序号

项目名称

建设地点

建设单位

环境影响评价机构

项目概况

主要环境影响和环境保护对策与措施

(略) 门意见

95

凌越光电化合物激光芯片生产基地新建项目

重庆市两江新区龙兴组团Ⅰ分区1-3-1/ (略) 地块（龙兴园区）

重庆 (略)

重庆环科源 (略)

新建激光芯片生产线1条，主要包括外延片生长、晶圆制造、芯片测试与分选等工序，配套建设辅助工程、公用工程、储运工程及环保工程等，建成后形成年产激光芯片0.46亿颗（其中以3英寸磷化铟作为衬底材料的激光芯片0.38亿颗、以3英寸砷化镓作为衬底材料的激光芯片0.08亿颗）的生产能力。

拟建项目总投资 点击查看>> 万元，其中环保投资2700万元，占总投资的4.74%。

（1）废气

①含砷废气：2台外延炉、石墨盘真空烘烤炉、2台ICP蚀刻机和2台RIE蚀刻机各配备1套Scrubbe (略) 理器（1500m3/h），经“Scrubber（CuO干式吸附）”预处理后，再经“碱喷淋（4500m3/h）”处理后通过1#30m高排气筒排放；

②酸碱废气：2台PECVD镀膜机产生的气相沉积废气经末端配备的1套Scrubbe (略) 理器经“Scrubber（MgO干式吸附）”预处理后与其他工序产生的酸碱废气通过车间收集管道收集后排入1 (略) 理系统经“碱喷淋”处理，处理规模为 点击查看>> m3/h，处理后通过15m高2#排气筒排放；

③有机废气：通过车间收集管道收集后排 (略) 理系统经“活性炭吸附浓缩+催化氧化（CTO）”处理，处理规模为 点击查看>> m3/h，处理后的废气经过3#15m高排气筒排放；

(略) 理站臭气经“碱喷淋”处理后通过4#排气筒排放，处理规模为1500m3/h，排气筒高度15m；

⑤燃气锅炉配备低氮燃烧装置，燃烧废气直接通过5#排气筒排放，废气量2000m3/h，排气筒高度15m；

⑥餐饮油烟通过 (略) 理后经专用烟道由引风机引至屋顶排放（净化效率≥90%）。

（2）废水

拟建项目生产废水主要包括光刻、湿法蚀刻、去胶等过程产生的晶圆清洗废水，MOC (略) 件清洗废水、循环冷却水系统排水、纯水制备废水、 (略) 理废水、无尘衣洗涤废水等，产生量合计约 点击查看>> 立方米/天，生活污水产生量约18立方米/天， (略) (略) 理。其中，晶圆湿法蚀刻氮化硅膜清洗废水含砷和含氟化物，先经“中和+絮凝+沉淀” (略) 理系统（10m3/d）处理后，与MOC (略) 件清洗废水、晶圆湿法蚀刻介质膜清洗废水等含砷废水经“中和+RO膜滤” (略) 理系统（30m3/d）处理，最后与其他生产废水和生活污水一并经“中和+UASB+A/O” (略) 理系统（120m3/d）处理。（3）地下水

采取分区防渗。 (略) 房清洗间、 点击查看>> 类仓、 (略) 理站、危废暂存间和事故池等均按照《危险废物贮存污染控制标准》（GB/T 点击查看>> -2001）、《危险废物填埋污染控制标准》（GB 点击查看>> -2001）以及参照《石油化工工程防渗技术规范》（GB/T 点击查看>> -2013）等要求进行重点防渗；一般污染防治区：指厂区上述重点污染防治区和行政办公区以外的其他装置区等，应参照《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》（GB 点击查看>> -2020）要求进行一般防渗。

（4）噪声

(略) ，并充分利用绿化的降噪作用；各类泵、风机、压缩机、空压机、冷却塔等机械噪声分别采用消声、隔声、减震等措施。

（5）固废

新建危险废物暂存间一座，占地面积为100m2。危险废物暂存于危险废物暂存间，定期交 (略) 置。

新建一般固废暂存间一座，占地面积为120m2。定期交资源回收单位 (略) (略) 置；生活垃圾采用袋装，集中收集， (略) (略) 置。

（6）环境风险

点击查看>> 类仓：设有地沟和集水井，并且与事故池连通；地面进 (略) 理；设置可燃气体、有毒有害气体检测报警仪；毒性气体储存间、剧毒气体储存间设抽排风系统，2台风机，风量3500m3/h，事故状况下手动远程（中控室）或就地启动抽排系统，废气 (略) 理；应急材料：设置灭火器、消水栓、正压式防毒面具、C级防护服等。

特殊气体储存及供应：特气房砷烷、磷烷、氨气、氯气等特气钢瓶置于不同的特气柜中，特气柜和供 (略) 位设置气体泄漏监测装置、抽风装置及喷淋装置等，气体泄漏后自动关断特气柜阀门，砷烷、磷烷等引入专门配备的 (略) (略) 理，氨气、氯气等废气引 (略) 理系统。供应易燃易爆气体的特气柜为防爆气柜，并且气柜设计为负压，设有气体泄漏探测装置及自动喷淋系统，气柜尾气排入相 (略) 理设施，储存气体的专用钢瓶定期由特 (略) 进行检验。

供气管道：特气的供气管道为双套管，内管 (略) 用气体，两管之间为吹扫氮气，当发生事故时，关闭两端阀门，停止供气，事故解除后，原管道内气体通过机台或气柜抽 (略) 理系统。

危废暂存间：设有地沟和集液坑， (略) 理，设有专用标志，满足《危险废物贮存污染控制标准》GB 点击查看>> ?2001规定的贮存控制标准。

在线监测：废水总排放口设置pH、COD、氨氮、流量在线监测，并与两江新区 (略) 联网； (略) 理设施均配备了在线pH、液位等检测仪；有机废气均有在线VOCs检测；含砷废气SCR出口端装有砷化氢气体侦测仪；所有污染治理设施均为PLC控制。

气体探测系统及火灾报警系统：在厂房设置磷化氢、砷化氢、SiH4、BCl3、SiCl4、O2、H2、Cl2、NH3等气体探测系统；在有毒气体和可燃气体可 (略) ，设置有毒气体检测仪或可燃气体检测仪；生产车间、 点击查看>> 类仓等危险区安装自动火灾报警系统。

(略) 理系统：含 (略) 理：含砷废气主要来自外延机台。外延机台 (略) 理系统。 (略) 理系统均设置有砷化氢气体侦测器，含砷废气超过报警阈值（50ppb）则触发PLC控制系统，极短时间内（一般不超过5s）停止制程工艺及原辅料供应， (略) 理系统正常，确保最大限度控制影响程度； (略) 理设施： (略) 理设施：事故状态下，在线检测仪器自动报警，厂房相关技术人员赶到现场，进行检查，远程 (略) 理装置，并及时修复。

导流沟：厂区生产车间清洗间设有地沟和集液坑，事故情况下，液体经地沟流向集液坑，再经管道流入室内事故应急池，根据废水性质泵 (略) (略) 理。 点击查看>> 类仓及为非暂存间有液体存储的区域均布设了地沟和集液坑，发生泄漏事故时，液体经地沟流向集液坑，经管道流入事故池。

事故池：设700m3事故池，按防渗分区要求并作防渗、 (略) 理。

应急措施：使用溶剂、酸碱等有毒、有腐蚀性物料的岗位附近，设置洗眼器、淋浴、急救箱等。风向标：厂 (略) 设立风向标。

重庆两江新 (略) 备案（项目编码：2106- 点击查看>> -04-05- 点击查看>> ）

序号

项目名称

建设地点

建设单位

环境影响评价机构

项目概况

主要环境影响和环境保护对策与措施

(略) 门意见

95

凌越光电化合物激光芯片生产基地新建项目

重庆市两江新区龙兴组团Ⅰ分区1-3-1/ (略) 地块（龙兴园区）

重庆 (略)

重庆环科源 (略)

新建激光芯片生产线1条，主要包括外延片生长、晶圆制造、芯片测试与分选等工序，配套建设辅助工程、公用工程、储运工程及环保工程等，建成后形成年产激光芯片0.46亿颗（其中以3英寸磷化铟作为衬底材料的激光芯片0.38亿颗、以3英寸砷化镓作为衬底材料的激光芯片0.08亿颗）的生产能力。

拟建项目总投资 点击查看>> 万元，其中环保投资2700万元，占总投资的4.74%。

（1）废气

①含砷废气：2台外延炉、石墨盘真空烘烤炉、2台ICP蚀刻机和2台RIE蚀刻机各配备1套Scrubbe (略) 理器（1500m3/h），经“Scrubber（CuO干式吸附）”预处理后，再经“碱喷淋（4500m3/h）”处理后通过1#30m高排气筒排放；

②酸碱废气：2台PECVD镀膜机产生的气相沉积废气经末端配备的1套Scrubbe (略) 理器经“Scrubber（MgO干式吸附）”预处理后与其他工序产生的酸碱废气通过车间收集管道收集后排入1 (略) 理系统经“碱喷淋”处理，处理规模为 点击查看>> m3/h，处理后通过15m高2#排气筒排放；

③有机废气：通过车间收集管道收集后排 (略) 理系统经“活性炭吸附浓缩+催化氧化（CTO）”处理，处理规模为 点击查看>> m3/h，处理后的废气经过3#15m高排气筒排放；

(略) 理站臭气经“碱喷淋”处理后通过4#排气筒排放，处理规模为1500m3/h，排气筒高度15m；

⑤燃气锅炉配备低氮燃烧装置，燃烧废气直接通过5#排气筒排放，废气量2000m3/h，排气筒高度15m；

⑥餐饮油烟通过 (略) 理后经专用烟道由引风机引至屋顶排放（净化效率≥90%）。

（2）废水

拟建项目生产废水主要包括光刻、湿法蚀刻、去胶等过程产生的晶圆清洗废水，MOC (略) 件清洗废水、循环冷却水系统排水、纯水制备废水、 (略) 理废水、无尘衣洗涤废水等，产生量合计约 点击查看>> 立方米/天，生活污水产生量约18立方米/天， (略) (略) 理。其中，晶圆湿法蚀刻氮化硅膜清洗废水含砷和含氟化物，先经“中和+絮凝+沉淀” (略) 理系统（10m3/d）处理后，与MOC (略) 件清洗废水、晶圆湿法蚀刻介质膜清洗废水等含砷废水经“中和+RO膜滤” (略) 理系统（30m3/d）处理，最后与其他生产废水和生活污水一并经“中和+UASB+A/O” (略) 理系统（120m3/d）处理。（3）地下水

采取分区防渗。 (略) 房清洗间、 点击查看>> 类仓、 (略) 理站、危废暂存间和事故池等均按照《危险废物贮存污染控制标准》（GB/T 点击查看>> -2001）、《危险废物填埋污染控制标准》（GB 点击查看>> -2001）以及参照《石油化工工程防渗技术规范》（GB/T 点击查看>> -2013）等要求进行重点防渗；一般污染防治区：指厂区上述重点污染防治区和行政办公区以外的其他装置区等，应参照《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》（GB 点击查看>> -2020）要求进行一般防渗。

（4）噪声

(略) ，并充分利用绿化的降噪作用；各类泵、风机、压缩机、空压机、冷却塔等机械噪声分别采用消声、隔声、减震等措施。

（5）固废

新建危险废物暂存间一座，占地面积为100m2。危险废物暂存于危险废物暂存间，定期交 (略) 置。

新建一般固废暂存间一座，占地面积为120m2。定期交资源回收单位 (略) (略) 置；生活垃圾采用袋装，集中收集， (略) (略) 置。

（6）环境风险

点击查看>> 类仓：设有地沟和集水井，并且与事故池连通；地面进 (略) 理；设置可燃气体、有毒有害气体检测报警仪；毒性气体储存间、剧毒气体储存间设抽排风系统，2台风机，风量3500m3/h，事故状况下手动远程（中控室）或就地启动抽排系统，废气 (略) 理；应急材料：设置灭火器、消水栓、正压式防毒面具、C级防护服等。

特殊气体储存及供应：特气房砷烷、磷烷、氨气、氯气等特气钢瓶置于不同的特气柜中，特气柜和供 (略) 位设置气体泄漏监测装置、抽风装置及喷淋装置等，气体泄漏后自动关断特气柜阀门，砷烷、磷烷等引入专门配备的 (略) (略) 理，氨气、氯气等废气引 (略) 理系统。供应易燃易爆气体的特气柜为防爆气柜，并且气柜设计为负压，设有气体泄漏探测装置及自动喷淋系统，气柜尾气排入相 (略) 理设施，储存气体的专用钢瓶定期由特 (略) 进行检验。

供气管道：特气的供气管道为双套管，内管 (略) 用气体，两管之间为吹扫氮气，当发生事故时，关闭两端阀门，停止供气，事故解除后，原管道内气体通过机台或气柜抽 (略) 理系统。

危废暂存间：设有地沟和集液坑， (略) 理，设有专用标志，满足《危险废物贮存污染控制标准》GB 点击查看>> ?2001规定的贮存控制标准。

在线监测：废水总排放口设置pH、COD、氨氮、流量在线监测，并与两江新区 (略) 联网； (略) 理设施均配备了在线pH、液位等检测仪；有机废气均有在线VOCs检测；含砷废气SCR出口端装有砷化氢气体侦测仪；所有污染治理设施均为PLC控制。

气体探测系统及火灾报警系统：在厂房设置磷化氢、砷化氢、SiH4、BCl3、SiCl4、O2、H2、Cl2、NH3等气体探测系统；在有毒气体和可燃气体可 (略) ，设置有毒气体检测仪或可燃气体检测仪；生产车间、 点击查看>> 类仓等危险区安装自动火灾报警系统。

(略) 理系统：含 (略) 理：含砷废气主要来自外延机台。外延机台 (略) 理系统。 (略) 理系统均设置有砷化氢气体侦测器，含砷废气超过报警阈值（50ppb）则触发PLC控制系统，极短时间内（一般不超过5s）停止制程工艺及原辅料供应， (略) 理系统正常，确保最大限度控制影响程度； (略) 理设施： (略) 理设施：事故状态下，在线检测仪器自动报警，厂房相关技术人员赶到现场，进行检查，远程 (略) 理装置，并及时修复。

导流沟：厂区生产车间清洗间设有地沟和集液坑，事故情况下，液体经地沟流向集液坑，再经管道流入室内事故应急池，根据废水性质泵 (略) (略) 理。 点击查看>> 类仓及为非暂存间有液体存储的区域均布设了地沟和集液坑，发生泄漏事故时，液体经地沟流向集液坑，经管道流入事故池。

事故池：设700m3事故池，按防渗分区要求并作防渗、 (略) 理。

应急措施：使用溶剂、酸碱等有毒、有腐蚀性物料的岗位附近，设置洗眼器、淋浴、急救箱等。风向标：厂 (略) 设立风向标。

重庆两江新 (略) 备案（项目编码：2106- 点击查看>> -04-05- 点击查看>> ）