项目名称

MEMS核心器件产业基地厂房改造项目

建设地点

(略) 龙子 (略) 2016号

建设单位

北 (略) (略)

环境影响评价机构

安徽省柏瑞 (略)

项目概况

项目位于 (略) (略) 2016号原有MEMS核心器件产业园内，本次工程在207号厂房进行机电安装，新增压缩空气系统；新建208号废水处理站等。已批复的MEMS产能提升建设项目主要建设内容为：利用现有102号厂房预留区，改造现有7000平方米的部分厂房，配套新建207号动力厂房及设施，新增生产设备、动力保障设备和配套动力厂房建设及集中供液系统。本次项目为MEMS核心器件产业基地厂房改造工程，为上述两个建设项目的配套，配套2000片/月晶圆工艺制造能力。

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

（1）废气

施工期间做好防尘管理。项目运营期基本无废气产生，针对废除处理站恶臭气体，要求建设单位定期在废水站附近喷洒除臭剂减轻废水站恶臭气体的影响，加强恶臭气体的消减措施。

（2）废水

项目废水主要来源于已建、拟建项目的生产废水，其中含氢氟酸废水主要来自刻蚀工序使用氢氟酸及用高纯水清洗过程，主要污染物为pH、氟化物、COD、BOD、氨氮、SS；含磷废水主要来自湿法刻蚀工序的使用刻蚀液刻蚀后的前段清洗废水，主要污染物为磷酸等；酸碱废水主要产生于芯片加工过程中使用硫酸、磷酸等超纯试剂以及超纯水对生产硅片进行清洗的过程和废气处理过程。

本项目在现有废水处理站的基础上，新建208号废水处理站，对园区废水处理能力进行提质升级，新建废水站新增含磷、含氟废水处理系统和酸碱废水处理系统，新增的一套含氟、含磷废水处理系统拟采用与现有工艺相同的絮凝沉淀法，新增的一套废水中和处理系统拟采用与现有工艺相同的自动投加酸碱液法，处理工艺满足污水处理的需求。项目污水处理站处理后的废水取 (略) 第二污水处理厂接管标准及《电子工业水污染物排放标准》（*）表1中水污染物间接排放限值。

（3）固废

项目新建污水站内有污泥和设备维修废机油。项目依托现有的危废暂存库对危废进行暂存，厂区已建有一座危险废物暂存间，建筑面积为270m²，项目污泥根据危废鉴定结论按照一般固废处理，废机油为危险废物，在危废间暂存后定期委托有资质单位进行安全处置。危险废物暂存间按照《危险废物贮存污染控制标准》（GB*－2001）及标准修改单（公告2013年第36号）、《危险废物收集贮存运输技术规范》（HJ2025－2012）中相关要求进行，且按照GB*.2-1995的规定设置好相关警示标志。

（4）噪声

项目建项目建成后各主要噪声设备选取安装低噪设备、基础减振、厂房封闭式生产隔声等经降噪措施及距离衰减后对厂界的影响值均较小，项目北侧、南侧、东侧及周边敏感点执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》(*)1类标准、项目西侧执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》(*)4类标准。

公众参与情况

我局受理该项目环评文件后， (略) 生 (略) 站进行了环境影响报告表全本公示，公示期间未收到反馈信息。

听证权利告知

依据《中华人民共和国行政许可法》第四十七条的规定，自公示起五个工作日内申请人、利害关系人可对该项目拟作出的建设项目环境影响评价文件审批意见要求听证，逾期不提交听证申请的，视为放弃听证权利。或者依据《中华人民共和国行政许可法》第三十六条的规定到本机关进行陈述、申辩。逾期不到的，视为放弃陈述、申辩权。

相关部门意见

蚌埠经济开发区经贸发展局项目备案表（项目代码2207-*-04-02-*）

项目名称

MEMS核心器件产业基地厂房改造项目

建设地点

(略) 龙子 (略) 2016号

建设单位

北 (略) (略)

环境影响评价机构

安徽省柏瑞 (略)

项目概况

项目位于 (略) (略) 2016号原有MEMS核心器件产业园内，本次工程在207号厂房进行机电安装，新增压缩空气系统；新建208号废水处理站等。已批复的MEMS产能提升建设项目主要建设内容为：利用现有102号厂房预留区，改造现有7000平方米的部分厂房，配套新建207号动力厂房及设施，新增生产设备、动力保障设备和配套动力厂房建设及集中供液系统。本次项目为MEMS核心器件产业基地厂房改造工程，为上述两个建设项目的配套，配套2000片/月晶圆工艺制造能力。

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

（1）废气

施工期间做好防尘管理。项目运营期基本无废气产生，针对废除处理站恶臭气体，要求建设单位定期在废水站附近喷洒除臭剂减轻废水站恶臭气体的影响，加强恶臭气体的消减措施。

（2）废水

项目废水主要来源于已建、拟建项目的生产废水，其中含氢氟酸废水主要来自刻蚀工序使用氢氟酸及用高纯水清洗过程，主要污染物为pH、氟化物、COD、BOD、氨氮、SS；含磷废水主要来自湿法刻蚀工序的使用刻蚀液刻蚀后的前段清洗废水，主要污染物为磷酸等；酸碱废水主要产生于芯片加工过程中使用硫酸、磷酸等超纯试剂以及超纯水对生产硅片进行清洗的过程和废气处理过程。

本项目在现有废水处理站的基础上，新建208号废水处理站，对园区废水处理能力进行提质升级，新建废水站新增含磷、含氟废水处理系统和酸碱废水处理系统，新增的一套含氟、含磷废水处理系统拟采用与现有工艺相同的絮凝沉淀法，新增的一套废水中和处理系统拟采用与现有工艺相同的自动投加酸碱液法，处理工艺满足污水处理的需求。项目污水处理站处理后的废水取 (略) 第二污水处理厂接管标准及《电子工业水污染物排放标准》（*）表1中水污染物间接排放限值。

（3）固废

项目新建污水站内有污泥和设备维修废机油。项目依托现有的危废暂存库对危废进行暂存，厂区已建有一座危险废物暂存间，建筑面积为270m²，项目污泥根据危废鉴定结论按照一般固废处理，废机油为危险废物，在危废间暂存后定期委托有资质单位进行安全处置。危险废物暂存间按照《危险废物贮存污染控制标准》（GB*－2001）及标准修改单（公告2013年第36号）、《危险废物收集贮存运输技术规范》（HJ2025－2012）中相关要求进行，且按照GB*.2-1995的规定设置好相关警示标志。

（4）噪声

项目建项目建成后各主要噪声设备选取安装低噪设备、基础减振、厂房封闭式生产隔声等经降噪措施及距离衰减后对厂界的影响值均较小，项目北侧、南侧、东侧及周边敏感点执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》(*)1类标准、项目西侧执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》(*)4类标准。

公众参与情况

我局受理该项目环评文件后， (略) 生 (略) 站进行了环境影响报告表全本公示，公示期间未收到反馈信息。

听证权利告知

依据《中华人民共和国行政许可法》第四十七条的规定，自公示起五个工作日内申请人、利害关系人可对该项目拟作出的建设项目环境影响评价文件审批意见要求听证，逾期不提交听证申请的，视为放弃听证权利。或者依据《中华人民共和国行政许可法》第三十六条的规定到本机关进行陈述、申辩。逾期不到的，视为放弃陈述、申辩权。

相关部门意见

蚌埠经济开发区经贸发展局项目备案表（项目代码2207-*-04-02-*）