润西微电子(重庆)有限公司离子注(植)入装置、X射线荧光仪、X射线检测装置应用项目重庆市直辖市高新区西永大道25号

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润西微电子(重庆)有限公司离子注(植)入装置、X射线荧光仪、X射线检测装置应用项目重庆市直辖市高新区西永大道25号

建设项目环境影响登记表

填表日期:2022-07-04

润西微电子(重庆)有限公司离子注(植)入装置、X射线荧光仪、X射线检测装置应用项目
重庆市直辖市高新区西 (略) 点击查看>>
润西微电子(重庆)有限公司李虹
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2022-09-01
新建
一、建设内容生产线和实验室使用离子注入装置、X 射线荧光分析仪、X射线检测装置(测厚、测孔径、测密度)。二、建设规模1、使用MEHD2 型中束流离子注入装置(最大管电压220kV,最大管电流10mA,数量1台);2、使用CIP900HP 型中束流离子注入装置(最大管电压300kV,最大管电流10mA,数量1 台);3、使用HCS型大束流离子注入装置(最大管电压60kV,最大管电流20mA,数量1 台);4、使用3000XP 型高能离子注入装置(最大管电压700kV,最大管电流2mA,数量1 台);5、使用wafer X310型X射线荧光分析仪(最大管电压40kV,最大管电流80mA,数量1 台);6、使用SEM 8220型X射线检测装置(最大管电压40kV,最大管电流63mA,数量1 台)7、使用FIB Helios 5 CX型X射线检测装置(最大管电压30kV,最大管电流30mA,数量1 台)8、使用TEM Talos F200X型X射线检测装置(最大管电压200kV,最大管电流 点击查看>> mA,数量1 台)。射线装置具体使用位置:测厚仪使用地点位于离子注入装置、X 射线荧光分析仪位于A栋三楼生产线东侧Bay11及Bay19,荧光分析仪使用地点位于A栋1楼实验室内。
辐射环境影响环保措施:
环保措施:一、污染防治措施1、警示标识:公司X 射线 (略) 设置电离辐射警示标志及中文警示说明,并且安装工作警示灯,设备工作时开启警示灯,告诫无关人员勿靠近照射场地。2、屏蔽防护措施:设备X射线均产 (略) ,机台外壳内嵌铅板,防止X射线外泄危害作业人员生命安全。离子注入装置前方安装辐射检测计(dose badge)定期送往检测辐射超标与否。发现故障时,射线装置断电,再由专业的维修和检测人员进入检查。3、防护用品和监测仪器:公司为23名辐射工作人员配备个人剂量计,配备1 台辐射监测仪。二、安全管理措施1、有专职管理人员负责辐射安全管理。2、规章制度:操作规程、岗位职责、辐射防护和安全保卫制度、设备检修维护制度、射线装置使用登记制度、人员培训计划、监测方案。3、辐射事故应急措施。4、个人剂量检定、个人剂量档案、职业健康体检、个人健康档案。5、23人参加辐射安全和防护知识培训。

建设项目环境影响登记表

填表日期:2022-07-04

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2022-09-01
新建
一、建设内容生产线和实验室使用离子注入装置、X 射线荧光分析仪、X射线检测装置(测厚、测孔径、测密度)。二、建设规模1、使用MEHD2 型中束流离子注入装置(最大管电压220kV,最大管电流10mA,数量1台);2、使用CIP900HP 型中束流离子注入装置(最大管电压300kV,最大管电流10mA,数量1 台);3、使用HCS型大束流离子注入装置(最大管电压60kV,最大管电流20mA,数量1 台);4、使用3000XP 型高能离子注入装置(最大管电压700kV,最大管电流2mA,数量1 台);5、使用wafer X310型X射线荧光分析仪(最大管电压40kV,最大管电流80mA,数量1 台);6、使用SEM 8220型X射线检测装置(最大管电压40kV,最大管电流63mA,数量1 台)7、使用FIB Helios 5 CX型X射线检测装置(最大管电压30kV,最大管电流30mA,数量1 台)8、使用TEM Talos F200X型X射线检测装置(最大管电压200kV,最大管电流 点击查看>> mA,数量1 台)。射线装置具体使用位置:测厚仪使用地点位于离子注入装置、X 射线荧光分析仪位于A栋三楼生产线东侧Bay11及Bay19,荧光分析仪使用地点位于A栋1楼实验室内。
辐射环境影响环保措施:
环保措施:一、污染防治措施1、警示标识:公司X 射线 (略) 设置电离辐射警示标志及中文警示说明,并且安装工作警示灯,设备工作时开启警示灯,告诫无关人员勿靠近照射场地。2、屏蔽防护措施:设备X射线均产 (略) ,机台外壳内嵌铅板,防止X射线外泄危害作业人员生命安全。离子注入装置前方安装辐射检测计(dose badge)定期送往检测辐射超标与否。发现故障时,射线装置断电,再由专业的维修和检测人员进入检查。3、防护用品和监测仪器:公司为23名辐射工作人员配备个人剂量计,配备1 台辐射监测仪。二、安全管理措施1、有专职管理人员负责辐射安全管理。2、规章制度:操作规程、岗位职责、辐射防护和安全保卫制度、设备检修维护制度、射线装置使用登记制度、人员培训计划、监测方案。3、辐射事故应急措施。4、个人剂量检定、个人剂量档案、职业健康体检、个人健康档案。5、23人参加辐射安全和防护知识培训。
    
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