盛联精密气体(上海)有限公司中芯国际12英寸芯片SN1和SN2项目配套大宗气体气站配套气体供应系统(一阶段)安全验收评价

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盛联精密气体(上海)有限公司中芯国际12英寸芯片SN1和SN2项目配套大宗气体气站配套气体供应系统(一阶段)安全验收评价

评价项目名称

盛联精密气体(上海)有限公司中芯国际12英寸芯片SN1和SN2项目配套 (略) 配套气体供应系统(一阶段)安全验收评价

评价类型

安全验收评价

项目基本概况:

2016年由 (略) 区扩大生产,公司原有气体生产能力和供应能力不能满足其需求,故盛联精密气体(上海)有限 (略) 区内开 (略) 技术改造扩建项目,为保证供气质量及提升供气能力,需 (略) 区设 (略) 。经与中芯 (略) 制造(上海)有限公司协商,中芯 (略) 制造(上海) (略) 区西南角预留地块(占地面积约 点击查看>> m2)划定为配套 (略) 配套气体供应系统用地,在地块上新 (略) ,气站内新建了1栋占地面积 点击查看>> m2、建筑面积 点击查看>> m2的纯化用房、1栋占地面积 点击查看>> m2、建筑面积 点击查看>> (略) 及1座占地面积 点击查看>> m2的储罐区。 (略) 分由中芯 (略) 制造(上海)有限公司负责立项及建设,盛联精密气体(上海)有限公司租赁中芯 (略) 制造(上海) (略) 内厂房及用地敷设配套气体供应系统,以用于供应中芯 (略) 制造(上海) (略) 中芯 (略) (略) (略) 需氢气、氮气、氧气、氩气、氦气、压缩空气等气体。盛联精密气体(上海)有限公司根据中芯12英寸芯片SN1和SN2项目开展进展,考虑投资成本,对配套气体供应系统分阶段进行建设,现一阶段已建设内容如下:

类型

建构筑物

建设内容

占地面积(m2)

建筑面积(m2)

火灾危险性类别

耐火等级

建筑物

(略)

3台4000Nm3氢气长管拖车、2台氦气长管拖车、2台150Nm3/h氢气纯化器、2台300Nm3/h氢气过滤器、3台60Nm3/h氦气过滤器及1个10m3液氮储罐

点击查看>>

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二级

纯化用房

3台6000Nm3/h氮气纯化器、2台120Nm3/h氧气纯化器、4台 点击查看>> Nm3/h氮气过滤器、2台 点击查看>> Nm3/h高纯氮气过滤器、2台 点击查看>> Nm3/h压缩空气过滤器、2台6800Nm3/h高纯压缩空气过滤器、4个200m3压缩空气缓冲罐、1台360Nm3/h压缩空气增压机及8套在线分析设备、1台200kW柴油发电机、3台203kW冰水主机(风冷型)、2套报警阀组、2台100m3/h冰水泵

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二级

构筑物

储罐区

1个100m3工艺液氧储罐

点击查看>>

--

点击查看>>

--

2个1200Nm3/h工艺氧气汽化器
2台600Nm3/h工艺氧气过滤器
1个30m3高纯液氧储罐
4台120Nm3/h高纯氧气过滤器
2个200Nm3/h高纯氧气汽化器
1个30m3液氩储罐

戊类

--

2台100Nm3/h氩气过滤器
2个200Nm3/h氩气汽化器

另本项目 (略) 内输气管道的敷设等。

盛联精密气体(上海)有限公司中芯国际12英寸芯片SN1和SN2项目配套 (略) 配套气体供应系统项目一阶段建设内容已于2019年6月安装完成,并于8月初设备投入试运行调试。公司采取分阶段验收模式,特委托上海赛源 (略) 对中芯国际12英寸芯片SN1和SN2项目配套 (略) 配套气体供应系统(一阶段)进行安全验收评价。

地理位置及周边环境描述:

盛联精密气体(上海)有限公司租赁位于中国(上海)自由贸易 (略) (略) 的中芯 (略) 制造(上海) (略) 区西北角 (略) 用地(占地面积约 点击查看>> m2)及厂房用于开展中芯国际12英寸芯片SN1和SN2项目配套 (略) 配套气体供应系统项目, (略) 在地块位于张江高科技园区内,在上海市经信委公布的104个工业区块内, (略) 在区域与盛联精密气体(上海)有 (略) 区的距离约230m。

盛联精密气体(上海)有限公司中芯国际12英寸芯片SN1和SN2项目配套 (略) 配套气体供应系统位于中芯 (略) 制造(上海) (略) 区西北角。 (略) 在厂区 (略) ,隔路为绿化空地,120m为马家浜河道;南 (略) ,隔路为上海华虹宏 (略) 、上海 (略) ; (略) 隔厂区围墙为上海卓多 (略) , (略) (略) ,隔路为日月光封装测试(上海)有限公司及盛联精密气体(上海)有 (略) 区;北面为龙东大道和1条10kV输电线,隔路为东郊花园和梨园新城;东北角 (略) (略) (略) (略) 。

(略) 在地块东侧为中芯国际 (略) 、 (略) 及一般仓库(GWH8),隔围墙 (略) (略) (略) (略) ;南侧 (略) (略) 及生产调度室; (略) 区围墙为上海卓多 (略) ; (略) 区围墙为1条10kV输电线和龙东大道,隔路为东郊花园和梨园新城。

评价项目组长

谷丰

技术负责人

聂同军

过程控制负责人

唐江荣

报告编制人

谷丰、吴婷婷

审核人

蒋爱玲

项目组成员

阎水红、顾佩聪、郑水华、冯秀龙、吴婷婷

现场调查

第一次现场调查的目的和任务:

目的:了解项目基本概况,评价单位周边环境,以及防护间距,现场发现问题。

任务:现场实地调查,资料收集。

结果:收集资料,确定方案。

现场调查人员:谷丰、唐江荣 时间: 点击查看>> .18

第二次现场勘查目的和任务:

目的:核实危险化学品的生产原料,生产工艺,完善评价报告附件资料。

结果:收集补充评价附件资料,单位确认。

现场调查人员:谷丰、唐江荣 时间: 点击查看>> .19

第三次现场勘查目的和任务:

目的:核实现场安全设施及整改情况确认,完善评价报告附件资料。

结果:收集补充评价附件资料,单位确认。

现场调查人员:谷丰、唐江荣 时间: 点击查看>> .12

评价报告完成时间: 点击查看>> .2(包含验收代替生产许可证变更取证)

评价项目名称

盛联精密气体(上海)有限公司中芯国际12英寸芯片SN1和SN2项目配套 (略) 配套气体供应系统(一阶段)安全验收评价

评价类型

安全验收评价

项目基本概况:

2016年由 (略) 区扩大生产,公司原有气体生产能力和供应能力不能满足其需求,故盛联精密气体(上海)有限 (略) 区内开 (略) 技术改造扩建项目,为保证供气质量及提升供气能力,需 (略) 区设 (略) 。经与中芯 (略) 制造(上海)有限公司协商,中芯 (略) 制造(上海) (略) 区西南角预留地块(占地面积约 点击查看>> m2)划定为配套 (略) 配套气体供应系统用地,在地块上新 (略) ,气站内新建了1栋占地面积 点击查看>> m2、建筑面积 点击查看>> m2的纯化用房、1栋占地面积 点击查看>> m2、建筑面积 点击查看>> (略) 及1座占地面积 点击查看>> m2的储罐区。 (略) 分由中芯 (略) 制造(上海)有限公司负责立项及建设,盛联精密气体(上海)有限公司租赁中芯 (略) 制造(上海) (略) 内厂房及用地敷设配套气体供应系统,以用于供应中芯 (略) 制造(上海) (略) 中芯 (略) (略) (略) 需氢气、氮气、氧气、氩气、氦气、压缩空气等气体。盛联精密气体(上海)有限公司根据中芯12英寸芯片SN1和SN2项目开展进展,考虑投资成本,对配套气体供应系统分阶段进行建设,现一阶段已建设内容如下:

类型

建构筑物

建设内容

占地面积(m2)

建筑面积(m2)

火灾危险性类别

耐火等级

建筑物

(略)

3台4000Nm3氢气长管拖车、2台氦气长管拖车、2台150Nm3/h氢气纯化器、2台300Nm3/h氢气过滤器、3台60Nm3/h氦气过滤器及1个10m3液氮储罐

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二级

纯化用房

3台6000Nm3/h氮气纯化器、2台120Nm3/h氧气纯化器、4台 点击查看>> Nm3/h氮气过滤器、2台 点击查看>> Nm3/h高纯氮气过滤器、2台 点击查看>> Nm3/h压缩空气过滤器、2台6800Nm3/h高纯压缩空气过滤器、4个200m3压缩空气缓冲罐、1台360Nm3/h压缩空气增压机及8套在线分析设备、1台200kW柴油发电机、3台203kW冰水主机(风冷型)、2套报警阀组、2台100m3/h冰水泵

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二级

构筑物

储罐区

1个100m3工艺液氧储罐

点击查看>>

--

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--

2个1200Nm3/h工艺氧气汽化器
2台600Nm3/h工艺氧气过滤器
1个30m3高纯液氧储罐
4台120Nm3/h高纯氧气过滤器
2个200Nm3/h高纯氧气汽化器
1个30m3液氩储罐

戊类

--

2台100Nm3/h氩气过滤器
2个200Nm3/h氩气汽化器

另本项目 (略) 内输气管道的敷设等。

盛联精密气体(上海)有限公司中芯国际12英寸芯片SN1和SN2项目配套 (略) 配套气体供应系统项目一阶段建设内容已于2019年6月安装完成,并于8月初设备投入试运行调试。公司采取分阶段验收模式,特委托上海赛源 (略) 对中芯国际12英寸芯片SN1和SN2项目配套 (略) 配套气体供应系统(一阶段)进行安全验收评价。

地理位置及周边环境描述:

盛联精密气体(上海)有限公司租赁位于中国(上海)自由贸易 (略) (略) 的中芯 (略) 制造(上海) (略) 区西北角 (略) 用地(占地面积约 点击查看>> m2)及厂房用于开展中芯国际12英寸芯片SN1和SN2项目配套 (略) 配套气体供应系统项目, (略) 在地块位于张江高科技园区内,在上海市经信委公布的104个工业区块内, (略) 在区域与盛联精密气体(上海)有 (略) 区的距离约230m。

盛联精密气体(上海)有限公司中芯国际12英寸芯片SN1和SN2项目配套 (略) 配套气体供应系统位于中芯 (略) 制造(上海) (略) 区西北角。 (略) 在厂区 (略) ,隔路为绿化空地,120m为马家浜河道;南 (略) ,隔路为上海华虹宏 (略) 、上海 (略) ; (略) 隔厂区围墙为上海卓多 (略) , (略) (略) ,隔路为日月光封装测试(上海)有限公司及盛联精密气体(上海)有 (略) 区;北面为龙东大道和1条10kV输电线,隔路为东郊花园和梨园新城;东北角 (略) (略) (略) (略) 。

(略) 在地块东侧为中芯国际 (略) 、 (略) 及一般仓库(GWH8),隔围墙 (略) (略) (略) (略) ;南侧 (略) (略) 及生产调度室; (略) 区围墙为上海卓多 (略) ; (略) 区围墙为1条10kV输电线和龙东大道,隔路为东郊花园和梨园新城。

评价项目组长

谷丰

技术负责人

聂同军

过程控制负责人

唐江荣

报告编制人

谷丰、吴婷婷

审核人

蒋爱玲

项目组成员

阎水红、顾佩聪、郑水华、冯秀龙、吴婷婷

现场调查

第一次现场调查的目的和任务:

目的:了解项目基本概况,评价单位周边环境,以及防护间距,现场发现问题。

任务:现场实地调查,资料收集。

结果:收集资料,确定方案。

现场调查人员:谷丰、唐江荣 时间: 点击查看>> .18

第二次现场勘查目的和任务:

目的:核实危险化学品的生产原料,生产工艺,完善评价报告附件资料。

结果:收集补充评价附件资料,单位确认。

现场调查人员:谷丰、唐江荣 时间: 点击查看>> .19

第三次现场勘查目的和任务:

目的:核实现场安全设施及整改情况确认,完善评价报告附件资料。

结果:收集补充评价附件资料,单位确认。

现场调查人员:谷丰、唐江荣 时间: 点击查看>> .12

评价报告完成时间: 点击查看>> .2(包含验收代替生产许可证变更取证)

    
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