根据建设项目环境影响评价审批程序的有关规定，经审查，我局拟对绵阳 (略) 绵阳惠科第8.6代薄膜晶体管液晶显示器件210K技改扩能项目环境影响报告书作出审批意见。为保证此次审查工作的严肃性和公正性，现将拟作出审批意见的环境影响评价文件基本情况予以公示，公示期为2022年7月18日－2022年7月22日（5个工作日）。

一、项目名称：绵阳惠科第8.6代薄膜晶体管液晶显示器件210K技改扩能项目

二、建设地点：绵阳市涪城区

三、建设单位：绵阳 (略)

四、环境影响评价机构：信息产业电子第十 (略) (略)

五、项目概况：绵阳 (略) 位于涪城区高端装备产业园，于2018年实施了惠科第8.6代薄膜晶体管液晶显示器件项目（川环审批〔2018〕 (略) ），后因工艺调整，于2021年对项目进行了重新报批（绵环审批〔2021〕 (略) 、自主验收），为适应不断发展的市场需求，企业拟实施绵阳惠科第8.6代薄膜晶体管液晶显示器件210K技改扩能项目，主要建设内容为：①购置化学气相成膜机、阵列涂布机、干法蚀刻机、液晶滴注等设备，新建洁净车间布置成盒工程液晶滴注工序；②现有产线新增MoNb（钼铌）靶材及对应蚀刻液使用； (略) IGZO（铟镓锌氧化物）蚀刻液变更为草酸（2~4%）、IGZO层光刻胶剥离液成分变更为二 点击查看>> 二醇 点击查看>> 醚（40-60%）、有机醇胺（5-15%）；④新增PFA光阻使用于在α-Si阵列工程钝化层后增加有机平坦层以提高产品性能；⑤依托阵列工程相关设备进行银制程研发试验；⑥配 (略) 理设施、适应 (略) 理系统，其余公辅设施均依托现有。建成后，年产能将由原月投12万玻璃基板（尺寸2250mm*2600mm）生产能力提升为月投21万片玻璃基板（尺寸2250mm*2600mm）。

项目总投资 点击查看>> 万元，环保投资1000万元。

六、主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

（一）项目施工期各项环境保护措施：严格落实项目施工期各项环境保护措施。企业应按照国家、四川省及绵阳市大气污染防治的有关规定及报告表提出的要求，控制和减小施工扬尘污染，废气须满足《四川省施工场地扬尘排放标准》（DB51/2682-2020）要求；合理安排施工时间，控制施工噪声，确保噪声不扰民；施工废水经隔油、沉淀后循环使用，施工期生活污水依 (略) 理；施工弃渣及时清运到当 (略) 门指定场地，不得随意倾倒和堆放。

（二）项目营运期水污染防治措施：项目废水分类收集、 (略) 理。含氟废水 (略) (略) 理后，部分废水经专用排口排 (略) 处理， (略) 分进入工艺 (略) (略) 理后回用；TMAH显影废 (略) (略) 理后再进入有机废 (略) 理，清水回用制备纯水，浓水排入不可回 (略) (略) 理；蚀刻废水（含氟、含锌、含铜、含银）、 ITO 工序回用废水、酸性废气、NOx废气洗涤塔排水、再生酸碱废水进入含铜（氟） (略) (略) 理后再进 (略) (略) 理，最终排 (略) 理厂；剥离废水、低酸碱废水、有机废水（显影清洗废水、成盒工程前清洗、溶剂回收系统排水等）进 (略) (略) 理后再进入有机废 (略) 理；彩膜染料废水与再生酸碱废水进 (略) (略) 理后再进入有 (略) (略) 理；研磨废水及再生冲洗回收水 (略) (略) 理后进入初级纯水制备系统；清洗机产生的低酸碱废水进 (略) (略) 理，高酸碱废水、ITO蚀刻废水均进 (略) (略) 理后再进 (略) (略) 理；碱性废气酸洗塔排水进入不可回 (略) (略) 理后再进 (略) (略) 理；纯水制备RO浓水进入中水系统回用，纯水制备反洗废水进 (略) (略) 理回用；循环冷却塔排污水、W12 锅炉排污水等进入最 (略) 理；生活区生活污水经隔油池+ (略) 理后排 (略) (略) 理。 (略) 外排废水须达《电子工业水污染物排放标准》（GB 点击查看>> -2020）间接排放标准（其中氟化物达到1.5mg/L，镍 (略) 理系统出口达到0.5mg/L，总银 (略) 达标）、其他未列明指标须满足《污水综合排放标准》（GB 8978-1996）中三级标准后排 (略) (略) 理达标后排入涪江。

（三）项目营运期大气污染防治措施： (略) 房及设备均密闭。玻璃水洗后干燥废气、PVD溅射废氮氩保护气通过车间换气系统排放；涂胶、清边、曝光、烘烤、固化、PI配向、溶剂清洗等工序产生的有机废气经“沸石转轮+RTO焚烧”处理后通过50米高排气筒排放；显影工序产生的碱性废气经 (略) 理后通过50米高排气筒排放；剥离、成盒有机清洗产生的有机废气经“冷凝+酸性喷淋塔”处理后通过50米高排气筒排放；湿法蚀刻酸性废气与干法蚀刻酸性废气（等离子 (略) 理后）经“氧化+还原”碱洗后一并进入中央酸性 (略) 理后通过50米高排气筒排放；化学气相沉积废气经“高温燃烧氧化+脉冲滤筒除尘”处理后经“氧化+还原”碱洗后再经 (略) 理后通过50米高排气筒排放；溶剂回收产生的精馏不凝气经 (略) 理后通过50米高排气筒排放； (略) 蒸汽锅炉废气经15米高排气筒排放， (略) 热水锅炉经18米高排气筒排放； (略) 理站废气、污泥干化废气、废光阻包 (略) 置废气采用“稀硫酸喷淋+NaOH+NaClO喷淋洗涤”处理后经29米高排气筒排放；食堂油烟经 (略) 理后，由专用烟道屋顶排放；上述排放废气，有机废气须满足《四川省固定污染源大气挥发性有机物物排放标准》（DB51/2377-2017）有组织及无组织排放限值要求，锅炉废气须满足《锅炉大气污染物排放标准》（GB 点击查看>> -2014）排放限值，恶臭废气须满足《恶臭污染物排放标准》（GB 点击查看>> -93）排放限值要求，其它废气须满足《大气污染物综合排放标准》（GB 点击查看>> -1996）二级标准要求；项目须按照《挥发性有机物无组织排放控制标准》(GB 点击查看>> —2019)要求，加强储罐、物料转移和输送、工艺过程、 (略) 理过程的管控，减少无组织废气的产生，厂内有机废气须满足标准中无组织排放限值要求，根据项目无组织废气排放情况，按报告书核算，以化学品存储区、 (略) 、 (略) 理站边界划定50米卫生防护距离，此距离未超过原工程已划定的卫生防护距离范围。

（四）项目营运期噪声污染防治措施:企 (略) 管理， (略) ，离心风机、冷水机组、空压机、冷却塔、各类泵等高噪声设备须采取隔声、减震等措施， (略) 界噪声值达到《 (略) 界环境噪声排放标准》（GB 点击查看>> -2008）3类标准限值。

（五）项目营运 (略) 置措施:废靶材、废玻璃、含氟无重金属污泥、玻 (略) 理污泥、有机污泥、废过滤材料、其他包装材料等一般工业 (略) (略) 理；铜剥离液、水性剥离液、PGMEA废液、溶剂精馏残渣（液）、废光刻胶（含PGMEA）、NMP、IPA废液、杂排废液、CF-rework废液、ITO蚀刻废液、含银蚀刻废液、 (略) 板、废树脂、含汞灯管、CVD粉尘、废机油、沾染化学品包装桶、沾染化学品废弃物、含铜污泥、TMAH阵列显影废液、实验室废液等危险废物分类收集暂 (略) (略) 理，危废间要严格按照《危险废物贮存污染控制标准》要求，做好防雨、防渗、防流失等标准化建设；你单位应严格按照国家相关要求，建立完善的危废管理台帐，在危险废物转运过程中，委托持有危险废物运输资质的车辆进行运输，严格执行危险废物转移联单制度。生活办公垃 (略) 门清运、处置。

（六）项目地下水污染防治措施：严格做好分区防渗工作。主厂房废液、收集罐区、冷藏库及化学品仓、 (略) 理站、危废间、柴油罐区、 (略) 等重点区域须采取可靠、有效的防渗措施，并按要求设置地下水监测井，制定地下水污染应急预案，避免污染地下水及土壤。

（七）项目以新带老措施：落实报告表提出的以新带老措施：①规划待 (略) 的精馏不凝气由“水喷淋吸收+15米高排气筒排放”调整为“接入剥离废气稀硫酸喷淋系统，经50米高剥离废气排气筒排放”； (略) 理 (略) 理系统新接 (略) 理废气和光阻胶废包装桶拆解压缩废气。

（八）项目环境风险防范措施：你单位须严格落实安全措施确保安全生产，采用有效的监控手段对整个生产过程进行全面监控，建立有效的应急预案和采取可靠的防范措施，防止因事故导致的环境污染；加强原辅材料（特别是各类化学品，主要有ITO/IGZO刻蚀液、铜蚀刻液、MTD（钼、钛）蚀刻液、 点击查看>> 酮、氨气、磷烷、氯气、笑气、硅烷、四氟 点击查看>> 烷、硫酸、磷酸、显影剂、稀释剂等）的输运、储存以及使用措施；落实并不断优化企业环境风险应急预案，加强对各项环保设施的运行及维护管理，关 (略) 件配备足够的备用件，确保其稳定、正常运行，避免事故性排放；全厂化学品、废水收集和截断系统，确保泄漏物和应急废水不外排进入地表水；发生事故后，立即实施应急监测，并按应急预案要求及 (略) 门，通知紧邻企业并对预测出的影响范围内的人群实施紧急疏散，确保人群安全。

（九）你单位应按照规范要求，建立企业监测制度，制定监测方案（土壤、地下水、废水、废气等），对污染物排放状况及其对周边环境质量的影响开展自行监测。

七、 (略) 门意见：

根据《产业结构调整指导目录》（2019年本），项目为鼓励类。涪城区工 (略) 具文（川投资备[2108- 点击查看>> -07-02- 点击查看>> ]JXQB- (略) 、川投资备[2106- 点击查看>> -07-02- 点击查看>> ]JXQB- (略) ）同意项目建设，项目符合国家现行产业政策。

项目符合绵阳“三线一单”现行各环境管控单元要求。

根据建设项目环境影响评价审批程序的有关规定，经审查，我局拟对绵阳 (略) 绵阳惠科第8.6代薄膜晶体管液晶显示器件210K技改扩能项目环境影响报告书作出审批意见。为保证此次审查工作的严肃性和公正性，现将拟作出审批意见的环境影响评价文件基本情况予以公示，公示期为2022年7月18日－2022年7月22日（5个工作日）。

一、项目名称：绵阳惠科第8.6代薄膜晶体管液晶显示器件210K技改扩能项目

二、建设地点：绵阳市涪城区

三、建设单位：绵阳 (略)

四、环境影响评价机构：信息产业电子第十 (略) (略)

五、项目概况：绵阳 (略) 位于涪城区高端装备产业园，于2018年实施了惠科第8.6代薄膜晶体管液晶显示器件项目（川环审批〔2018〕 (略) ），后因工艺调整，于2021年对项目进行了重新报批（绵环审批〔2021〕 (略) 、自主验收），为适应不断发展的市场需求，企业拟实施绵阳惠科第8.6代薄膜晶体管液晶显示器件210K技改扩能项目，主要建设内容为：①购置化学气相成膜机、阵列涂布机、干法蚀刻机、液晶滴注等设备，新建洁净车间布置成盒工程液晶滴注工序；②现有产线新增MoNb（钼铌）靶材及对应蚀刻液使用； (略) IGZO（铟镓锌氧化物）蚀刻液变更为草酸（2~4%）、IGZO层光刻胶剥离液成分变更为二 点击查看>> 二醇 点击查看>> 醚（40-60%）、有机醇胺（5-15%）；④新增PFA光阻使用于在α-Si阵列工程钝化层后增加有机平坦层以提高产品性能；⑤依托阵列工程相关设备进行银制程研发试验；⑥配 (略) 理设施、适应 (略) 理系统，其余公辅设施均依托现有。建成后，年产能将由原月投12万玻璃基板（尺寸2250mm*2600mm）生产能力提升为月投21万片玻璃基板（尺寸2250mm*2600mm）。

项目总投资 点击查看>> 万元，环保投资1000万元。

六、主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

（一）项目施工期各项环境保护措施：严格落实项目施工期各项环境保护措施。企业应按照国家、四川省及绵阳市大气污染防治的有关规定及报告表提出的要求，控制和减小施工扬尘污染，废气须满足《四川省施工场地扬尘排放标准》（DB51/2682-2020）要求；合理安排施工时间，控制施工噪声，确保噪声不扰民；施工废水经隔油、沉淀后循环使用，施工期生活污水依 (略) 理；施工弃渣及时清运到当 (略) 门指定场地，不得随意倾倒和堆放。

（二）项目营运期水污染防治措施：项目废水分类收集、 (略) 理。含氟废水 (略) (略) 理后，部分废水经专用排口排 (略) 处理， (略) 分进入工艺 (略) (略) 理后回用；TMAH显影废 (略) (略) 理后再进入有机废 (略) 理，清水回用制备纯水，浓水排入不可回 (略) (略) 理；蚀刻废水（含氟、含锌、含铜、含银）、 ITO 工序回用废水、酸性废气、NOx废气洗涤塔排水、再生酸碱废水进入含铜（氟） (略) (略) 理后再进 (略) (略) 理，最终排 (略) 理厂；剥离废水、低酸碱废水、有机废水（显影清洗废水、成盒工程前清洗、溶剂回收系统排水等）进 (略) (略) 理后再进入有机废 (略) 理；彩膜染料废水与再生酸碱废水进 (略) (略) 理后再进入有 (略) (略) 理；研磨废水及再生冲洗回收水 (略) (略) 理后进入初级纯水制备系统；清洗机产生的低酸碱废水进 (略) (略) 理，高酸碱废水、ITO蚀刻废水均进 (略) (略) 理后再进 (略) (略) 理；碱性废气酸洗塔排水进入不可回 (略) (略) 理后再进 (略) (略) 理；纯水制备RO浓水进入中水系统回用，纯水制备反洗废水进 (略) (略) 理回用；循环冷却塔排污水、W12 锅炉排污水等进入最 (略) 理；生活区生活污水经隔油池+ (略) 理后排 (略) (略) 理。 (略) 外排废水须达《电子工业水污染物排放标准》（GB 点击查看>> -2020）间接排放标准（其中氟化物达到1.5mg/L，镍 (略) 理系统出口达到0.5mg/L，总银 (略) 达标）、其他未列明指标须满足《污水综合排放标准》（GB 8978-1996）中三级标准后排 (略) (略) 理达标后排入涪江。

（三）项目营运期大气污染防治措施： (略) 房及设备均密闭。玻璃水洗后干燥废气、PVD溅射废氮氩保护气通过车间换气系统排放；涂胶、清边、曝光、烘烤、固化、PI配向、溶剂清洗等工序产生的有机废气经“沸石转轮+RTO焚烧”处理后通过50米高排气筒排放；显影工序产生的碱性废气经 (略) 理后通过50米高排气筒排放；剥离、成盒有机清洗产生的有机废气经“冷凝+酸性喷淋塔”处理后通过50米高排气筒排放；湿法蚀刻酸性废气与干法蚀刻酸性废气（等离子 (略) 理后）经“氧化+还原”碱洗后一并进入中央酸性 (略) 理后通过50米高排气筒排放；化学气相沉积废气经“高温燃烧氧化+脉冲滤筒除尘”处理后经“氧化+还原”碱洗后再经 (略) 理后通过50米高排气筒排放；溶剂回收产生的精馏不凝气经 (略) 理后通过50米高排气筒排放； (略) 蒸汽锅炉废气经15米高排气筒排放， (略) 热水锅炉经18米高排气筒排放； (略) 理站废气、污泥干化废气、废光阻包 (略) 置废气采用“稀硫酸喷淋+NaOH+NaClO喷淋洗涤”处理后经29米高排气筒排放；食堂油烟经 (略) 理后，由专用烟道屋顶排放；上述排放废气，有机废气须满足《四川省固定污染源大气挥发性有机物物排放标准》（DB51/2377-2017）有组织及无组织排放限值要求，锅炉废气须满足《锅炉大气污染物排放标准》（GB 点击查看>> -2014）排放限值，恶臭废气须满足《恶臭污染物排放标准》（GB 点击查看>> -93）排放限值要求，其它废气须满足《大气污染物综合排放标准》（GB 点击查看>> -1996）二级标准要求；项目须按照《挥发性有机物无组织排放控制标准》(GB 点击查看>> —2019)要求，加强储罐、物料转移和输送、工艺过程、 (略) 理过程的管控，减少无组织废气的产生，厂内有机废气须满足标准中无组织排放限值要求，根据项目无组织废气排放情况，按报告书核算，以化学品存储区、 (略) 、 (略) 理站边界划定50米卫生防护距离，此距离未超过原工程已划定的卫生防护距离范围。

（四）项目营运期噪声污染防治措施:企 (略) 管理， (略) ，离心风机、冷水机组、空压机、冷却塔、各类泵等高噪声设备须采取隔声、减震等措施， (略) 界噪声值达到《 (略) 界环境噪声排放标准》（GB 点击查看>> -2008）3类标准限值。

（五）项目营运 (略) 置措施:废靶材、废玻璃、含氟无重金属污泥、玻 (略) 理污泥、有机污泥、废过滤材料、其他包装材料等一般工业 (略) (略) 理；铜剥离液、水性剥离液、PGMEA废液、溶剂精馏残渣（液）、废光刻胶（含PGMEA）、NMP、IPA废液、杂排废液、CF-rework废液、ITO蚀刻废液、含银蚀刻废液、 (略) 板、废树脂、含汞灯管、CVD粉尘、废机油、沾染化学品包装桶、沾染化学品废弃物、含铜污泥、TMAH阵列显影废液、实验室废液等危险废物分类收集暂 (略) (略) 理，危废间要严格按照《危险废物贮存污染控制标准》要求，做好防雨、防渗、防流失等标准化建设；你单位应严格按照国家相关要求，建立完善的危废管理台帐，在危险废物转运过程中，委托持有危险废物运输资质的车辆进行运输，严格执行危险废物转移联单制度。生活办公垃 (略) 门清运、处置。

（六）项目地下水污染防治措施：严格做好分区防渗工作。主厂房废液、收集罐区、冷藏库及化学品仓、 (略) 理站、危废间、柴油罐区、 (略) 等重点区域须采取可靠、有效的防渗措施，并按要求设置地下水监测井，制定地下水污染应急预案，避免污染地下水及土壤。

（七）项目以新带老措施：落实报告表提出的以新带老措施：①规划待 (略) 的精馏不凝气由“水喷淋吸收+15米高排气筒排放”调整为“接入剥离废气稀硫酸喷淋系统，经50米高剥离废气排气筒排放”； (略) 理 (略) 理系统新接 (略) 理废气和光阻胶废包装桶拆解压缩废气。

（八）项目环境风险防范措施：你单位须严格落实安全措施确保安全生产，采用有效的监控手段对整个生产过程进行全面监控，建立有效的应急预案和采取可靠的防范措施，防止因事故导致的环境污染；加强原辅材料（特别是各类化学品，主要有ITO/IGZO刻蚀液、铜蚀刻液、MTD（钼、钛）蚀刻液、 点击查看>> 酮、氨气、磷烷、氯气、笑气、硅烷、四氟 点击查看>> 烷、硫酸、磷酸、显影剂、稀释剂等）的输运、储存以及使用措施；落实并不断优化企业环境风险应急预案，加强对各项环保设施的运行及维护管理，关 (略) 件配备足够的备用件，确保其稳定、正常运行，避免事故性排放；全厂化学品、废水收集和截断系统，确保泄漏物和应急废水不外排进入地表水；发生事故后，立即实施应急监测，并按应急预案要求及 (略) 门，通知紧邻企业并对预测出的影响范围内的人群实施紧急疏散，确保人群安全。

（九）你单位应按照规范要求，建立企业监测制度，制定监测方案（土壤、地下水、废水、废气等），对污染物排放状况及其对周边环境质量的影响开展自行监测。

七、 (略) 门意见：

根据《产业结构调整指导目录》（2019年本），项目为鼓励类。涪城区工 (略) 具文（川投资备[2108- 点击查看>> -07-02- 点击查看>> ]JXQB- (略) 、川投资备[2106- 点击查看>> -07-02- 点击查看>> ]JXQB- (略) ）同意项目建设，项目符合国家现行产业政策。

项目符合绵阳“三线一单”现行各环境管控单元要求。