序号

建设单位

项目名称

建设地点

审批文号

发文时间

公告开始时间

公告结束时间

1

山东晶 (略)

山东晶 (略) 南厂芯片（一期）年产600万片功率器件项目

(略) 春秋东路与创业大道交汇处

济环报告表（曲阜）[2022]068号

11/28

11/28

12/6

审批意见：济环报告表（曲阜）〔2022〕068号

山东晶 (略) 拟投资50000 (略) (略) 春秋东路与创业大道交汇处（南厂区）建设山东晶 (略) 南厂芯片（一期）年产600万片功率器件项目。经审查：报告表编制基本规范，提出的污染防治措施基本可行，原则同意该环境影响报告表。企业在运营中要落实好以下环保措施：

1、厂区按照“雨污分流”“污污分流”的原则合理设计、建设排水系统。项目产生废水主要包括工艺废水（酸碱废水、含氟废水、有机废水、氨氮废水、含镍废水、研磨废水）、废气处置设施排水、纯水制备浓水、循环冷却系统排水、车间地面清洗废水。本项目生产废水分质进行收集，其中含氟废水、有机废水、氨氮废水、含镍废水分别经含氟废水预处理设施、有机废水预处理设施、氨氮废水预处理设施、含镍废水预处理设施预处理后与其他生产废水以及经防渗化粪池处理后的生活污水一同通过南厂区新建污水处理站处理后进入曲阜高铁新区污水处理厂深度处理，外排废水执行《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）、《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T31962-2015）、《流域水污染物综合排放标准第1部分：南四湖东平湖流域》（DB37/3416.1-2018）及污水处理厂进水水质要求。

2、严格落实大气污染防治措施。项目废气主要为酸碱废气、有机废气、特殊废气、污水处理站吹脱塔尾气以及喷砂粉尘。

项目碱洗过程产生的氨气经1套三级酸喷淋塔处理满足《恶臭污染物排放标准》（GB14554-1993）表2标准要求后由1根20m高排气筒（DA001）排放；酸洗过程产生的硝酸雾（以NO₂计）、*酸雾、氟化物、硫酸雾、盐酸雾等分别经8套两级碱喷淋塔处理满足《区域性大气污染物综合排放标准》（DB 37/2376-2019）表1“重点控制区”标准限值要求以及《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2标准要求后由8根排气筒（DA002~DA009，其中DA009排气筒高度为25m，其余排气筒高度均为20m）排放，SIPOS、干法刻蚀、沉积、离子注入产生的特殊废气共设置18套特殊废气处理设备（Scruber等离子水洗装置）

预处理后进入两级碱喷淋塔处理满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2标准要求后分别经DA006、DA008、DA009排气筒排放排气筒排放；污水处理站氨吹脱塔产生的氨气经1套三级酸喷淋塔处理满足《恶臭污染物排放标准》（GB14554-1993）表2标准要求后由1根20m高排气筒（DA019）排放。

有机废气主要来自扩散、电泳、光刻等工序，9套有机废气处理设备（5套水喷淋+活性炭吸附装置和4套沸石转轮吸附浓缩+CO催化燃烧装置）以及18套特殊废气处理设备（Scruber等离子水洗装置），其中扩散、电泳等工序产生的有机废气经设备抽风口收集后分别经5套水喷淋+活性炭吸附装置处理满足《挥发性有机物排放标准 第5部分：表面涂装行业》（DB37/2801.5-2018）表2排放限值要求后由5根20m高排气筒（DA010~DA014）排放；扩散工序产生的有机废气经设备抽风口收集后分别经4套沸石转轮吸附浓缩+CO催化燃烧装置处理满足《挥发性有机物排放标准 第5部分：表面涂装行业》（DB37/2801.5-2018）表2排放限值要求后由4根20m高排气筒（DA015~DA018）排放。

喷砂粉尘经集尘布袋+滤网收集后由排气孔随压缩空气排至车间洁净系统，经洁净系统过滤后排出车间。

厂界硝酸雾（以NO₂计）、*酸雾、氟化物、硫酸雾、盐酸雾等酸雾执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2无组织排放监控浓度限值要求；厂界有机废气执行《挥发性有机物排放标准第5部分 表面涂装行业》（DB37/2801.5-2018）表3中厂界无组织监控点挥发性有机物浓度限值要求；无组织VOCs厂内浓度执行《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB37822-2019）附录A表A.1中排放限值要求。

3、强化噪声污染控制措施。选用低噪音设备，采取隔声、减振等措施，确保厂界噪声满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类标准相应限值要求。

4、对固体废物进行分类收集和处置。本项目营运期产生的废抹布、废显影液（含光刻胶、显定影液）、废沸石、废催化剂、污水处理站污泥（有机废水系统产生污泥、含镍污泥）、中和污泥及废盐、废电泳液、废异*醇、有机废气处理产生的废活性炭、化学品废包装、厂房洁净系统产生的废过滤芯等属于危险废物，必须严格按照《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2001）及修改单中规定要求存放并委托有资质单位进行处理；普通材料废包装、废碳化硅砂、布袋除尘器产生的废滤袋、纯水制备产生的废反渗透膜和废活性炭、吹脱塔产生的硫酸铵废液属于一般固体废物，一般固废的贮存、处置必须达到《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》（GB18599-2020）；生活垃圾委托环卫部门收集处理。

5、加强环境风险防范。落实报告表中提出的环境风险防范措施，建立健全环保安全管理机构。

若该建设项目的性质、规模、地点、采用的运营工艺或者防治污染的措施等发生重大变动或自批准之日起满5年方开工建设的，你单位应当重新报批建设项目的环境影响评价文件。

你单位必须严格执行环境保护设施与主体工程同时设计、同时施工、同时投产使用的“三同时”制度。项目竣工后，申请排污许可证；其配套建设的环境保护设施经验收合格并向环境主管部门报送相关信息，方可投入生产或者使用；未取得排污许可证的，未经验收或者验收不合格的，不得投入生产或者使用。

**日

序号

建设单位

项目名称

建设地点

审批文号

发文时间

公告开始时间

公告结束时间

1

山东晶 (略)

山东晶 (略) 南厂芯片（一期）年产600万片功率器件项目

(略) 春秋东路与创业大道交汇处

济环报告表（曲阜）[2022]068号

11/28

11/28

12/6

审批意见：济环报告表（曲阜）〔2022〕068号

山东晶 (略) 拟投资50000 (略) (略) 春秋东路与创业大道交汇处（南厂区）建设山东晶 (略) 南厂芯片（一期）年产600万片功率器件项目。经审查：报告表编制基本规范，提出的污染防治措施基本可行，原则同意该环境影响报告表。企业在运营中要落实好以下环保措施：

1、厂区按照“雨污分流”“污污分流”的原则合理设计、建设排水系统。项目产生废水主要包括工艺废水（酸碱废水、含氟废水、有机废水、氨氮废水、含镍废水、研磨废水）、废气处置设施排水、纯水制备浓水、循环冷却系统排水、车间地面清洗废水。本项目生产废水分质进行收集，其中含氟废水、有机废水、氨氮废水、含镍废水分别经含氟废水预处理设施、有机废水预处理设施、氨氮废水预处理设施、含镍废水预处理设施预处理后与其他生产废水以及经防渗化粪池处理后的生活污水一同通过南厂区新建污水处理站处理后进入曲阜高铁新区污水处理厂深度处理，外排废水执行《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）、《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T31962-2015）、《流域水污染物综合排放标准第1部分：南四湖东平湖流域》（DB37/3416.1-2018）及污水处理厂进水水质要求。

2、严格落实大气污染防治措施。项目废气主要为酸碱废气、有机废气、特殊废气、污水处理站吹脱塔尾气以及喷砂粉尘。

项目碱洗过程产生的氨气经1套三级酸喷淋塔处理满足《恶臭污染物排放标准》（GB14554-1993）表2标准要求后由1根20m高排气筒（DA001）排放；酸洗过程产生的硝酸雾（以NO₂计）、*酸雾、氟化物、硫酸雾、盐酸雾等分别经8套两级碱喷淋塔处理满足《区域性大气污染物综合排放标准》（DB 37/2376-2019）表1“重点控制区”标准限值要求以及《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2标准要求后由8根排气筒（DA002~DA009，其中DA009排气筒高度为25m，其余排气筒高度均为20m）排放，SIPOS、干法刻蚀、沉积、离子注入产生的特殊废气共设置18套特殊废气处理设备（Scruber等离子水洗装置）

预处理后进入两级碱喷淋塔处理满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2标准要求后分别经DA006、DA008、DA009排气筒排放排气筒排放；污水处理站氨吹脱塔产生的氨气经1套三级酸喷淋塔处理满足《恶臭污染物排放标准》（GB14554-1993）表2标准要求后由1根20m高排气筒（DA019）排放。

有机废气主要来自扩散、电泳、光刻等工序，9套有机废气处理设备（5套水喷淋+活性炭吸附装置和4套沸石转轮吸附浓缩+CO催化燃烧装置）以及18套特殊废气处理设备（Scruber等离子水洗装置），其中扩散、电泳等工序产生的有机废气经设备抽风口收集后分别经5套水喷淋+活性炭吸附装置处理满足《挥发性有机物排放标准 第5部分：表面涂装行业》（DB37/2801.5-2018）表2排放限值要求后由5根20m高排气筒（DA010~DA014）排放；扩散工序产生的有机废气经设备抽风口收集后分别经4套沸石转轮吸附浓缩+CO催化燃烧装置处理满足《挥发性有机物排放标准 第5部分：表面涂装行业》（DB37/2801.5-2018）表2排放限值要求后由4根20m高排气筒（DA015~DA018）排放。

喷砂粉尘经集尘布袋+滤网收集后由排气孔随压缩空气排至车间洁净系统，经洁净系统过滤后排出车间。

厂界硝酸雾（以NO₂计）、*酸雾、氟化物、硫酸雾、盐酸雾等酸雾执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2无组织排放监控浓度限值要求；厂界有机废气执行《挥发性有机物排放标准第5部分 表面涂装行业》（DB37/2801.5-2018）表3中厂界无组织监控点挥发性有机物浓度限值要求；无组织VOCs厂内浓度执行《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB37822-2019）附录A表A.1中排放限值要求。

3、强化噪声污染控制措施。选用低噪音设备，采取隔声、减振等措施，确保厂界噪声满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类标准相应限值要求。

4、对固体废物进行分类收集和处置。本项目营运期产生的废抹布、废显影液（含光刻胶、显定影液）、废沸石、废催化剂、污水处理站污泥（有机废水系统产生污泥、含镍污泥）、中和污泥及废盐、废电泳液、废异*醇、有机废气处理产生的废活性炭、化学品废包装、厂房洁净系统产生的废过滤芯等属于危险废物，必须严格按照《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2001）及修改单中规定要求存放并委托有资质单位进行处理；普通材料废包装、废碳化硅砂、布袋除尘器产生的废滤袋、纯水制备产生的废反渗透膜和废活性炭、吹脱塔产生的硫酸铵废液属于一般固体废物，一般固废的贮存、处置必须达到《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》（GB18599-2020）；生活垃圾委托环卫部门收集处理。

5、加强环境风险防范。落实报告表中提出的环境风险防范措施，建立健全环保安全管理机构。

若该建设项目的性质、规模、地点、采用的运营工艺或者防治污染的措施等发生重大变动或自批准之日起满5年方开工建设的，你单位应当重新报批建设项目的环境影响评价文件。

你单位必须严格执行环境保护设施与主体工程同时设计、同时施工、同时投产使用的“三同时”制度。项目竣工后，申请排污许可证；其配套建设的环境保护设施经验收合格并向环境主管部门报送相关信息，方可投入生产或者使用；未取得排污许可证的，未经验收或者验收不合格的，不得投入生产或者使用。

**日