上海集成电路研发中心国产材料设备验证项目

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上海集成电路研发中心国产材料设备验证项目

项目名称
(略) (略) 国产材料设备验证项目
项目名称
(略) (略) 国产材料设备验证项目
建设地点
浦东新区张江高科 (略) (略)
所属行业
研究和试验发展
项目内容
本项 (略) 区内，依托现有试验线，通过延长工作时间，增加国产清洗材料及国产光刻胶等验证试验内容，芯片试验规模仍为9600片／年不变，同时增加冲洗水及RO浓水回收系统 ，并配套增加环保设施及锅炉。
建设单位名称
(略) (略)
建设单位地址
上海浦 (略) (略)
建设单位联系人
金维
联系电话
电子邮箱
@@@ crd.com.cn
环评机构名称
上海达恩贝拉 (略)
拟报批的环境影响报告表全文
项目名称
(略) (略) 国产材料设备验证项目
项目名称
(略) (略) 国产材料设备验证项目
建设单位
(略) (略)
所属行业
研究和试验发展
建设地点
浦东新区张江高科 (略) (略)
项目基本信息
(略) 区内现有试验线，通过延长工作时间，增加国产清洗材料及国产光刻胶等验证试验内容，芯片试验规模仍为9600片／年不变，同时增加冲洗水及RO浓水回收系统，并配套增加环保设施及锅炉。
设计单位
上海 (略)
计划开工日期
2022-01-05
环 (略)
115-38-21-987
(略)
沪浦环保许评【2021】 (略)
环评批文日期
2021-12-22
联系人
金维
联系电话
电子邮箱
@@@ crd.com.cn
实际开工日期
2022-01-05
实际开工日期
2022-01-05
施工期环保措施落实情况（pdf）
(略) (略) 国产材料设备验证项目施工期环保措施落实情况(盖章版).pdf点击下载
施工期环境监测结果（pdf）
开始调试日期
2022-07-21
竣工日期
2022-07-15
开始调试日期
2022-07-21
联系人
金维
联系电话
非重大调整报告（pdf）
(略) (略) 国产材料设备验证项目非重大（已盖章）.pdf点击下载
环保措施落实情况（pdf）
(略) (略) 国产材料设备验证项目环保措施落实情况报告 点击查看>> .pdf点击下载
公示起始日期
公示起始日期
验收报告
项目名称
(略) (略) 国产材料设备验证项目
项目名称
(略) (略) 国产材料设备验证项目
建设地点
浦东新区张江高科 (略) (略)
所属行业
研究和试验发展
项目内容
本项 (略) 区内，依托现有试验线，通过延长工作时间，增加国产清洗材料及国产光刻胶等验证试验内容，芯片试验规模仍为9600片／年不变，同时增加冲洗水及RO浓水回收系统 ，并配套增加环保设施及锅炉。
建设单位名称
(略) (略)
建设单位地址
上海浦 (略) (略)
建设单位联系人
金维
联系电话
电子邮箱
@@@ crd.com.cn
环评机构名称
上海达恩贝拉 (略)
拟报批的环境影响报告表全文
项目名称
(略) (略) 国产材料设备验证项目
项目名称
(略) (略) 国产材料设备验证项目
建设单位
(略) (略)
所属行业
研究和试验发展
建设地点
浦东新区张江高科 (略) (略)
项目基本信息
(略) 区内现有试验线，通过延长工作时间，增加国产清洗材料及国产光刻胶等验证试验内容，芯片试验规模仍为9600片／年不变，同时增加冲洗水及RO浓水回收系统，并配套增加环保设施及锅炉。
设计单位
上海 (略)
计划开工日期
2022-01-05
环 (略)
115-38-21-987
(略)
沪浦环保许评【2021】 (略)
环评批文日期
2021-12-22
联系人
金维
联系电话
电子邮箱
@@@ crd.com.cn
实际开工日期
2022-01-05
实际开工日期
2022-01-05
施工期环保措施落实情况（pdf）
(略) (略) 国产材料设备验证项目施工期环保措施落实情况(盖章版).pdf点击下载
施工期环境监测结果（pdf）
开始调试日期
2022-07-21
竣工日期
2022-07-15
开始调试日期
2022-07-21
联系人
金维
联系电话
非重大调整报告（pdf）
(略) (略) 国产材料设备验证项目非重大（已盖章）.pdf点击下载
环保措施落实情况（pdf）
(略) (略) 国产材料设备验证项目环保措施落实情况报告 点击查看>> .pdf点击下载
公示起始日期
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