合肥新晶集成电路有限公司新增III类射线装置项目安徽省合肥市新站高新技术产业开发区综合保税区内西淝河路88号

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合肥新晶集成电路有限公司新增III类射线装置项目安徽省合肥市新站高新技术产业开发区综合保税区内西淝河路88号

建设项目环境影响登记表

填表日期:**

合肥 (略) 新增III类射线装置项目
(略) 新站高新技术产业开发区综合保税区内西淝河路88号*.14
合肥 (略) 周义亮
9876.5
**
新建
一、建设内容:我司于制程使用射线装置,共有 X射线衍射仪及离子植入机两种,X射线衍射仪针对控片进行硼磷浓度及金属膜厚量测,X-ray 对晶格产生绕射现象,精确测定物质的晶体结构,织构及应力,精确的进行物相分析;另离子植入机用高能电子束轰击金属靶产生射线,将带有一定能量的离子注入到硅片去达到掺杂的目的,在硅片上形成所需要的组件电子特性。二、建设规模:1、我司目前4台X光机及34台离子植入机,已于2022.01.03取得III类辐射安全许可证,近期将新增1台离子植入机(型号与厂内已取得III类辐射安全许可证之原有机型相似)。该离子植入机型号为IBV62(最大管电压60kV,最大管电流 20mA)。三、射线装置具体使用位置:使用地点位于生产车间FAB3F无尘室生产区使用。
辐射环境影响环保措施:
环保措施:1.机台年度监测按照规定办理,于厂内定期实施辐射作业人员个人剂量监测和工作场所辐射剂量监测。2.我司已建立辐射安全管理及防护小组,负责本单位的辐射安全及防护工作,针对辐射工作人员的健康、个人剂量及工作场所及放射设备进行定期检测辐射剂量、作业人员培训等,建立相关计划及制度,以达到完善管理及监督之目的。3.设备于安装、测试、维护之过程中皆遵守设备安装标准程序,以利于辐射防护管理和控制,并于设备明显处张贴辐射警示标语及图标作为提示。 4.辐射作业人员均配个人辐射剂量片,定期送有资质检测机构进行检测,检测结果均已邮件形式告知各辐射作业人员。5.人员于操作前须完成法规要求辐射防护专业培训及厂内设备操作训练、安全操作规程,均由经过考试合格的人员操作。6.我司每年进行辐射事件应急演练,演练结束之后针对演练内容及演练过程进行总结。

建设项目环境影响登记表

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合肥 (略) 新增III类射线装置项目
(略) 新站高新技术产业开发区综合保税区内西淝河路88号*.14
合肥 (略) 周义亮
9876.5
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新建
一、建设内容:我司于制程使用射线装置,共有 X射线衍射仪及离子植入机两种,X射线衍射仪针对控片进行硼磷浓度及金属膜厚量测,X-ray 对晶格产生绕射现象,精确测定物质的晶体结构,织构及应力,精确的进行物相分析;另离子植入机用高能电子束轰击金属靶产生射线,将带有一定能量的离子注入到硅片去达到掺杂的目的,在硅片上形成所需要的组件电子特性。二、建设规模:1、我司目前4台X光机及34台离子植入机,已于2022.01.03取得III类辐射安全许可证,近期将新增1台离子植入机(型号与厂内已取得III类辐射安全许可证之原有机型相似)。该离子植入机型号为IBV62(最大管电压60kV,最大管电流 20mA)。三、射线装置具体使用位置:使用地点位于生产车间FAB3F无尘室生产区使用。
辐射环境影响环保措施:
环保措施:1.机台年度监测按照规定办理,于厂内定期实施辐射作业人员个人剂量监测和工作场所辐射剂量监测。2.我司已建立辐射安全管理及防护小组,负责本单位的辐射安全及防护工作,针对辐射工作人员的健康、个人剂量及工作场所及放射设备进行定期检测辐射剂量、作业人员培训等,建立相关计划及制度,以达到完善管理及监督之目的。3.设备于安装、测试、维护之过程中皆遵守设备安装标准程序,以利于辐射防护管理和控制,并于设备明显处张贴辐射警示标语及图标作为提示。 4.辐射作业人员均配个人辐射剂量片,定期送有资质检测机构进行检测,检测结果均已邮件形式告知各辐射作业人员。5.人员于操作前须完成法规要求辐射防护专业培训及厂内设备操作训练、安全操作规程,均由经过考试合格的人员操作。6.我司每年进行辐射事件应急演练,演练结束之后针对演练内容及演练过程进行总结。
    
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