物类别及代码为HW49 其他废物 900-041-49，暂存于危险废物暂存间，定期交 (略) 理。

无

2022年04月19日—2022年04月24日

建设项目名称

建设单位名称

建设地点

环评文件编制单位名称

建设项目概况

主要环境影响和环境保护对策与措施

建设单位开展的公众参与情况

公示起止日期

久日半导体材料研发实验室建设

天津久 (略)

天津市西青区精武镇学府工 (略) 1 (略)

津滨绿意（天津） (略)

光刻胶是半导体工业的核心辅材之一，是光刻工艺的关键材料，配合光刻机使用。面板光刻胶全球需求量约5万吨/年，半导体光刻胶全球需求量约3000吨/年。目前国内的光刻胶主要依赖进口，已经成为最典型的卡脖子材料之一。为了改变这种现状，并实现产业链的延伸。本项目拟建设研发实验室，研发方向主要是光刻胶及光刻工艺其他半导体化学品。

项目的技术来源是引进外方专家成熟技术，外方专家从业经历23年， (略) 用面板光刻胶均为外方专家在国外开发的成熟产品。本项目引进外方专家后，可迅速调配 (略) 商所需各种光刻胶，包括了LCD和OL (略) (略) 有的光刻胶种类。预期我司实验室建成后，可在1~2年内开发出国内面板产业主要品类的光刻胶，并交付久日徐州生产基地生产，替代进口。现国 (略) 需光刻胶仍然90%需要从国外进口，本项目 (略) 分替代国外进口面板光刻胶的目的。

项目仅涉及产品研发、性能应用测试，无生产环节， (略) 分由本实验室进行性能检测，以便确定实验工艺和配方，检测后剩余的实验成品作为危险废物委托 (略) 置； (略) 分的实验成品外送潜在客户试用，取得反馈信息。

项目选址于天津市西青区精武镇学府工 (略) 1 (略) 厂房一层，地理坐标为：N39°3′ 点击查看>> ″，E117°5′ 点击查看>> ″。 (略) 房总建筑面积为 点击查看>> m²。 (略) 在楼栋共两层，二层为天津 (略) 。厂房四侧：北侧为天津福 (略) ， (略) 厂房，西侧为天津西青学府慧谷工业园-西区， (略) 厂房。

施工期

本项目租赁天津市学府 (略) (略) 房，不新增建筑物，无土建工程；现有公辅设施可满足本项目需求，施工期仅 (略) 装修和研发设备的安装。

施工期全过程按作业性质可以分为下列几个阶段：内部改造、部分地漏封堵、内部装修工程阶段（包括危废暂存间防渗）、设备设施安装工程（包括通风橱、千级洁净室安装）等。因此，在施工装修过程中产生的污染主要为噪声、装修固体废物等。

运营期

废气

本项目产生的大气污染物主要为光刻胶研发实验、成品光刻胶曝光实验（涂胶、前烘、坚膜、去胶、硅片清洗）过程产生有机废气（以TRVOC、非 点击查看>> 烷总烃表征）、 点击查看>> 醇和异味（以臭气浓度计）；样品制备（投料、灌装）过程产生有机废气（以TRVOC、非 点击查看>> 烷总烃表征）和异味（以臭气浓度计）、颗粒物；清洗过程产生有机废气（以TRVOC、非 点击查看>> 烷总烃表征）。??

废水

本项目实验区不设置给排水管网，实验用水均使用外购纯水或等离子水，产生的清洗废水利用塑料桶收集，储存于危险废物暂存间，定期交由 (略) 置。清洗废水严格与生活污水隔离，外排的废水主要为生活污水，废水排放量为 点击查看>> m³/a（0.675m³/d），生活污水经管网 (略) 理出水达到《污水综合排放标准》（DB12/356-2018）三级排放限值后， (略) 房建筑现有污水总排口排入园区污水管网，最 (略) (略) (略) 理。

噪音

本项目噪声源主要为样品搅拌罐、通风橱、样品室送风机、样品室引风机、新送风系统风机中央空调外 (略) 理装置风机等，噪声源强约为70~85dB(A)。本项目产生生产噪声的主要设备 (略) 房内，禁止噪声源直接暴露在室外。本项目在设备选型时应选择低噪声设备；设备安装消声、减振装置，如基础减振垫片等；风机风管采用柔性连接； (略) 于厂房中央，远离边界；营运期加强对设备的维护和保养等。在对产噪设备采取消声、减振措施后，可降噪20dB（A）左右。本项目的噪声控制可以从噪声源控制、噪声传播途径控制和个体防护三方面进行：

（1）噪声源控制：在选购设备时应购置符合国家颁布的各类机械噪声标准的低噪声设备，以保证今后设备投入运行时能符合工业企业车间噪声卫生标准，同时 (略) 界噪声控制值。

（2）噪声传播途径：所有高噪声 (略) ， (略) 界，同时配置减振装置，安装隔声罩，以降低噪声的环境影响。

（3）个体防护：

①生产设备：设备选型时选用符合国家标准的低噪声设备，并采取基础减振、厂房隔声等降噪措施。

②风机：风机选用低噪声设备，采用软接头连接，风机底座安装减振垫，以降低噪声强度；室外风机安装隔声罩。

固体废物

本项目固废产生情况如下：

（1）一般固体废物

①生活垃圾

本项目运营期产生的职工生活垃圾产生量按0.5kg/人?d，本项目定员15人，年工作250天，则生活垃圾产生量为1.875t/a，收集后由城市管理委员会清运。

②一般工业固体废物

本项目一般固体废物主要为废包装物、废晶圆硅片和废掩膜版，不包含废化学试剂瓶及沾染有毒有害化学品的废物。

废包装物主要为包装箱、包装袋等，产生量为??0.05t/a，根据《一般固废分类与代码》（GB/T 点击查看>> -2020，2021-05-01 正式实施），代码为732-001-07，收集后外 (略) 门。

成品光刻胶曝光实验使用的晶圆硅片需定期更换，更换下的废晶圆硅片为一般固体废物，产生量为0.05t/a，根据《一般固废分类与代码》（GB/T 点击查看>> -2020,2021-05-01 正式实施），代码为732-001-99，收集后外 (略) 门。

成品光刻胶曝光实验使用的掩膜版为玻璃制品，每10年需更换一次，更换量为0.0004t，根据《一般固废分类与代码》（GB/T 点击查看>> -2020,2021-05-01 正式实施），代码为732-001-08，收集后外 (略) 门。

（2）危险废物

本项目产生的废活性炭、废过滤网、废化学试剂瓶（桶）、清洗废水、沾染废物、实验废液、清洗废液、废过滤棉等属于危险废物，在危险废物暂存间暂存，定期由有资 (略) 置。

①废活性炭

本项 (略) 理设施运行过程会产生废活性炭，根据建设单位提供的资料，本项目活性炭吸附装置中为蜂窝状活性炭，单个活性炭装置填装量约为700kg，共设置1个活性炭箱。根据《简明通风设计手册》P510中活性炭有效吸附量为qe=0.24kg/kg活性炭，活性炭对有机废气的吸附净化效率为70%，有机废气的产生量为0.2394t/a，收集效率为100%，经活性炭需吸附的有机废气量为 点击查看>> kg/a，所需活性炭最少量= 点击查看>> kg/a÷0.24t/t= 点击查看>> kg/a，本项目拟设置700kg的活性炭箱。为保证废气治理设备正常有效运行，每半年更换1次活性炭，则每年废活性炭产生量=700kg/a×2+ 点击查看>> kg/a=1.6t/a。根据《国家危险废物名录》（2021年版）进行鉴别，废活性炭为危险废物，废物类别为HW49其他废物，废物代码为900-039-49，定期交 (略) 理。

②废过滤网

本项目新送风系统设置过滤器进行过滤，实验及样品制备统设置过滤器进行过滤，过滤器内过滤网定期更换，约每年更换一次，每次更换量合计为0.5t（含滤渣），废物类别为HW49其他废物，废物代码为900-041-49，暂存于危险废物暂存间，定期交 (略) 理。

③废化学试剂瓶（桶）

本项目化学品使用后剩余的废化学试剂瓶（桶）为危险废物，产生量为0.5t/a，废物类别为HW49其他废物，废物代码为900-047-49，暂存于危险废物暂存间，定期交 (略) 理。

④清洗废水

本项目实验仪器、器皿或罐体需利用纯水进行清洗， (略) 作 (略) 置，根据前文计算，本项目清洗废水产生量为1t/a，废物类别为HW49其他废物，废物代码为900-047-49，暂存于危险废物暂存间，定期交 (略) 理。

⑤沾染废物

本项目实验过程会产生一定量的沾染化学试剂的废物，如过滤纸、称量固体的硫酸纸，实验过程一次性手套、擦拭实验器皿的废纸、损坏和报废的玻璃器皿等，产生量为0.1t/a。沾染废物为危险废物，危险废物类别及代码为HW49其他废物900-047-49，暂存于危险废物暂存间，定期交 (略) 理。

⑥实验废液、清洗废液

实验过程不合格中产生的不合格实验品（液态）、检测后的实验品（液态）、废剥离液、废 点击查看>> 酮，产生量分别为0.56t/a、0.14t/a、0.146t/a、1.254t/a，产生总量为2.1t/a，危险废物类别及代码为HW49 其他废物 900-047-49，暂存于危险废物暂存间，定期交 (略) 理。

⑦废过滤棉

本项目样品室排风口设置过滤棉进行废气过滤，一年更换一次，更换量为0.1t，危险废物类别及代码为HW49 其他废物 900-041-49，暂存于危险废物暂存间，定期交 (略) 理。

无

2022年04月19日—2022年04月24日