项目

名称

建设

地点

建设

单位

建设项目概况

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

研发中心建设项目

义安经济开发区

安徽富乐德长江半 (略)

项目拟依托厂区内现有生产车间500m²建设研发中心，新增膜剥离装置D (自动)、片面(裏面)研磨机、CMP研磨机等研发设备，从事半导体晶圆再生的研发生产。项目总投资*万元，其中环保投资*元。

（一）废气：项目去膜（金属膜/非金属膜）、酸腐蚀、一次洗净、抛光后洗净和最终洗净工序产生的氟化氢、氮氧化物、氯化氢和醋酸雾通过“密闭通风橱+风管收集”后，依托高制程半导体晶圆再生线建设项目配套的1套“一级碱液净化塔”处理后通过1根30m高排气筒排放；项目一次洗净、抛光后洗净和最终洗净工序产生的氨通过“密闭通风橱+风管收集”后，依托高制程半导体晶圆再生线建设项目配套的1套“一级酸液净化塔”处理后通过1根30m高排气筒排放。废气排放执行《大气污染物综合排放标准》（GB *-1996）表2中排放限值，氨执行《恶臭污染物排放标准》（GB *-93）表1中厂界标准值以及表2中排放标准值。

（二）废水：按照“分类收集、分质处理”，项目研磨废水、含氟废水、含氨废水、酸碱废水和废水处理浓水等生产废水分别依托现有相应的污水处理设施处理后与纯水制备浓水进入放流池搅拌均化处理后，满足《半导体行业水污染物排放标准》（DB 34/4294-2022）表2中间接排放限值和表3中单位产品基准排水量及钟顺污水处理厂接管限值要求， (略) (略) 接入钟顺污水处理厂进一步处理；二次清洗废水、含氨清洗废水、研磨清洗废水、清洗回收水等分别依托现有的回收水处理系统处理后回用于生产，不外排。生活污水经隔油池、化粪池预 (略) (略) 接入钟顺污水处理厂进一步处理。

（三）噪声：选用低噪声设备，对产噪声设备采取隔声、消声、减振等措施，确保厂界噪声达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB *-2008）中3类标准要求。

（四）固废：产生的固废进行分类收集，一般固废：废硅片退回给委托单位；废研磨、废过滤和吸附材料外卖综合利用；含氟废水处理污泥委托有处理能力单位处理。危险废物：其他废水物化处理污泥、废树脂和其他沾染毒性物料废包装材料分类收集后危废暂存间暂存，定期交由有资质的单位处置。生活垃圾集中收集后交由环卫部门统一清运。

检测中心建设项目

义安经济开发区

安徽富乐德长江半 (略)

项目拟依托厂区内现有生产车间500m²建设检测中心，检测实验室布置厚度/形状分类装置（RPW-3085i）、四探针、边缘光学显微镜、测厚仪、颗粒测定仪、气相分解装置（VPD）、离子色谱仪等检测仪器等，其他物理检测布置于生产车间内受入、分类室和中间检查室等。项目总投资*元，其中环保投资*元。

（一）废气：项目去膜分解液、淋洗液配置以及金属离子检测等工序产生的氟化氢、氯化氢和氮氧化物通过“密闭通风橱+设备尾气管道”收集后，依托高制程半导体晶圆再生线建设项目配套的1套“一级碱液净化塔”处理后通过1根30m高排气筒排放。废气排放执行《大气污染物综合排放标准》（GB *-1996）表2中排放限值。

（二）废水：项目检测废液、器皿和检测设备清洗废水等生产废水依托现有含氟废水处理设施处理后与纯水制备浓水进入放流池搅拌均化处理后，满足《半导体行业水污染物排放标准》（DB 34/4294-2022）表2中间接排放限值和表3中单位产品基准排水量及钟顺污水处理厂接管限值要求， (略) (略) 接入钟顺污水处理厂进一步处理。生活污水经隔油池、化粪池预 (略) (略) 接入钟顺污水处理厂进一步处理。

（三）噪声：本项目新增主要的设备均为实验检测设备，无产噪设备，废气处理装置风机和纯水制备装置均依托现有工程。

（四）固废：产生的固废进行分类收集，一般固废：不合格硅片退回给委托单位。危险废物：废试剂空瓶收集后危废暂存间暂存，定期交由有资质的单位处置。生活垃圾集中收集后交由环卫部门统一清运。

高制程半导体晶圆再生线建设项目

义安经济开发区

安徽富乐德长江半 (略)

(略) 现有生产车间2000m²，建设一条高制程半导体晶圆再生产线，购置国内外先进的全套高精密再生设备数百台套，项目建成后可形成年再生*枚300mm高制程半导体晶圆生产能力。项目总投资*万元，其中环保投资*元。

（一）废气：去膜工序产生的酸性废气通过管道集中收集后进入主管输送至现有一套三级碱喷淋装置处理后通过1根25米高排气筒排放；酸腐蚀工序、一次洗净、抛光后洗净工序和最终洗净工序产生的酸性废气经收集后通过废气管道进入新增的1套一级碱喷淋装置处理后通过1根30m高排气筒排放；一次洗净和抛光后洗净、最终洗净工序以及含氨废水处理设施产生的碱性废气收集后经新增的1套一级酸喷淋装置处理后通过1根25m高排气筒排放。

（二）废水：雨污分流，含氟废水、酸碱废水、研磨废水、含氨废水、含氨回收水、研磨回收水和清洗回收水等依托厂区现有的污水处理站处理后，汇同纯水制备浓水通过生产废 (略) (略) 进入钟顺污水处理厂进一步处理；生活污水经油水分离器和化粪池预 (略) (略) 接入钟顺污水处理厂进一步处理。

（三）噪声：选用低噪声设备，对产噪声设备采取隔声、消声、减振等措施，确保厂界噪声达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB *-2008）中3类标准要求。

（四）固废：产生的固废进行分类收集，一般固废：产生的废硅片退回委托单位，废研磨轮、废过滤和吸附材料外卖综合利用，含氟废水处理污泥委托有处理能力单位处置。危险废物：其他废水物化处理污泥、废树脂、其他沾染毒性物料废包装材料和废原料桶分类收集后危废暂存间暂存，定期交由有资质的单位处置。生活垃圾集中收集后交由环卫部门统一清运。

项目

名称

建设

地点

建设

单位

建设项目概况

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

研发中心建设项目

义安经济开发区

安徽富乐德长江半 (略)

项目拟依托厂区内现有生产车间500m²建设研发中心，新增膜剥离装置D (自动)、片面(裏面)研磨机、CMP研磨机等研发设备，从事半导体晶圆再生的研发生产。项目总投资*万元，其中环保投资*元。

（一）废气：项目去膜（金属膜/非金属膜）、酸腐蚀、一次洗净、抛光后洗净和最终洗净工序产生的氟化氢、氮氧化物、氯化氢和醋酸雾通过“密闭通风橱+风管收集”后，依托高制程半导体晶圆再生线建设项目配套的1套“一级碱液净化塔”处理后通过1根30m高排气筒排放；项目一次洗净、抛光后洗净和最终洗净工序产生的氨通过“密闭通风橱+风管收集”后，依托高制程半导体晶圆再生线建设项目配套的1套“一级酸液净化塔”处理后通过1根30m高排气筒排放。废气排放执行《大气污染物综合排放标准》（GB *-1996）表2中排放限值，氨执行《恶臭污染物排放标准》（GB *-93）表1中厂界标准值以及表2中排放标准值。

（二）废水：按照“分类收集、分质处理”，项目研磨废水、含氟废水、含氨废水、酸碱废水和废水处理浓水等生产废水分别依托现有相应的污水处理设施处理后与纯水制备浓水进入放流池搅拌均化处理后，满足《半导体行业水污染物排放标准》（DB 34/4294-2022）表2中间接排放限值和表3中单位产品基准排水量及钟顺污水处理厂接管限值要求， (略) (略) 接入钟顺污水处理厂进一步处理；二次清洗废水、含氨清洗废水、研磨清洗废水、清洗回收水等分别依托现有的回收水处理系统处理后回用于生产，不外排。生活污水经隔油池、化粪池预 (略) (略) 接入钟顺污水处理厂进一步处理。

（三）噪声：选用低噪声设备，对产噪声设备采取隔声、消声、减振等措施，确保厂界噪声达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB *-2008）中3类标准要求。

（四）固废：产生的固废进行分类收集，一般固废：废硅片退回给委托单位；废研磨、废过滤和吸附材料外卖综合利用；含氟废水处理污泥委托有处理能力单位处理。危险废物：其他废水物化处理污泥、废树脂和其他沾染毒性物料废包装材料分类收集后危废暂存间暂存，定期交由有资质的单位处置。生活垃圾集中收集后交由环卫部门统一清运。

检测中心建设项目

义安经济开发区

安徽富乐德长江半 (略)

项目拟依托厂区内现有生产车间500m²建设检测中心，检测实验室布置厚度/形状分类装置（RPW-3085i）、四探针、边缘光学显微镜、测厚仪、颗粒测定仪、气相分解装置（VPD）、离子色谱仪等检测仪器等，其他物理检测布置于生产车间内受入、分类室和中间检查室等。项目总投资*元，其中环保投资*元。

（一）废气：项目去膜分解液、淋洗液配置以及金属离子检测等工序产生的氟化氢、氯化氢和氮氧化物通过“密闭通风橱+设备尾气管道”收集后，依托高制程半导体晶圆再生线建设项目配套的1套“一级碱液净化塔”处理后通过1根30m高排气筒排放。废气排放执行《大气污染物综合排放标准》（GB *-1996）表2中排放限值。

（二）废水：项目检测废液、器皿和检测设备清洗废水等生产废水依托现有含氟废水处理设施处理后与纯水制备浓水进入放流池搅拌均化处理后，满足《半导体行业水污染物排放标准》（DB 34/4294-2022）表2中间接排放限值和表3中单位产品基准排水量及钟顺污水处理厂接管限值要求， (略) (略) 接入钟顺污水处理厂进一步处理。生活污水经隔油池、化粪池预 (略) (略) 接入钟顺污水处理厂进一步处理。

（三）噪声：本项目新增主要的设备均为实验检测设备，无产噪设备，废气处理装置风机和纯水制备装置均依托现有工程。

（四）固废：产生的固废进行分类收集，一般固废：不合格硅片退回给委托单位。危险废物：废试剂空瓶收集后危废暂存间暂存，定期交由有资质的单位处置。生活垃圾集中收集后交由环卫部门统一清运。

高制程半导体晶圆再生线建设项目

义安经济开发区

安徽富乐德长江半 (略)

(略) 现有生产车间2000m²，建设一条高制程半导体晶圆再生产线，购置国内外先进的全套高精密再生设备数百台套，项目建成后可形成年再生*枚300mm高制程半导体晶圆生产能力。项目总投资*万元，其中环保投资*元。

（一）废气：去膜工序产生的酸性废气通过管道集中收集后进入主管输送至现有一套三级碱喷淋装置处理后通过1根25米高排气筒排放；酸腐蚀工序、一次洗净、抛光后洗净工序和最终洗净工序产生的酸性废气经收集后通过废气管道进入新增的1套一级碱喷淋装置处理后通过1根30m高排气筒排放；一次洗净和抛光后洗净、最终洗净工序以及含氨废水处理设施产生的碱性废气收集后经新增的1套一级酸喷淋装置处理后通过1根25m高排气筒排放。

（二）废水：雨污分流，含氟废水、酸碱废水、研磨废水、含氨废水、含氨回收水、研磨回收水和清洗回收水等依托厂区现有的污水处理站处理后，汇同纯水制备浓水通过生产废 (略) (略) 进入钟顺污水处理厂进一步处理；生活污水经油水分离器和化粪池预 (略) (略) 接入钟顺污水处理厂进一步处理。

（三）噪声：选用低噪声设备，对产噪声设备采取隔声、消声、减振等措施，确保厂界噪声达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB *-2008）中3类标准要求。

（四）固废：产生的固废进行分类收集，一般固废：产生的废硅片退回委托单位，废研磨轮、废过滤和吸附材料外卖综合利用，含氟废水处理污泥委托有处理能力单位处置。危险废物：其他废水物化处理污泥、废树脂、其他沾染毒性物料废包装材料和废原料桶分类收集后危废暂存间暂存，定期交由有资质的单位处置。生活垃圾集中收集后交由环卫部门统一清运。