长沙市生态环境局岳麓分局关于中南大学微纳加工与器件制造平台实验室项目环境影响评价文件审批前的公示

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长沙市生态环境局岳麓分局关于中南大学微纳加工与器件制造平台实验室项目环境影响评价文件审批前的公示


项目名称

中南大学微 (略) 实验室项目

建设地点

(略) 岳麓 (略) 中南大学新校区已建的工业训练基地A1栋第1层

建设单位

中南大学

环境影响

评价机构

长沙 (略)

项目概况

中南大学拟投资50 (略) 岳麓 (略) 中南大学新校区已建的工业训练基地A1栋(已建)第1层东部局部区域建设“中南大学微 (略) 实验室项目”,总占地面积约900m2,拟开展的实验项目为微纳光电器件制备的实验。

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

运营期环境影响分析:

(1)水环境影响分析

本项目采用污污分流方式,超纯水制备浓水直接排 (略) ;实验类废水中的含重金属刻蚀后冲洗废水经专用管道收集后暂存危废暂存柜,定期交由有资质单位处置,不外排;其余实验废水、超纯水制备反冲洗废水、碱液喷淋 (略) 收集后进入污水处理站 (略) (略) ;生活污水经化粪池预 (略) (略) ;达到《污水综合排放标准》(*)表4中的三级标准后最终汇入岳麓污水处理厂处理达标后外排。

(2)大气环境影响分析

本项目产生的废气主要来源于实验室废气。本项目清洗实验工序、光刻(涂胶、显影)实验、去胶实验等工序均在通风橱进行,通风橱收集排入废气处理设施(TA003);CVD沉积实验、溅射实验、电子束蒸发实验、刻蚀实验等工序均在设备内进行,该设备均全封闭操作,其中CVD沉积实验、刻蚀实验设备分别接入2套Scrubber气体净化设备(TA001、TA002),经Scrubber气体净化设备净化处理后接入废气处理设施(TA003),溅射实验、电子束蒸发实验设备排气口直接接入废气处理设施(TA003),废气收集效率考虑100%。废气处理设施(TA003)为过滤器+二级碱液喷淋+除雾器+活性炭吸附+不低于15m排气筒。

废气污染物氟化物、氯化氢、硫酸雾、氮氧化物、颗粒物、氯气执行《大气污染物综合排放标准》(*)表2中的二级标准及无组织排放监控浓度限值;氨、臭气浓度执行《恶臭污染物排放标准》(*)表1及表2中恶臭污染物的排放标准要求;有组织排放的VOCs参 (略) 地方标准《工业企业挥发性有机物排放控制标准》(DB12/524-2020)表1中排放标准要求,无组织排放的VOCs执行《挥发性有机物无组织排放控制标准》(*)表A.1标准要求。

(3)声环境影响分析

项目属于非工业类项目,声环境污染源很少,主要污染源为试验设备噪声,声级在75~85dB(A),主要布置在室内、东侧空地或本项目所在楼楼顶。噪声源强较小且均为间断噪声,经建筑隔声、距离衰减后,厂界噪声能满足《工业企业厂界噪声排放标准》(*)2类标准,项目噪声不会对周围声环境质量产生明显的不利影响。

(4)固体废物影响分析

运营期间,项目产生的固体废物按性质分为危险废物、一般工业废物、生活垃圾。办公垃圾统一收集后,交由环卫部门处置;一般工业固废(不沾染化学品的一般包装材料)分类收集后交由环卫部门处理;一般工业固废(废石英砂、废活性炭及废RO膜)交由供应商回收;危险废物(废酸液、废碱液、废有机液、废金属靶材、废蒸发材料、废光刻胶、废显影液、废无尘布、废芯片、废紫外灯管、污水处理站污泥、废活性炭、化学试剂废包装材料)暂存学校危废暂存柜后 (略) 外运安全处置。

听证权利告知

依据《中华人民共和国行政许可法》,自公示之日起5个工作日内,申请人、利害关系人可对拟作出的建设项目环境影响评价文件审批意见要求听证。

公众反馈意见

的联系方式

联系方式:0731-*

通讯地址: (略) 岳麓 (略) 1段517号10栋3楼

邮编:*




项目名称

中南大学微 (略) 实验室项目

建设地点

(略) 岳麓 (略) 中南大学新校区已建的工业训练基地A1栋第1层

建设单位

中南大学

环境影响

评价机构

长沙 (略)

项目概况

中南大学拟投资50 (略) 岳麓 (略) 中南大学新校区已建的工业训练基地A1栋(已建)第1层东部局部区域建设“中南大学微 (略) 实验室项目”,总占地面积约900m2,拟开展的实验项目为微纳光电器件制备的实验。

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

运营期环境影响分析:

(1)水环境影响分析

本项目采用污污分流方式,超纯水制备浓水直接排 (略) ;实验类废水中的含重金属刻蚀后冲洗废水经专用管道收集后暂存危废暂存柜,定期交由有资质单位处置,不外排;其余实验废水、超纯水制备反冲洗废水、碱液喷淋 (略) 收集后进入污水处理站 (略) (略) ;生活污水经化粪池预 (略) (略) ;达到《污水综合排放标准》(*)表4中的三级标准后最终汇入岳麓污水处理厂处理达标后外排。

(2)大气环境影响分析

本项目产生的废气主要来源于实验室废气。本项目清洗实验工序、光刻(涂胶、显影)实验、去胶实验等工序均在通风橱进行,通风橱收集排入废气处理设施(TA003);CVD沉积实验、溅射实验、电子束蒸发实验、刻蚀实验等工序均在设备内进行,该设备均全封闭操作,其中CVD沉积实验、刻蚀实验设备分别接入2套Scrubber气体净化设备(TA001、TA002),经Scrubber气体净化设备净化处理后接入废气处理设施(TA003),溅射实验、电子束蒸发实验设备排气口直接接入废气处理设施(TA003),废气收集效率考虑100%。废气处理设施(TA003)为过滤器+二级碱液喷淋+除雾器+活性炭吸附+不低于15m排气筒。

废气污染物氟化物、氯化氢、硫酸雾、氮氧化物、颗粒物、氯气执行《大气污染物综合排放标准》(*)表2中的二级标准及无组织排放监控浓度限值;氨、臭气浓度执行《恶臭污染物排放标准》(*)表1及表2中恶臭污染物的排放标准要求;有组织排放的VOCs参 (略) 地方标准《工业企业挥发性有机物排放控制标准》(DB12/524-2020)表1中排放标准要求,无组织排放的VOCs执行《挥发性有机物无组织排放控制标准》(*)表A.1标准要求。

(3)声环境影响分析

项目属于非工业类项目,声环境污染源很少,主要污染源为试验设备噪声,声级在75~85dB(A),主要布置在室内、东侧空地或本项目所在楼楼顶。噪声源强较小且均为间断噪声,经建筑隔声、距离衰减后,厂界噪声能满足《工业企业厂界噪声排放标准》(*)2类标准,项目噪声不会对周围声环境质量产生明显的不利影响。

(4)固体废物影响分析

运营期间,项目产生的固体废物按性质分为危险废物、一般工业废物、生活垃圾。办公垃圾统一收集后,交由环卫部门处置;一般工业固废(不沾染化学品的一般包装材料)分类收集后交由环卫部门处理;一般工业固废(废石英砂、废活性炭及废RO膜)交由供应商回收;危险废物(废酸液、废碱液、废有机液、废金属靶材、废蒸发材料、废光刻胶、废显影液、废无尘布、废芯片、废紫外灯管、污水处理站污泥、废活性炭、化学试剂废包装材料)暂存学校危废暂存柜后 (略) 外运安全处置。

听证权利告知

依据《中华人民共和国行政许可法》,自公示之日起5个工作日内,申请人、利害关系人可对拟作出的建设项目环境影响评价文件审批意见要求听证。

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