广州粤芯半导体技术有限公司透射/扫描电镜能谱分析仪器、新增离子注入机和X射线荧光分析仪利用项目广东省广州市黄埔区凤凰五路28号-采招网

广州粤芯半导体技术有限公司透射/扫描电镜能谱分析仪器、新增离子注入机和X射线荧光分析仪利用项目广东省广州市黄埔区凤凰五路28号

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广州粤芯半导体技术有限公司透射/扫描电镜能谱分析仪器、新增离子注入机和X射线荧光分析仪利用项目广东省广州市黄埔区凤凰五路28号

建设项目环境影响登记表

填表日期：2022-09-06

项目名称	广州粤 (略) 透射/扫描电镜能谱分析仪器、新增离子注入机和X射线荧光分析仪利用项目
建设地点	(略) 黄埔 (略) 28号	占地面积（平方米）	*
建设单位	广州粤 (略)	法定代表人	陈谨
项目投资(万元)	*	环保投资(万元)	3827
拟投入生产运营日期	2019-03-01
建设性质	新建
备案依据	该项目属于《建设项目环境影响评价分类管理名录》中应当填报环境影响登记表的建设项目，属于第172 核技术利用建设项目项中销售Ⅰ类、Ⅱ类、Ⅲ类、Ⅳ类、Ⅴ类放射源的；使用Ⅳ类、Ⅴ类放射源的；医疗机构使用植入治疗用放射性粒子源的；销售非密封放射性物质的；销售Ⅱ类射线装置的；生产、销售、使用Ⅲ类射线装置的。
建设内容及规模	一、广州粤 (略) 第三类射线装置利用项目。二、建设规模 1、使用大束流离子注入机（最大管电压 60kV，最大管电流25mA，数量2台）；使用中束流离子注入机（最大管电压 200kV，最大管电流30mA，数量1台）；射线装置具体使用位置：离子注入机使用地点位于12英寸芯片生产厂房3楼洁净车间离子注入区域。2、使用扫描电镜能谱分析仪SEM EDX（最大管电压 6.5kV，最大管电流2nA，数量3台）；使用透射电镜能谱分析仪FIB EDX（最大管电压 10kV，最大管电流1nA，数量1台）；使用扫描电镜能谱分析仪EDR7380 EDX（最大管电压 18kV，最大管电流0.5nA，数量2台）; 使用X射线荧光分析仪（最大管电压 40kV，最大管电流20mA，数量1台）；射线装置使用地点位于12英寸芯片生产厂房3楼洁净车间YE区域。3、使用扫描电镜能谱分析仪SEM EDX（最大管电压30kV，最大管电流2nA，数量1台）；使用透射电镜能谱分析仪SEM EDX（最大管电压 200kV，最大管电流76nA，数量1台）；射线装置使用地点位于12英寸芯片生产厂房1楼QE实验室。
主要环境影响		采取的环保措施及排放去向
主要环境影响		采取的环保措施及排放去向





辐射环境影响	环保措施: 环保措施:一、污染防治措施：1、警示标识：公司 X 射线装置工作场所设置电离辐射警示标志及中文警示说明，并且安装工作警示灯，设备工作时开启警示灯，告诫无关人员勿靠近照射场地。2、屏蔽防护措施：（1）整个SEM机台是由不同厚度的金属组成，各模块之间无缝衔接，样品室需保持一定的真空度，才可以开启电子枪高压，否则无法开启电子枪高压。存储样品的真空样品仓和电子枪部分中的金属壁对产生的X射线进行屏蔽，免于泄漏；（2）离子注入机安装在8mm的钢板底座上，底座上铺设铅板，厚度6.45mm，其中铅的厚度为2.0mm。三边为隔离门，每个门都含有 2.0mm 厚的铅板。另一边为隔离墙。中间为钢结构，两边铺以铅板，天花板也为钢结构，铺以2.0mm的铅版。所有的接缝都铺以额外的铅条以密封。由于离子辐射主要来自离子的加速过程，PurionVXE 离子注入机将离子源，吸极。线性加速单元组成一个独立的空间，该空间的地板，门，隔离墙，天花板都含有2.0mm厚的铅板，组成一个铅密闭的空间。三边为隔离门, 另一边为隔离墙, 所有的接缝都铺以额外的铅条以密封。离子注入机工作时有高压，辐射危险，机台工作时禁止人员进入机台，整个机台四周有隔离门，所有的门都有连锁装置，当门没有完全关闭时，高压将不能开启，当高压开启后，所有的门将自动上锁，防止人员误入机台。同时机台有警告的黄灯亮起。3、防护用品和监测仪器：公司为辐射工作人员配备个人剂量计，配备 1 台辐射监测仪。二、安全管理措施1、有专职管理人员负责辐射安全管理；2、建立规章制度：操作规程、岗位职责、辐射防护和安全保卫制度、设备检修维护制度、射线装置使用登记制度、人员培训计划、监测方案；3、有辐射事故应急措施及定期进行演习；4、个人剂量检定、个人剂量档案、职业健康体检、个人健康档案；5、调试仪器时，工作人员需佩戴个人剂量检测器，参加辐射安全和防护知识培训。
承诺：广州粤 (略) 陈谨承诺所填写各项内容真实、准确、完整，建设项目符合《建设项目环境影响登记表备案管理办法》的规定。如存在弄虚作假、隐瞒欺骗等情况及由此导致的一切后果由广州粤 (略) ，陈谨承担全部责任。
备案回执：该项目环境影响登记表已经完成备案，备案号：*156。

建设项目环境影响登记表

填表日期：2022-09-06

项目名称	广州粤 (略) 透射/扫描电镜能谱分析仪器、新增离子注入机和X射线荧光分析仪利用项目
建设地点	(略) 黄埔 (略) 28号	占地面积（平方米）	*
建设单位	广州粤 (略)	法定代表人	陈谨
项目投资(万元)	*	环保投资(万元)	3827
拟投入生产运营日期	2019-03-01
建设性质	新建
备案依据	该项目属于《建设项目环境影响评价分类管理名录》中应当填报环境影响登记表的建设项目，属于第172 核技术利用建设项目项中销售Ⅰ类、Ⅱ类、Ⅲ类、Ⅳ类、Ⅴ类放射源的；使用Ⅳ类、Ⅴ类放射源的；医疗机构使用植入治疗用放射性粒子源的；销售非密封放射性物质的；销售Ⅱ类射线装置的；生产、销售、使用Ⅲ类射线装置的。
建设内容及规模	一、广州粤 (略) 第三类射线装置利用项目。二、建设规模 1、使用大束流离子注入机（最大管电压 60kV，最大管电流25mA，数量2台）；使用中束流离子注入机（最大管电压 200kV，最大管电流30mA，数量1台）；射线装置具体使用位置：离子注入机使用地点位于12英寸芯片生产厂房3楼洁净车间离子注入区域。2、使用扫描电镜能谱分析仪SEM EDX（最大管电压 6.5kV，最大管电流2nA，数量3台）；使用透射电镜能谱分析仪FIB EDX（最大管电压 10kV，最大管电流1nA，数量1台）；使用扫描电镜能谱分析仪EDR7380 EDX（最大管电压 18kV，最大管电流0.5nA，数量2台）; 使用X射线荧光分析仪（最大管电压 40kV，最大管电流20mA，数量1台）；射线装置使用地点位于12英寸芯片生产厂房3楼洁净车间YE区域。3、使用扫描电镜能谱分析仪SEM EDX（最大管电压30kV，最大管电流2nA，数量1台）；使用透射电镜能谱分析仪SEM EDX（最大管电压 200kV，最大管电流76nA，数量1台）；射线装置使用地点位于12英寸芯片生产厂房1楼QE实验室。
主要环境影响		采取的环保措施及排放去向
主要环境影响		采取的环保措施及排放去向





辐射环境影响	环保措施: 环保措施:一、污染防治措施：1、警示标识：公司 X 射线装置工作场所设置电离辐射警示标志及中文警示说明，并且安装工作警示灯，设备工作时开启警示灯，告诫无关人员勿靠近照射场地。2、屏蔽防护措施：（1）整个SEM机台是由不同厚度的金属组成，各模块之间无缝衔接，样品室需保持一定的真空度，才可以开启电子枪高压，否则无法开启电子枪高压。存储样品的真空样品仓和电子枪部分中的金属壁对产生的X射线进行屏蔽，免于泄漏；（2）离子注入机安装在8mm的钢板底座上，底座上铺设铅板，厚度6.45mm，其中铅的厚度为2.0mm。三边为隔离门，每个门都含有 2.0mm 厚的铅板。另一边为隔离墙。中间为钢结构，两边铺以铅板，天花板也为钢结构，铺以2.0mm的铅版。所有的接缝都铺以额外的铅条以密封。由于离子辐射主要来自离子的加速过程，PurionVXE 离子注入机将离子源，吸极。线性加速单元组成一个独立的空间，该空间的地板，门，隔离墙，天花板都含有2.0mm厚的铅板，组成一个铅密闭的空间。三边为隔离门, 另一边为隔离墙, 所有的接缝都铺以额外的铅条以密封。离子注入机工作时有高压，辐射危险，机台工作时禁止人员进入机台，整个机台四周有隔离门，所有的门都有连锁装置，当门没有完全关闭时，高压将不能开启，当高压开启后，所有的门将自动上锁，防止人员误入机台。同时机台有警告的黄灯亮起。3、防护用品和监测仪器：公司为辐射工作人员配备个人剂量计，配备 1 台辐射监测仪。二、安全管理措施1、有专职管理人员负责辐射安全管理；2、建立规章制度：操作规程、岗位职责、辐射防护和安全保卫制度、设备检修维护制度、射线装置使用登记制度、人员培训计划、监测方案；3、有辐射事故应急措施及定期进行演习；4、个人剂量检定、个人剂量档案、职业健康体检、个人健康档案；5、调试仪器时，工作人员需佩戴个人剂量检测器，参加辐射安全和防护知识培训。
承诺：广州粤 (略) 陈谨承诺所填写各项内容真实、准确、完整，建设项目符合《建设项目环境影响登记表备案管理办法》的规定。如存在弄虚作假、隐瞒欺骗等情况及由此导致的一切后果由广州粤 (略) ，陈谨承担全部责任。
备案回执：该项目环境影响登记表已经完成备案，备案号：*156。

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