建设地点：北京经济技术开 (略) 28 号 8 幢
公示时间：2022-06-17至2022-06-23
受理时间：2022-06-17
项目概况：北京屹唐半 (略) 成立于2015年，企业现状主要生产半导体刻蚀，去胶、快速退火设备，生产过程主要为外协加 (略) 件，厂区内进行手工组装。另外，企业现状还进行半导体生产新设备的研发。企业研发过程中，实验室需对研发的半导体生产设备加工的晶圆进行相应检测，以判定半导 (略) 能达到的工艺水平。其中一种检测工艺为对晶圆上通过加工形成的膜的情况进行检测，企业现状仅采用膜厚仪测定膜厚度，但随着企业研发与世界先进水平接轨，仅使用膜厚仪无法判断晶圆上膜的品质， (略) 采用的验证方法不同，从而无法比对试验研发结果。因此，为保证试验数据的可对比性，企业拟购置酸碱清洗机，通过规定时间内氢氟酸洗掉的晶圆上膜的厚度，来判定膜的品质，从而与国外的研发数据进行比对。因此，企业在北京经济技术开 (略) (略) 8幢建设12寸晶圆酸碱清洗项目， (略) 在建筑产权属北京 (略) 所有，房屋用途为工业。
行政相对人名称：北京屹唐半 (略)
联系人：杨永政
联系电话： 点击查看>>
(略) 门：北京经济技术开发 (略)
邮政编码： 点击查看>>
邮寄地址： (略) (略) 5层
传真电话： 点击查看>>
设定依据：1、《中华人民共和国环境保护法》第十九条、第四十一条、第六十一条、第六十三条。2、《中华人民共和国环境影响评价法》第二十二条、第二十三条、第二十四条、第二十五条。3、《中华人民共和国大气污染防治法》第十八条、第二十二条。4、《中华人民共和国水污染防治法》第十九条。5、《中华人民共和国环境噪声污染防治法》第十三条。6、《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》第十三条、第十四条。7、《中华人民共和国放射性污染防治法》第二十九条。8、《建设项目环境保护管理条例》第六条。

建设地点：北京经济技术开 (略) 28 号 8 幢
公示时间：2022-06-17至2022-06-23
受理时间：2022-06-17
项目概况：北京屹唐半 (略) 成立于2015年，企业现状主要生产半导体刻蚀，去胶、快速退火设备，生产过程主要为外协加 (略) 件，厂区内进行手工组装。另外，企业现状还进行半导体生产新设备的研发。企业研发过程中，实验室需对研发的半导体生产设备加工的晶圆进行相应检测，以判定半导 (略) 能达到的工艺水平。其中一种检测工艺为对晶圆上通过加工形成的膜的情况进行检测，企业现状仅采用膜厚仪测定膜厚度，但随着企业研发与世界先进水平接轨，仅使用膜厚仪无法判断晶圆上膜的品质， (略) 采用的验证方法不同，从而无法比对试验研发结果。因此，为保证试验数据的可对比性，企业拟购置酸碱清洗机，通过规定时间内氢氟酸洗掉的晶圆上膜的厚度，来判定膜的品质，从而与国外的研发数据进行比对。因此，企业在北京经济技术开 (略) (略) 8幢建设12寸晶圆酸碱清洗项目， (略) 在建筑产权属北京 (略) 所有，房屋用途为工业。
行政相对人名称：北京屹唐半 (略)
联系人：杨永政
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(略) 门：北京经济技术开发 (略)
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邮寄地址： (略) (略) 5层
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设定依据：1、《中华人民共和国环境保护法》第十九条、第四十一条、第六十一条、第六十三条。2、《中华人民共和国环境影响评价法》第二十二条、第二十三条、第二十四条、第二十五条。3、《中华人民共和国大气污染防治法》第十八条、第二十二条。4、《中华人民共和国水污染防治法》第十九条。5、《中华人民共和国环境噪声污染防治法》第十三条。6、《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》第十三条、第十四条。7、《中华人民共和国放射性污染防治法》第二十九条。8、《建设项目环境保护管理条例》第六条。