关于扬州思普尔科技有限公司半导体设备制造及芯片生产(半导体设备制造)项目环境影响评价文件拟批准情况的公示
关于扬州思普尔科技有限公司半导体设备制造及芯片生产(半导体设备制造)项目环境影响评价文件拟批准情况的公示
根据建设项目环境影响评价审批程序的有关规定,经审查,我局拟对1个建设项目环境影响评价文件作出审批意见。为保证此次审查工作的严肃性和公正性,现将拟作出审批意见的环境影响评价文件基本情况予以公示,公示时间为2022年10月12日至2022年10月18。
1、项目名称:半导体设备制造及芯片生产(半导体设备制造)项目
2、建设地点:江苏省扬州高新技术产业开发区 (略) 21号
3、建设单位:扬 (略)
4、环境影响评价机构: (略)
5、项目概况:本项目拟投资*万元,利用已租赁位于扬州高新技术产业开发区 (略) 21号现有厂房,占地面积约*平方米,新建一条6英寸芯片生产线,建设芯片生产项目。项目建成后,可形成年产*片芯片的生产规模。
6、主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施
(1)废气治理措施
本项目产生的废气主要为清洗废气、湿法腐蚀废气、湿法去胶废气、势垒腐蚀废气、减薄腐蚀废气;涂胶有机废气、显影有机废气、去胶有机废气、危废库贮存废气、污水处理站废气。车间酸碱废气经三级喷淋塔+除雾器+离心风机处理后通过15m高排气筒排放;车间有机废气经二级活性炭吸附后通过15m高排气筒排放;危废库贮存废气经二级活性炭吸附后无组织排放;污水处理站废气经一级喷淋塔+除雾器+一级活性炭吸附后通过15m高排气筒排放。
(2)废水治理措施
本项目采取“雨污分流”的原则。本项目产生的废水主要为芯片生产废水、废气吸收废水、设备冲洗废水、制水反冲洗水、制水浓水和生产废水,生活污水经化粪池处理,生产废水经污水处理设施处理后, (略) (略) , (略) 六圩污水处理厂。
(3)噪声治理措施
本项目主要噪声源为空压机组、真空泵、水泵、风机、提升泵等设备运转产生的噪声。本项目从减振、隔声和消声等方面进行综合考虑,采取如低噪声设备、合理布局、减震垫等措施,可有效降低噪声对外环境的影响。
(4)固体废物
本项目产生的固体废物主要为:废光刻胶、废去边剂、废显影液、废钼坩埚、废石墨坩埚、废去胶液、废异*醇、废蓝膜、废芯片、废机油、废过滤筛、废滤芯、废树脂、废活性炭(纯水制备)、废RO膜、废填料、净化塔结晶物、废活性炭、含银镍污泥、含氟污泥、生化污泥、废劳保用品、废包装材料、废化学品包装物。其中废钼坩埚、废石墨坩埚、废蓝膜、废滤芯、废树脂、废活性炭(纯水制备)、废RO膜、生化污泥、废包装材料属于一般固废交由物资回收部门;废光刻胶、废去边剂、废显影液、废去胶液、废异*醇、废芯片、废机油、废过滤筛、废填料、净化塔结晶物、废活性炭、含银镍污泥、废劳保用品、废化学品包装物属于危险废物,定期委托资质单位处理;生活垃圾由环卫部门清运。
7、公众参与情况。我局于2022年9月30日-2022年10月1 (略) 邗江生 (略) 进行了项目环评文件受理公示,公示期间未收到对本项目有关的意见与建议。
8、承诺文件:无。
9、听证权利告知:依据《中华人民共和国行政许可法》,自公示起五日内申请人、利害关系人可对以下拟作出的建设项目环境影响评价文件审批意见要求听证。
联系电话:0514-*?0514-*
传真:0514-*
根据建设项目环境影响评价审批程序的有关规定,经审查,我局拟对1个建设项目环境影响评价文件作出审批意见。为保证此次审查工作的严肃性和公正性,现将拟作出审批意见的环境影响评价文件基本情况予以公示,公示时间为2022年10月12日至2022年10月18。
1、项目名称:半导体设备制造及芯片生产(半导体设备制造)项目
2、建设地点:江苏省扬州高新技术产业开发区 (略) 21号
3、建设单位:扬 (略)
4、环境影响评价机构: (略)
5、项目概况:本项目拟投资*万元,利用已租赁位于扬州高新技术产业开发区 (略) 21号现有厂房,占地面积约*平方米,新建一条6英寸芯片生产线,建设芯片生产项目。项目建成后,可形成年产*片芯片的生产规模。
6、主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施
(1)废气治理措施
本项目产生的废气主要为清洗废气、湿法腐蚀废气、湿法去胶废气、势垒腐蚀废气、减薄腐蚀废气;涂胶有机废气、显影有机废气、去胶有机废气、危废库贮存废气、污水处理站废气。车间酸碱废气经三级喷淋塔+除雾器+离心风机处理后通过15m高排气筒排放;车间有机废气经二级活性炭吸附后通过15m高排气筒排放;危废库贮存废气经二级活性炭吸附后无组织排放;污水处理站废气经一级喷淋塔+除雾器+一级活性炭吸附后通过15m高排气筒排放。
(2)废水治理措施
本项目采取“雨污分流”的原则。本项目产生的废水主要为芯片生产废水、废气吸收废水、设备冲洗废水、制水反冲洗水、制水浓水和生产废水,生活污水经化粪池处理,生产废水经污水处理设施处理后, (略) (略) , (略) 六圩污水处理厂。
(3)噪声治理措施
本项目主要噪声源为空压机组、真空泵、水泵、风机、提升泵等设备运转产生的噪声。本项目从减振、隔声和消声等方面进行综合考虑,采取如低噪声设备、合理布局、减震垫等措施,可有效降低噪声对外环境的影响。
(4)固体废物
本项目产生的固体废物主要为:废光刻胶、废去边剂、废显影液、废钼坩埚、废石墨坩埚、废去胶液、废异*醇、废蓝膜、废芯片、废机油、废过滤筛、废滤芯、废树脂、废活性炭(纯水制备)、废RO膜、废填料、净化塔结晶物、废活性炭、含银镍污泥、含氟污泥、生化污泥、废劳保用品、废包装材料、废化学品包装物。其中废钼坩埚、废石墨坩埚、废蓝膜、废滤芯、废树脂、废活性炭(纯水制备)、废RO膜、生化污泥、废包装材料属于一般固废交由物资回收部门;废光刻胶、废去边剂、废显影液、废去胶液、废异*醇、废芯片、废机油、废过滤筛、废填料、净化塔结晶物、废活性炭、含银镍污泥、废劳保用品、废化学品包装物属于危险废物,定期委托资质单位处理;生活垃圾由环卫部门清运。
7、公众参与情况。我局于2022年9月30日-2022年10月1 (略) 邗江生 (略) 进行了项目环评文件受理公示,公示期间未收到对本项目有关的意见与建议。
8、承诺文件:无。
9、听证权利告知:依据《中华人民共和国行政许可法》,自公示起五日内申请人、利害关系人可对以下拟作出的建设项目环境影响评价文件审批意见要求听证。
联系电话:0514-*?0514-*
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