集成电路装备产业化研发项目-已受理项目

内容
 
发送至邮箱

集成电路装备产业化研发项目-已受理项目

建设地点:北京经济技术开 (略) (略) (略) 房
公示时间:2022-07-22至2022-07-28
受理时间:2022-07-22
项目概况:本项目主要建设内容为90纳米 (略) 工艺研究,研发规模300-500批次/年,研发测试使用碳基初始晶圆300-500片/年。项目工艺研发主要 (略) 理后晶圆进行薄膜沉积、光刻、刻蚀等,通过以 (略) 理后, (略) 图形转印至晶圆上,并委外检测其性能。
行政相对人名称:北京鲁 (略)
联系人:许开东
联系电话: 点击查看>>
(略) 门:北京经济技术开发 (略)
邮政编码: 点击查看>>
邮寄地址: (略) (略) 5层
传真电话: 点击查看>>
设定依据:1、《中华人民共和国环境保护法》第十九条、第四十一条、第六十一条、第六十三条。2、《中华人民共和国环境影响评价法》第二十二条、第二十三条、第二十四条、第二十五条。3、《中华人民共和国大气污染防治法》第十八条、第二十二条。4、《中华人民共和国水污染防治法》第十九条。5、《中华人民共和国环境噪声污染防治法》第十三条。6、《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》第十三条、第十四条。7、《中华人民共和国放射性污染防治法》第二十九条。8、《建设项目环境保护管理条例》第六条。

建设地点:北京经济技术开 (略) (略) (略) 房
公示时间:2022-07-22至2022-07-28
受理时间:2022-07-22
项目概况:本项目主要建设内容为90纳米 (略) 工艺研究,研发规模300-500批次/年,研发测试使用碳基初始晶圆300-500片/年。项目工艺研发主要 (略) 理后晶圆进行薄膜沉积、光刻、刻蚀等,通过以 (略) 理后, (略) 图形转印至晶圆上,并委外检测其性能。
行政相对人名称:北京鲁 (略)
联系人:许开东
联系电话: 点击查看>>
(略) 门:北京经济技术开发 (略)
邮政编码: 点击查看>>
邮寄地址: (略) (略) 5层
传真电话: 点击查看>>
设定依据:1、《中华人民共和国环境保护法》第十九条、第四十一条、第六十一条、第六十三条。2、《中华人民共和国环境影响评价法》第二十二条、第二十三条、第二十四条、第二十五条。3、《中华人民共和国大气污染防治法》第十八条、第二十二条。4、《中华人民共和国水污染防治法》第十九条。5、《中华人民共和国环境噪声污染防治法》第十三条。6、《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》第十三条、第十四条。7、《中华人民共和国放射性污染防治法》第二十九条。8、《建设项目环境保护管理条例》第六条。

    
查看详情》
相关推荐
 

招投标大数据

查看详情

收藏

首页

最近搜索

热门搜索