(1)废气 拟建项目运营期间产生的废气主要为酸雾废气(G1、G3、G6、G12)、扩散废气(G2/5)、LPCVD废气(G4)、ALD镀膜废气(G7)、PECVD镀膜尾气(G8/9)印制废气、烧结废气(G10/11)、印制残次品擦拭废气(G13)。 其中制绒酸雾废气(G1)和返工片清洗(G12-1/2)经由10台 (略) 理后排气筒排放;背面刻蚀酸雾废气(G3)经由10台 (略) 理后经由DA003排气筒排放;正面刻蚀酸雾废气(G6)经12台 (略) 理后尾气经由DA006排气筒排放。 工作状态下硼扩机台为全密闭状态,内部产生的硼扩废气经换气系统与石英舟清洗(G12-3/4)清洗废气一起经由4台 (略) 理后,经由25m高排气筒有组织排放, (略) 为DA002。 工作状态下,LP (略) 于密闭装置,工作过程中通入过量的SiH4,未参与反应的多余的SiH (略) 换排气系统引入LP (略) 理装置,LP (略) 理装置由33个燃烧筒+4个袋式除尘器+8台硅烷燃烧塔+2台洗涤塔组成, (略) (略) 理后,产生的颗粒物(SiO2)经由25m高排气筒排放, (略) 为DA004。 工作状态下磷扩机台为全密闭状态,内部产生的磷扩废气经换气系统与石墨舟清洗废气(G12-5)引至6台 (略) 理后,经由25m高排气筒有组织排放, (略) 为DA005。 工作状态下ALD机台为密闭状态,未参与反应的多余的TM (略) 换排气系统收集汇集与未参与反应正面镀膜尾气(SiH4、NH3、N2O)一起引入正 (略) 理装置, (略) 理装置由42台燃烧筒+3台袋式除尘器+11台硅烷燃烧塔+3台酸液洗涤塔组成。其中TMA、SiH4易燃,通过燃烧筒、 (略) 理后,能实现完全燃烧,燃烧产生Al2O3、SiO2颗粒物,通过袋式除尘器和 (略) 理,颗粒物去除效率≥99%,NH3通过酸液 (略) 理后,去除效率≥95%。处理后的ALD尾气和镀膜尾气合并后经由25m高排气筒有组织排放, (略) 为DA007。 工作状态下位于密闭的背面PECVD镀膜机台内,背面镀膜中未参与反应的多余的SiH4、NH3、N2 (略) 换排气系统引 (略) 理装置, (略) 理装置由26台燃烧筒+2台袋式除尘器+6台硅烷燃烧塔+2台酸液洗涤塔组成,处理后由DA008排气筒排放。 印刷机和烧结机内设置观察窗和进出料口, (略) 采用负压收集,印制烧结废气和残次品擦拭产生的有机废气经由设备自带在线燃烧装置+活性 (略) 理后经25m高排气筒排放, (略) 为DA009。 (略) 、 (略) 中硅烷和液氨换气过程中产生的尾气引至 (略) 理,喷淋塔采用稀酸溶液喷淋,处理后尾气经由DA0010排气筒排放。 (略) 理站废气经加盖密闭收集后经二级喷淋塔(酸液/碱液组合喷淋塔)处理后经由DA011排气筒排放。 锅炉采用天然气为能源,天然气燃烧废气经由15m高DA012排气筒排放。 食堂油烟经油 (略) 理后经引至顶楼排放。 上述 (略) 理后可达到《电池工业污染物排放标准》(GB 点击查看>> -2013)表5中的排放标准要求;氨、硫化氢够达到《恶臭污染物排放标准》(GB 点击查看>> -93)排放限值要求;天然气燃烧废气排放满足《锅炉大气污染物排放标准》(GB 点击查看>> -2014)表3中特别排放限值标准,其中氮氧化物满足《滁州市锅炉及工业炉窑综合整治工作方案》(滁大气办【2019】 (略) 文)中排放浓度不高于50mg/m3的要求。食堂油烟排放能够满足《饮食业油烟排放标准(试行)》(GB 点击查看>> -2001)标准要求。 (2)废水 本项目的排水主要有生产工艺废水及辅材清洗废水、废气洗涤塔废水、纯水制备废水、循环冷却水排放废水、锅炉排污水、职工生活污水。其中:工艺废水(除稀碱废水)和废气治理过程中产生的强碱废水 (略) 理后、工艺稀碱废水 (略) 理后, (略) 理装置产生的高氨废水与生活污水 (略) 理后与纯水制备浓水、循环冷却水系统定排水和锅炉排污水一起排入市政污水管网接入来安县顶汊省际毗邻地区 (略) (略) 理,处理达标后排入滁河。项目COD、SS、总磷、氨氮、总氮、氟离子等污染物排放满足《电池工业污染物排放标准》(GB 点击查看>> -2013)表2间接排放限值。 (3)噪声 营运期, (略) 界噪声执行《 (略) 界环境噪声排放标准》(GB 点击查看>> -2008)标准中3类标准 (4)固体废弃物 项目固体废弃物主要为一般包装物、反渗透、 (略) 理膜、污泥、尘渣、废石墨、石英舟、废品硅片、沾染银浆的擦拭抹布、废丝网、化学品包装桶、废活性炭废、抹布手套和生活垃圾。一般包装物、反渗透、 (略) 理膜外售综合利用;污泥委 (略) 置;尘渣、废石墨、石英舟外售综合利用;废品硅片、沾染银浆的 (略) 回收再利用; (略) 家回收。化学品包装桶、废活性炭废、抹布手套为危险废物收集后暂存于危险废物暂存间,化学品 (略) 家回收,废活性炭废、抹布手套定期委托具有相关资质的专 (略) (略) 理。生活垃圾集中收集后交 (略) 门定期统一清运。 |