建设地点：北京经济技术开 (略) (略) (略) 房
公示时间：2022-08-04
受理时间：2022-07-22
主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施：1、废气：（1）湿法清洗在负压通风橱内作业，废气经通 (略) 送至活性炭吸附装置；（2）ALD薄膜沉积腔体清洗在负压通风橱内作业，废气经负压通风橱配 (略) 送至活性炭吸附装置；（3）光刻工艺废气经设备配套的 (略) 送至活性炭吸附装置；（4）ALD薄膜沉积、PECVD薄膜沉积及腔体清洗、刻蚀等工艺废气经设备配套的 (略) 送至 (略) 理装置； (略) 理后的废气经专用风道引至25m高的排气筒DA001高空排放。本项目废气对周边环境影响较小。2、废水：（1）研发试验废液收集至专用废液桶内，作 (略) 置，暂存于现有工程危险废物暂存间内，定期委托北京金隅红树林 (略) 统一收集、 (略) 置；（2） (略) 理装置尾水（增加氟化物排放量，无新增废水量） (略) (略) 理后，与纯水机组 (略) 房处废水排放口DW001排出，再进入金田恒业工业园西侧 (略) 理，经园区西侧1#污水总排口排入市政污水管网，最终排入北京经济 (略) (略) (略) 理。本项目废水对周边环境较小。3、噪声：本项目新增噪声污染源主要为试验仪器运行产生的噪声，通过采取基础减振、墙体隔声，管道间采用软管连接等降噪措施。本项目噪声对周边环境较小。4、固体废物：（1）危险废物分类收集、分区暂存于现有工程危险废物暂存间内，定期委托北京金隅红树林 (略) 统一收集、 (略) 置；（2）一般固 (略) 家定期更换回 (略) 综合利用；废包装材料统一 (略) 综合利用。
公众参与情况：无
联系人：许开东
联系电话： 点击查看>>
环评单位名称：国环首衡（北京） (略)
(略) 门：北京经济技术开发 (略)
邮政编码： 点击查看>>
邮寄地址： (略) (略) 5层
传真电话： 点击查看>>
设定依据：1、《中华人民共和国环境保护法》第十九条、第四十一条、第六十一条、第六十三条。2、《中华人民共和国环境影响评价法》第二十二条、第二十三条、第二十四条、第二十五条。3、《中华人民共和国大气污染防治法》第十八条、第二十二条。4、《中华人民共和国水污染防治法》第十九条。5、《中华人民共和国环境噪声污染防治法》第十三条。6、《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》第十三条、第十四条。7、《中华人民共和国放射性污染防治法》第二十九条。8、《建设项目环境保护管理条例》第六条。
行政相对人名称：北京鲁 (略)

建设地点：北京经济技术开 (略) (略) (略) 房
公示时间：2022-08-04
受理时间：2022-07-22
主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施：1、废气：（1）湿法清洗在负压通风橱内作业，废气经通 (略) 送至活性炭吸附装置；（2）ALD薄膜沉积腔体清洗在负压通风橱内作业，废气经负压通风橱配 (略) 送至活性炭吸附装置；（3）光刻工艺废气经设备配套的 (略) 送至活性炭吸附装置；（4）ALD薄膜沉积、PECVD薄膜沉积及腔体清洗、刻蚀等工艺废气经设备配套的 (略) 送至 (略) 理装置； (略) 理后的废气经专用风道引至25m高的排气筒DA001高空排放。本项目废气对周边环境影响较小。2、废水：（1）研发试验废液收集至专用废液桶内，作 (略) 置，暂存于现有工程危险废物暂存间内，定期委托北京金隅红树林 (略) 统一收集、 (略) 置；（2） (略) 理装置尾水（增加氟化物排放量，无新增废水量） (略) (略) 理后，与纯水机组 (略) 房处废水排放口DW001排出，再进入金田恒业工业园西侧 (略) 理，经园区西侧1#污水总排口排入市政污水管网，最终排入北京经济 (略) (略) (略) 理。本项目废水对周边环境较小。3、噪声：本项目新增噪声污染源主要为试验仪器运行产生的噪声，通过采取基础减振、墙体隔声，管道间采用软管连接等降噪措施。本项目噪声对周边环境较小。4、固体废物：（1）危险废物分类收集、分区暂存于现有工程危险废物暂存间内，定期委托北京金隅红树林 (略) 统一收集、 (略) 置；（2）一般固 (略) 家定期更换回 (略) 综合利用；废包装材料统一 (略) 综合利用。
公众参与情况：无
联系人：许开东
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环评单位名称：国环首衡（北京） (略)
(略) 门：北京经济技术开发 (略)
邮政编码： 点击查看>>
邮寄地址： (略) (略) 5层
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设定依据：1、《中华人民共和国环境保护法》第十九条、第四十一条、第六十一条、第六十三条。2、《中华人民共和国环境影响评价法》第二十二条、第二十三条、第二十四条、第二十五条。3、《中华人民共和国大气污染防治法》第十八条、第二十二条。4、《中华人民共和国水污染防治法》第十九条。5、《中华人民共和国环境噪声污染防治法》第十三条。6、《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》第十三条、第十四条。7、《中华人民共和国放射性污染防治法》第二十九条。8、《建设项目环境保护管理条例》第六条。
行政相对人名称：北京鲁 (略)