武汉新芯集成电路制造有限公司新增离子注入机应用项目湖北省武汉市东湖新技术开发区高新四路18号

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武汉新芯集成电路制造有限公司新增离子注入机应用项目湖北省武汉市东湖新技术开发区高新四路18号

建设项目环境影响登记表

填表日期:2022-04-29

武汉 (略) (略) 新增离子注入机应用项目
湖北省武汉市东湖新技术开 (略) (略) 点击查看>>
武汉 (略) (略) 杨道虹
陈婉娟181点击查看>>*9423
点击查看>> 200
2022-04-30
扩建
一、建设内容在FAB 12a离子注入区新增离子注入机二、建设规模使用VIISta 900XPT型离子注入机台(数量2台,最大管电压900kv,最大管电流175A)使用VIISta HCS型离子注入机台(数量3台,最大管电压60kv,最大管电流175A)
辐射环境影响环保措施:
一、污染防治措施1.警示标识:射线 (略) 设置电离辐射警示标志及中文警示说明,并且机台 (略) 指示灯。2.屏蔽防护措施:为了防治工作人员的误操作或者由于机器控制失灵而造成辐射工作人员遭受意外辐射危害,本项目机台为一体化自屏蔽设备,设备本身设置有紧急制动装置和门机联锁。紧急制动装置在紧急情况下由操作员按下,能立即切断电源;门机联锁,设备运行过程中一旦打开设备屏蔽门,设备将自动停止运行。3.防护用品和检测仪器:公司为辐射操作人员配备个人剂量计并定期进行检测;公司备有辐射检测仪,定期对 (略) 进行监测。二、安全管理措施1.有专职管理人员负责辐射安全管理2.规章制度:操作规程、岗位职责、辐射防护和安全管理制度、设备检修维护制度、人员培训计划、监测计划。3.制定辐射事故应急方案,并定期开展演习。4.个人剂量计检定、个人剂量计档案,职业健康体检、个人健康档案。5.组织辐射操作人员参加政府组织的辐射安全与防护知识培训及考核。

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填表日期:2022-04-29

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扩建
一、建设内容在FAB 12a离子注入区新增离子注入机二、建设规模使用VIISta 900XPT型离子注入机台(数量2台,最大管电压900kv,最大管电流175A)使用VIISta HCS型离子注入机台(数量3台,最大管电压60kv,最大管电流175A)
辐射环境影响环保措施:
一、污染防治措施1.警示标识:射线 (略) 设置电离辐射警示标志及中文警示说明,并且机台 (略) 指示灯。2.屏蔽防护措施:为了防治工作人员的误操作或者由于机器控制失灵而造成辐射工作人员遭受意外辐射危害,本项目机台为一体化自屏蔽设备,设备本身设置有紧急制动装置和门机联锁。紧急制动装置在紧急情况下由操作员按下,能立即切断电源;门机联锁,设备运行过程中一旦打开设备屏蔽门,设备将自动停止运行。3.防护用品和检测仪器:公司为辐射操作人员配备个人剂量计并定期进行检测;公司备有辐射检测仪,定期对 (略) 进行监测。二、安全管理措施1.有专职管理人员负责辐射安全管理2.规章制度:操作规程、岗位职责、辐射防护和安全管理制度、设备检修维护制度、人员培训计划、监测计划。3.制定辐射事故应急方案,并定期开展演习。4.个人剂量计检定、个人剂量计档案,职业健康体检、个人健康档案。5.组织辐射操作人员参加政府组织的辐射安全与防护知识培训及考核。
    
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