项目名称

CVD钻石及半导体材料、金刚石生产

建设地点

(略) 邵阳经济开发区电子信息产业园标准厂房B区第8栋

建设单位

湖南良 (略)

环境影响

评价机构

江苏圣泰 (略)

项目概况

CVD钻石及半导体材料、金刚石生产， (略) 邵阳经济开发区电子信息产业园标准厂房B区第8栋，用地面积1700m²，项目总投资30000万元，其中环保投资26万元。

本项目主要由主体工程、辅助工程、公用工程和环保工程组成。主体工程包括1栋厂房；辅助工程包括办公区、生活区；公用工程包括供水、排水、供电；环保工程包括废水防治措施、废气防治措施、噪声防治措施、固废防治措施。

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

施工期环境影响：

本项目计划建设期为2个月，利用现有厂房，施工期大部分内容仅为设备的安装，不涉及大的土房建设工程，且施工作业区域均位于场内现有的生产装置区内部, 在加强施工管理，做好施工扬尘防治、施工固废处置的前提下，项目施工对区域环境质量造成的不利影响较小。

营运期环境影响：

1、废水：

本项目废水来源为员工生活污水和食堂废水，废水产排情况及达标分析、污染治理设施信息、排污口设置见下表。

废水产排情况分析：

（1）生活污水

项目定员100人，不提供住宿，参照《 (略) 用水定额》（DB 43/T388-2020）办公楼用水及区域实际用水情况，用水定额按40L/人·d计，年工作时长350天，则生活用水量为4m3/d、1400t/a。

根据《给水排水设计手册》（第5册）中典型生活污水水质分析，本项目的生活污水污染物排放浓度分别为：COD≤500 mg/L、BOD5≤350 mg/L、SS≤400 mg/L、NH3-N≤50 mg/L、TN≤40 mg/L、TP≤4mg/L。

（2）食堂废水

项目食堂预计每天提供三顿饭，在食堂就餐人数每顿每次约40人，按照《建筑给水排水设计标准》（GB50015-2019），职工食堂用水平均日定额为15～20L/人·次，取20L/人·次计，年工作时长350天，则厨房总用水量为2.4m3/d，840t/a，产污系数按0.8计算，则生活污水产生量为1.92m3/d、672t/a。

根据《给水排水设计手册》（第5册）中典型生活污水水质分析，食堂污水中各种污染物浓度分别为COD≤500mg/L、BOD5≤300mg/L、SS≤300 mg/L、氨氮≤40mg/L、动植物油≤50mg/L、TN≤35mg/L、TP≤4mg/L。

根据《 (略) 进站路污水处理厂环境影响报告书》，污水处理厂进水浓度为：COD≤350 mg/L、BOD5≤300 mg/L、SS≤200 mg/L、NH3-N≤40 mg/L，生活污水和食堂废水经隔油池和化粪池处理达《污水综合排放标准》（GB8979-1996）三级标准和污水处理厂较严值后经园区污水管网排入进站路污水处理厂进行处理达《城镇污水处理厂污染物排放标准》（GB18918-2002）中一级A标准后排入资江。

???2、废气：

（1）产污环节和污染物种类

本项目废气主要来源于清洗过程中产生的*醇废气、 CVD 沉积尾气、激光切割、抛光产生的粉尘（颗粒物）。

污染物产生和排放源强核算

1）*醇废气

项目在原料体前处理时需要使用*醇和超纯水进行清洗，按建设单位提供，*醇每日用量为5ml，年工作350天，*醇年使用量为1.4kg/a，考虑*醇易挥发，废气产生量按100%产生计算，故*醇废气年产生量约1.4kg，少量*醇废气无组织排放量为0.0014t/a。

2）CVD沉积尾气

根据生产部门介绍，在CVD 系统工作时，通入的气体主要为氢气、*烷和二氧化碳，在CVD 系统中进行等离子化，形成含碳活性基团和原子氢、氧，反应后生成水和碳，其中碳绝大部分沉积在基体上从而生成人造金刚石，多余的氢气和二氧化碳等排出，该气体在工作时是连续排放的。

在反应过程中，整个沉积系统的温度可达到上千度，从通入的气体来看，元素以 C、H、O为主，因此不可能生成有机卤化物；并且由于通入的气体中氢气较多，反应环境基本为还原性。

根据业主技术部门介绍，项目CVD ?沉积系统排放的尾气中主要以氢气为主，其中氢气含量3.56t/a、反应产生的氢气量约为0.5736t/a，二氧化碳含量0.3195t/a、未反应完全的*烷（0.8kg），由于未反应完的*烷气体极少，本环评只作定性分析。

CVD沉积完成后在金刚石种晶表面生长了金刚石单晶（SCD），产生的沉积废气绝大部分是氢气，且反应后氢气体积大体不变甚至略有增加，500sccm的氢气输入可以认为有500sccm的氢气输出即500mL/min（8.3mL/s），350台设备就是175L/min，而350台设备所处空间的至少为2（长）*1（宽）*2（高）*350=1400m3,每分钟排出氢气的体积浓度为1.25×10-4,每台设备机械泵直径约为140mm，长度约为1.5m，就算按机械泵所处的狭小空间，一分钟排出的氢气也仅占2.38*10-3，而氢气的爆炸（燃烧）体积浓度为≥4%，一台排气扇的流量至少为5m3/s，考虑到氢气很轻，所以只要保持空气流动，没有明火，氢气直接排到大气中也基本没有任何危险。

3）激光切割废气

本项目原料所用晶种本身体积及重量很小，一片仅 0.03g，本项目使用晶种为*片，晶种总量仅为 0.02**=10kg，根据同类生产厂家的类比调查，切割工段粉尘产尘系数约为0.1kg/kg（原料），切割粉尘无组织排放量为0.001t/a。

4）抛光废气

本项目抛光废气主要来自于抛光工序，根据同类生产厂家的类比调查，抛光工段粉尘产尘系数约为0.15kg/kg（产品），本项目产品总量约为100kg，抛光粉尘无组织排放量为0.015t/a。

5）食堂油烟

本项且油烟废气指食物烹饪和食品加工过程中挥发的油脂、有机质及热氧化和热裂解产生的混合物，其含有食用油及食品在高温下的挥发物、食用油和食品因氧化、裂解、水解而聚合形成的醛类、酮类以及多环芳烃等，成分非常复杂，并伴有刺鼻的味道。

项目设有一个食堂，就餐人数每次约100人，全年工作日为350天，燃料使用液化石油气,人均日使用食用油约30g/d，一般油烟挥发量占使用量的2.5%，则项目油烟产生总量约为75g/d，0.02625t/a，食堂设有1个灶头, 每天按工作时间2小时计。食堂安装油烟净化器处理，油烟净化器总排风量为8000m3/h，则油烟废气产生浓度为4.6875mg/m3，油烟净化率为60%，则油烟排放量为0.0105t/a，排放浓度为1.875mg/m3，食堂油烟满足《饮食业油烟排放标准（试行）》（GB18483-2001）表2中小型油烟净化器最高允许排放浓度≤2.0mg/m3。

3、噪声

本项目噪声主要为气相沉积设备、冷水机、气体发生器、激光切割机、抛光机、超声波清洗机、冷却塔、超纯水制备机、空压机等生产设备运行时产生的噪声，类比同行业，项目设备的噪声值在 75~90dB（A），为防止噪声污染，项目采取隔声、消声、减振等降噪措施，隔声量15dB，本次评价对整个生产车间进行整体声源预测。

项目工作时长采用24小时制度，项目主要噪声源来源于生产车间，生产厂房包含气相沉积区、研磨抛光区、清洗区、激光切割区等。生产厂房内的设备噪声声级约为75～90 dB（A），生产厂房距离各厂界的距离分别为：东侧28m，南侧30m、西侧25m、北侧32m。项目高噪声设备（气相沉积设备、冷水机、气体发生器、激光切割机、抛光机、超声波清洗机等设备）加装减振装置，对产生气流噪声的安装消声装置（如风机），同时，生产厂房墙体具有一定的隔声、降噪效果，上述措施预计可消减15 dB的噪声，利用上述的预测评价数学模型，将噪声源强作为一个整体考虑（考虑叠加后，整体噪声值约为90dB（A），采取措施后昼间噪声值约为75dB（A））。

4、固体废物：

本项目产生的固体废物主要为超纯水制备过程中机械杂质S1-1、过滤中定期更换的废活性炭S1-2、废膜S1-2、废树脂S1-4，晶体制备过程中基体检验产生的不合格品S2-1、切割成型过程产生的边角料S2-2、切割废渣S2-3、炉壁内沉积碳、废包装材料、纯水制备氢气过程中产生的废干燥剂、员工生活垃圾。

（1）纯水制备过程中产生的固废

本项目在超纯水制备过程中机械过滤步骤主要过滤到自来水中的漂浮物，因自来水杂质较少，机械过滤的杂质年产生量约为0.001t/a。

每半年更换一次活性炭，废活性炭产生量约为0.05t/a；每三个月更换一次反渗透膜，废渗透膜产生量约为0.01t/a；每年更换一次树脂，废树脂产生量约为0.5t/a。

（2）不合格品

项目使用的金刚石晶体使用前需检验，不符合要求的需废弃，根据建设单位提供的资料，产生的不合格品约0.001t/a。

（3）边角料和切割废渣

CVD系统沉积后，需要对沉积后金刚石进行处理，把金刚石表面多晶和不规整的地方切掉会产生一定量的切割料，根据项目碳元素平衡图可知边角料和切割废渣产生量约0.577t/a，含水率90%，故切割废渣总量为5.77t/a。

（4）炉壁内沉积碳

在*烷中的碳原子被分子化后沉积形成金刚石半成品的过程中，一部分的碳原子会附着在沉积室炉壁内形成的沉积碳，炉内壁的沉积碳每个生长周期结束都需要清理，主要采用吸尘器以及擦拭处理，根据项目碳元素平衡图年产生量约为1.038t。

（5）废包装材料

根据建设单位提供的资料，*醇每年使用4瓶，废*醇瓶产生量约0.004t/a，*醇易挥发且项目使用量较少，根据《国家危险废物名录》，不含有或沾染毒性、感染性危险废物的废气包装桶，原则上不属于危险废物，。金刚石晶体包装袋产生量约0.005t/a，废包装材料合计产生量为0.009t/a。

（6）废膜和干燥剂

纯水制备氢气过程中使用SEP离子交换膜，离子交换膜与水接触，根据企业提供的信息，一台氢气发生器膜用量为0.005kg，半年更换一次，则60台氢气发生器废膜产生量为0.6t/a；氢气发生器的干燥剂每半年更换一次，废干燥剂年产生量为0.02t/a。

（8）生活垃圾

项目员工人数为 100 人，生活垃圾按 0.5kg/人·天计算，则项目生活垃圾产生量为 17.5t/a，生活垃圾经收集后交由园区环卫部门统一进行清运。

固体废物属性判定：根据《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》《固体废物鉴别标准 通则》（GB34330-2017），对建设项目产生的物质（除目标产物，即：产品、副产品外），依据产生来源、利用和处置过程鉴别属于固体废物并且作为固体废物管理的物质，应按照根据《一般固体废物分类与代码》（GB/T39198-2020）、《国家危险废物名录》（2021年版）、《危险废物鉴别标准通则》进行属性判定。

项目名称

CVD钻石及半导体材料、金刚石生产

建设地点

(略) 邵阳经济开发区电子信息产业园标准厂房B区第8栋

建设单位

湖南良 (略)

环境影响

评价机构

江苏圣泰 (略)

项目概况

CVD钻石及半导体材料、金刚石生产， (略) 邵阳经济开发区电子信息产业园标准厂房B区第8栋，用地面积1700m²，项目总投资30000万元，其中环保投资26万元。

本项目主要由主体工程、辅助工程、公用工程和环保工程组成。主体工程包括1栋厂房；辅助工程包括办公区、生活区；公用工程包括供水、排水、供电；环保工程包括废水防治措施、废气防治措施、噪声防治措施、固废防治措施。

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

施工期环境影响：

本项目计划建设期为2个月，利用现有厂房，施工期大部分内容仅为设备的安装，不涉及大的土房建设工程，且施工作业区域均位于场内现有的生产装置区内部, 在加强施工管理，做好施工扬尘防治、施工固废处置的前提下，项目施工对区域环境质量造成的不利影响较小。

营运期环境影响：

1、废水：

本项目废水来源为员工生活污水和食堂废水，废水产排情况及达标分析、污染治理设施信息、排污口设置见下表。

废水产排情况分析：

（1）生活污水

项目定员100人，不提供住宿，参照《 (略) 用水定额》（DB 43/T388-2020）办公楼用水及区域实际用水情况，用水定额按40L/人·d计，年工作时长350天，则生活用水量为4m3/d、1400t/a。

根据《给水排水设计手册》（第5册）中典型生活污水水质分析，本项目的生活污水污染物排放浓度分别为：COD≤500 mg/L、BOD5≤350 mg/L、SS≤400 mg/L、NH3-N≤50 mg/L、TN≤40 mg/L、TP≤4mg/L。

（2）食堂废水

项目食堂预计每天提供三顿饭，在食堂就餐人数每顿每次约40人，按照《建筑给水排水设计标准》（GB50015-2019），职工食堂用水平均日定额为15～20L/人·次，取20L/人·次计，年工作时长350天，则厨房总用水量为2.4m3/d，840t/a，产污系数按0.8计算，则生活污水产生量为1.92m3/d、672t/a。

根据《给水排水设计手册》（第5册）中典型生活污水水质分析，食堂污水中各种污染物浓度分别为COD≤500mg/L、BOD5≤300mg/L、SS≤300 mg/L、氨氮≤40mg/L、动植物油≤50mg/L、TN≤35mg/L、TP≤4mg/L。

根据《 (略) 进站路污水处理厂环境影响报告书》，污水处理厂进水浓度为：COD≤350 mg/L、BOD5≤300 mg/L、SS≤200 mg/L、NH3-N≤40 mg/L，生活污水和食堂废水经隔油池和化粪池处理达《污水综合排放标准》（GB8979-1996）三级标准和污水处理厂较严值后经园区污水管网排入进站路污水处理厂进行处理达《城镇污水处理厂污染物排放标准》（GB18918-2002）中一级A标准后排入资江。

???2、废气：

（1）产污环节和污染物种类

本项目废气主要来源于清洗过程中产生的*醇废气、 CVD 沉积尾气、激光切割、抛光产生的粉尘（颗粒物）。

污染物产生和排放源强核算

1）*醇废气

项目在原料体前处理时需要使用*醇和超纯水进行清洗，按建设单位提供，*醇每日用量为5ml，年工作350天，*醇年使用量为1.4kg/a，考虑*醇易挥发，废气产生量按100%产生计算，故*醇废气年产生量约1.4kg，少量*醇废气无组织排放量为0.0014t/a。

2）CVD沉积尾气

根据生产部门介绍，在CVD 系统工作时，通入的气体主要为氢气、*烷和二氧化碳，在CVD 系统中进行等离子化，形成含碳活性基团和原子氢、氧，反应后生成水和碳，其中碳绝大部分沉积在基体上从而生成人造金刚石，多余的氢气和二氧化碳等排出，该气体在工作时是连续排放的。

在反应过程中，整个沉积系统的温度可达到上千度，从通入的气体来看，元素以 C、H、O为主，因此不可能生成有机卤化物；并且由于通入的气体中氢气较多，反应环境基本为还原性。

根据业主技术部门介绍，项目CVD ?沉积系统排放的尾气中主要以氢气为主，其中氢气含量3.56t/a、反应产生的氢气量约为0.5736t/a，二氧化碳含量0.3195t/a、未反应完全的*烷（0.8kg），由于未反应完的*烷气体极少，本环评只作定性分析。

CVD沉积完成后在金刚石种晶表面生长了金刚石单晶（SCD），产生的沉积废气绝大部分是氢气，且反应后氢气体积大体不变甚至略有增加，500sccm的氢气输入可以认为有500sccm的氢气输出即500mL/min（8.3mL/s），350台设备就是175L/min，而350台设备所处空间的至少为2（长）*1（宽）*2（高）*350=1400m3,每分钟排出氢气的体积浓度为1.25×10-4,每台设备机械泵直径约为140mm，长度约为1.5m，就算按机械泵所处的狭小空间，一分钟排出的氢气也仅占2.38*10-3，而氢气的爆炸（燃烧）体积浓度为≥4%，一台排气扇的流量至少为5m3/s，考虑到氢气很轻，所以只要保持空气流动，没有明火，氢气直接排到大气中也基本没有任何危险。

3）激光切割废气

本项目原料所用晶种本身体积及重量很小，一片仅 0.03g，本项目使用晶种为*片，晶种总量仅为 0.02**=10kg，根据同类生产厂家的类比调查，切割工段粉尘产尘系数约为0.1kg/kg（原料），切割粉尘无组织排放量为0.001t/a。

4）抛光废气

本项目抛光废气主要来自于抛光工序，根据同类生产厂家的类比调查，抛光工段粉尘产尘系数约为0.15kg/kg（产品），本项目产品总量约为100kg，抛光粉尘无组织排放量为0.015t/a。

5）食堂油烟

本项且油烟废气指食物烹饪和食品加工过程中挥发的油脂、有机质及热氧化和热裂解产生的混合物，其含有食用油及食品在高温下的挥发物、食用油和食品因氧化、裂解、水解而聚合形成的醛类、酮类以及多环芳烃等，成分非常复杂，并伴有刺鼻的味道。

项目设有一个食堂，就餐人数每次约100人，全年工作日为350天，燃料使用液化石油气,人均日使用食用油约30g/d，一般油烟挥发量占使用量的2.5%，则项目油烟产生总量约为75g/d，0.02625t/a，食堂设有1个灶头, 每天按工作时间2小时计。食堂安装油烟净化器处理，油烟净化器总排风量为8000m3/h，则油烟废气产生浓度为4.6875mg/m3，油烟净化率为60%，则油烟排放量为0.0105t/a，排放浓度为1.875mg/m3，食堂油烟满足《饮食业油烟排放标准（试行）》（GB18483-2001）表2中小型油烟净化器最高允许排放浓度≤2.0mg/m3。

3、噪声

本项目噪声主要为气相沉积设备、冷水机、气体发生器、激光切割机、抛光机、超声波清洗机、冷却塔、超纯水制备机、空压机等生产设备运行时产生的噪声，类比同行业，项目设备的噪声值在 75~90dB（A），为防止噪声污染，项目采取隔声、消声、减振等降噪措施，隔声量15dB，本次评价对整个生产车间进行整体声源预测。

项目工作时长采用24小时制度，项目主要噪声源来源于生产车间，生产厂房包含气相沉积区、研磨抛光区、清洗区、激光切割区等。生产厂房内的设备噪声声级约为75～90 dB（A），生产厂房距离各厂界的距离分别为：东侧28m，南侧30m、西侧25m、北侧32m。项目高噪声设备（气相沉积设备、冷水机、气体发生器、激光切割机、抛光机、超声波清洗机等设备）加装减振装置，对产生气流噪声的安装消声装置（如风机），同时，生产厂房墙体具有一定的隔声、降噪效果，上述措施预计可消减15 dB的噪声，利用上述的预测评价数学模型，将噪声源强作为一个整体考虑（考虑叠加后，整体噪声值约为90dB（A），采取措施后昼间噪声值约为75dB（A））。

4、固体废物：

本项目产生的固体废物主要为超纯水制备过程中机械杂质S1-1、过滤中定期更换的废活性炭S1-2、废膜S1-2、废树脂S1-4，晶体制备过程中基体检验产生的不合格品S2-1、切割成型过程产生的边角料S2-2、切割废渣S2-3、炉壁内沉积碳、废包装材料、纯水制备氢气过程中产生的废干燥剂、员工生活垃圾。

（1）纯水制备过程中产生的固废

本项目在超纯水制备过程中机械过滤步骤主要过滤到自来水中的漂浮物，因自来水杂质较少，机械过滤的杂质年产生量约为0.001t/a。

每半年更换一次活性炭，废活性炭产生量约为0.05t/a；每三个月更换一次反渗透膜，废渗透膜产生量约为0.01t/a；每年更换一次树脂，废树脂产生量约为0.5t/a。

（2）不合格品

项目使用的金刚石晶体使用前需检验，不符合要求的需废弃，根据建设单位提供的资料，产生的不合格品约0.001t/a。

（3）边角料和切割废渣

CVD系统沉积后，需要对沉积后金刚石进行处理，把金刚石表面多晶和不规整的地方切掉会产生一定量的切割料，根据项目碳元素平衡图可知边角料和切割废渣产生量约0.577t/a，含水率90%，故切割废渣总量为5.77t/a。

（4）炉壁内沉积碳

在*烷中的碳原子被分子化后沉积形成金刚石半成品的过程中，一部分的碳原子会附着在沉积室炉壁内形成的沉积碳，炉内壁的沉积碳每个生长周期结束都需要清理，主要采用吸尘器以及擦拭处理，根据项目碳元素平衡图年产生量约为1.038t。

（5）废包装材料

根据建设单位提供的资料，*醇每年使用4瓶，废*醇瓶产生量约0.004t/a，*醇易挥发且项目使用量较少，根据《国家危险废物名录》，不含有或沾染毒性、感染性危险废物的废气包装桶，原则上不属于危险废物，。金刚石晶体包装袋产生量约0.005t/a，废包装材料合计产生量为0.009t/a。

（6）废膜和干燥剂

纯水制备氢气过程中使用SEP离子交换膜，离子交换膜与水接触，根据企业提供的信息，一台氢气发生器膜用量为0.005kg，半年更换一次，则60台氢气发生器废膜产生量为0.6t/a；氢气发生器的干燥剂每半年更换一次，废干燥剂年产生量为0.02t/a。

（8）生活垃圾

项目员工人数为 100 人，生活垃圾按 0.5kg/人·天计算，则项目生活垃圾产生量为 17.5t/a，生活垃圾经收集后交由园区环卫部门统一进行清运。

固体废物属性判定：根据《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》《固体废物鉴别标准 通则》（GB34330-2017），对建设项目产生的物质（除目标产物，即：产品、副产品外），依据产生来源、利用和处置过程鉴别属于固体废物并且作为固体废物管理的物质，应按照根据《一般固体废物分类与代码》（GB/T39198-2020）、《国家危险废物名录》（2021年版）、《危险废物鉴别标准通则》进行属性判定。