盛美半导体设备（上海）股份有限公司研发项目

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盛美半导体设备（上海）股份有限公司研发项目

项目名称
盛美半导体设备（上海）股份有限公司研发项目
项目名称
盛美半导体设备（上海）股份有限公司研发项目
建设地点
浦东新区张江高科技 (略) 1690号第4幢
所属行业
研究和试验发展
项目内容
本项目主要从事精密的半导体用电镀设备、无应力抛光设备、清洗设备及化学刻蚀相关工艺参数的研发。实验设备中有不同的腔体用于模拟相应的实验研发操作，实验参数用于指导后续设备生产参数的设定。
建设单位名称
盛美半导体设备（上海） (略)
建设单位地址
(略) 浦东 (略) 1690号4号楼
建设单位联系人
代先生
联系电话
*
电子邮箱
yingwei.*@*cmrcsh.com
传真
／
环评机构名称
上海益 (略)
拟报批的环境影响报告表全文
项目名称
盛美半导体设备（上海）股份有限公司研发项目
项目名称
盛美半导体设备（上海）股份有限公司研发项目
建设单位
盛美半导体设备（上海） (略)
所属行业
研究和试验发展
建设地点
浦东新区张江高科技 (略) 1690号第4幢
项目基本信息
公司拟在上海张江高科技 (略) 1690号第4幢新增半导体用电镀设备、抛光设备、单片清洗设备、封装机台刻蚀机等相关工艺参数的研发，并对部分环保治理设施进行改造。项目总投资*元，其中环保投资*元。
设计单位
盛美半导体设备（上海） (略)
计划开工日期
2022-07-01
环评项目登记号
115-38-22-268
环评批文文号
沪浦环保许评[2022]192号
环评批文日期
2022-06-27
联系人
马浩
联系电话
*
电子邮箱
hao.*@*cmrcsh.com
实际开工日期
2022-07-01
实际开工日期
2022-07-01
施工期环保措施落实情况（pdf）
盛美张江研发项目施工期环保措施落实情况报告.pdf点击下载
施工期环境监测结果（pdf）
开始调试日期
竣工日期
开始调试日期
联系人
联系电话
非重大调整报告（pdf）
环保措施落实情况（pdf）
公示起始日期
公示起始日期
验收报告
项目名称
盛美半导体设备（上海）股份有限公司研发项目
项目名称
盛美半导体设备（上海）股份有限公司研发项目
建设地点
浦东新区张江高科技 (略) 1690号第4幢
所属行业
研究和试验发展
项目内容
本项目主要从事精密的半导体用电镀设备、无应力抛光设备、清洗设备及化学刻蚀相关工艺参数的研发。实验设备中有不同的腔体用于模拟相应的实验研发操作，实验参数用于指导后续设备生产参数的设定。
建设单位名称
盛美半导体设备（上海） (略)
建设单位地址
(略) 浦东 (略) 1690号4号楼
建设单位联系人
代先生
联系电话
*
电子邮箱
yingwei.*@*cmrcsh.com
传真
／
环评机构名称
上海益 (略)
拟报批的环境影响报告表全文
项目名称
盛美半导体设备（上海）股份有限公司研发项目
项目名称
盛美半导体设备（上海）股份有限公司研发项目
建设单位
盛美半导体设备（上海） (略)
所属行业
研究和试验发展
建设地点
浦东新区张江高科技 (略) 1690号第4幢
项目基本信息
公司拟在上海张江高科技 (略) 1690号第4幢新增半导体用电镀设备、抛光设备、单片清洗设备、封装机台刻蚀机等相关工艺参数的研发，并对部分环保治理设施进行改造。项目总投资*元，其中环保投资*元。
设计单位
盛美半导体设备（上海） (略)
计划开工日期
2022-07-01
环评项目登记号
115-38-22-268
环评批文文号
沪浦环保许评[2022]192号
环评批文日期
2022-06-27
联系人
马浩
联系电话
*
电子邮箱
hao.*@*cmrcsh.com
实际开工日期
2022-07-01
实际开工日期
2022-07-01
施工期环保措施落实情况（pdf）
盛美张江研发项目施工期环保措施落实情况报告.pdf点击下载
施工期环境监测结果（pdf）
开始调试日期
竣工日期
开始调试日期
联系人
联系电话
非重大调整报告（pdf）
环保措施落实情况（pdf）
公示起始日期
公示起始日期
验收报告
    
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