项目名称

天 (略) 芯片原子钟产线建设项目

建设地点

天津滨海高新区华苑产业园区（环外） (略) (略) 一幢一层102室

建设单位

天 (略)

环境影响评价机构

天津环 (略)

项目概况

天 (略) 拟投资3000万元，租赁位于天津滨海高新技术产业开发区华苑科技园（环外） (略) (略) 天津 (略) 1幢建筑102室，建设芯片原子钟产线建设项目。该项目建筑面积1300㎡，主要建设内容为：将租赁的1- (略) 房进行装修改造，购置并安装真空封装设备、深硅刻蚀机、光刻机、艳钟等设备，建成后可实现年产芯片 (略) 件1万套。该项目环保投资 点击查看>> 万元，主要用于施工期隔声降噪措施、固 (略) 置，运营期废气治理设施、废水治理设施、噪声防治措施、固体废物收集暂存及排污口规范化等。

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

根据该项目环境影响报告表分析结论：

（一）有机清洗工序、光刻工序、去蜡清洗工序、兆声清洗工序、焊料片清洗工序产生的废气经设备槽侧抽风收集， (略) 理站异味产生池体均采用加盖池体，并设置引风系统收集，上述废气收集后引至一套二级活性 (略) 理后，通过1根15m高排气筒P1排放。深硅刻蚀工序、BOE腐蚀工序、湿法腐蚀工序、RCA清洗工序产生的废气经设备槽侧抽风收集后引至一套酸雾 (略) 理后，通过1根15m高排气筒P2排放。

P1、P2排放的废气中，非 点击查看>> 烷总烃、TRVOC、 点击查看>> 苯与二 点击查看>> 苯合计的排放浓度和排放速率须满足《工业企业挥发性有机物排放控制标准》（DB12/524-2020）相应标准限值要求；氯化氢、硫酸雾、氟化氢、氮氧化物的排放浓度和排放速率须满足《大气污染物综合排放标准》（GB 点击查看>> -1996）相应标准限值要求（排放速率严格50%执行）；氨、硫化氢的排放速率和臭气浓度须满足《恶臭污染物排放标准》（DB12/059-2018）相应标准限值要求。P1、P2排气筒等效后，非 点击查看>> 烷总烃、TRVOC的排放速率须满足《工业企业挥发性有机物排放控制标准》（DB12/524-2020）相应标准限值要求，氨的排放速率须满足《恶臭污染物排放标准》（DB12/059-2018）相应标准限值要求。

焊接工序产生的焊接烟尘经集气罩收集后进入移动式 (略) 理后，在车间无组织排放； (略) 颗粒物、锡及其化合物须满足《大气污染物综合排放标准》（GB 点击查看>> -1996）相应标准限值要求。

（二）有机废水、酸碱废水、含氟废水、一般生产废水、 (略) 排浓水、 (略) 冲洗废水、酸雾洗涤塔废水经企业 (略) (略) (略) 排口（DW002）排放后， (略) 理后的生活污水一并排入天津 (略) 厂区总排口（DW001）后进入市政污水管网，最 (略) (略) (略) 理； (略) 排口（DW002）废水水质须满足《电子工业水污染物排放标准》（GB 点击查看>> -2020）相应标准限值要求，厂区总排口（DW001）废水水质须满足《污水综合排放标准》（DB12/356-2018）三级标准要求。

（三）HDMS烘箱、键合机、划片机等设备为主要噪声源，应优先选用低噪设备，采取隔声、减振、距离衰减等措施， (略) 界噪声满足《 (略) 界环境噪声排放标准》（GB 点击查看>> -2008）3类标准限值要求。

（四）固体废物分类收集。生活垃圾袋装收集，交 (略) 门统一清运。废NMP、废 点击查看>> 酮、废 点击查看>> 醇、废异 点击查看>> 醇、废 点击查看>> 酸、废光刻胶、废显影液、废定影液、不合格废器件、废腐蚀液等废酸碱液、硅碎屑、废抛光液、废去蜡液、RCA清洗废液、废焊材、含沾染物的废包装桶、废活性炭（废气治理）、含氟污泥、废灯管属于危险废物，交由有资质 (略) 理； (略) (略) 理单元污泥鉴别前按危废管理，鉴定后若为一般固体废物则按照一 (略) 理，若鉴定后为危险废物，则按照危险废物的要求 (略) 置。未沾染污染物的废包装桶为一般固体废物， (略) (略) 理；废靶材、废滤芯、废反渗透膜、废EDI膜、废抛光树脂、废超滤膜、废活性炭（纯水制备）属于一般固体废物， (略) (略) 理。 (略) 置去向合理，避免产生二次污染。

（五）加强对危险物料的管理，制定应急预案，落实各项事故防范、减缓措施，有效避免事故发生。

公众参与情况

——

公示时间

2022年7月14日至2022年7月20日

项目名称

天 (略) 芯片原子钟产线建设项目

建设地点

天津滨海高新区华苑产业园区（环外） (略) (略) 一幢一层102室

建设单位

天 (略)

环境影响评价机构

天津环 (略)

项目概况

天 (略) 拟投资3000万元，租赁位于天津滨海高新技术产业开发区华苑科技园（环外） (略) (略) 天津 (略) 1幢建筑102室，建设芯片原子钟产线建设项目。该项目建筑面积1300㎡，主要建设内容为：将租赁的1- (略) 房进行装修改造，购置并安装真空封装设备、深硅刻蚀机、光刻机、艳钟等设备，建成后可实现年产芯片 (略) 件1万套。该项目环保投资 点击查看>> 万元，主要用于施工期隔声降噪措施、固 (略) 置，运营期废气治理设施、废水治理设施、噪声防治措施、固体废物收集暂存及排污口规范化等。

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

根据该项目环境影响报告表分析结论：

（一）有机清洗工序、光刻工序、去蜡清洗工序、兆声清洗工序、焊料片清洗工序产生的废气经设备槽侧抽风收集， (略) 理站异味产生池体均采用加盖池体，并设置引风系统收集，上述废气收集后引至一套二级活性 (略) 理后，通过1根15m高排气筒P1排放。深硅刻蚀工序、BOE腐蚀工序、湿法腐蚀工序、RCA清洗工序产生的废气经设备槽侧抽风收集后引至一套酸雾 (略) 理后，通过1根15m高排气筒P2排放。

P1、P2排放的废气中，非 点击查看>> 烷总烃、TRVOC、 点击查看>> 苯与二 点击查看>> 苯合计的排放浓度和排放速率须满足《工业企业挥发性有机物排放控制标准》（DB12/524-2020）相应标准限值要求；氯化氢、硫酸雾、氟化氢、氮氧化物的排放浓度和排放速率须满足《大气污染物综合排放标准》（GB 点击查看>> -1996）相应标准限值要求（排放速率严格50%执行）；氨、硫化氢的排放速率和臭气浓度须满足《恶臭污染物排放标准》（DB12/059-2018）相应标准限值要求。P1、P2排气筒等效后，非 点击查看>> 烷总烃、TRVOC的排放速率须满足《工业企业挥发性有机物排放控制标准》（DB12/524-2020）相应标准限值要求，氨的排放速率须满足《恶臭污染物排放标准》（DB12/059-2018）相应标准限值要求。

焊接工序产生的焊接烟尘经集气罩收集后进入移动式 (略) 理后，在车间无组织排放； (略) 颗粒物、锡及其化合物须满足《大气污染物综合排放标准》（GB 点击查看>> -1996）相应标准限值要求。

（二）有机废水、酸碱废水、含氟废水、一般生产废水、 (略) 排浓水、 (略) 冲洗废水、酸雾洗涤塔废水经企业 (略) (略) (略) 排口（DW002）排放后， (略) 理后的生活污水一并排入天津 (略) 厂区总排口（DW001）后进入市政污水管网，最 (略) (略) (略) 理； (略) 排口（DW002）废水水质须满足《电子工业水污染物排放标准》（GB 点击查看>> -2020）相应标准限值要求，厂区总排口（DW001）废水水质须满足《污水综合排放标准》（DB12/356-2018）三级标准要求。

（三）HDMS烘箱、键合机、划片机等设备为主要噪声源，应优先选用低噪设备，采取隔声、减振、距离衰减等措施， (略) 界噪声满足《 (略) 界环境噪声排放标准》（GB 点击查看>> -2008）3类标准限值要求。

（四）固体废物分类收集。生活垃圾袋装收集，交 (略) 门统一清运。废NMP、废 点击查看>> 酮、废 点击查看>> 醇、废异 点击查看>> 醇、废 点击查看>> 酸、废光刻胶、废显影液、废定影液、不合格废器件、废腐蚀液等废酸碱液、硅碎屑、废抛光液、废去蜡液、RCA清洗废液、废焊材、含沾染物的废包装桶、废活性炭（废气治理）、含氟污泥、废灯管属于危险废物，交由有资质 (略) 理； (略) (略) 理单元污泥鉴别前按危废管理，鉴定后若为一般固体废物则按照一 (略) 理，若鉴定后为危险废物，则按照危险废物的要求 (略) 置。未沾染污染物的废包装桶为一般固体废物， (略) (略) 理；废靶材、废滤芯、废反渗透膜、废EDI膜、废抛光树脂、废超滤膜、废活性炭（纯水制备）属于一般固体废物， (略) (略) 理。 (略) 置去向合理，避免产生二次污染。

（五）加强对危险物料的管理，制定应急预案，落实各项事故防范、减缓措施，有效避免事故发生。

公众参与情况

——

公示时间

2022年7月14日至2022年7月20日