惠科6英寸晶圆半导体功率器件项目-审批拟批准情况公示
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惠科6英寸晶圆半导体功率器件项目-审批拟批准情况公示
| 项目名称： | 惠科6英寸晶圆半导体功率器件项目 | |
| 建设地点： | (略) 即墨区北安街道太吉路1号 | |
| 建设单位： | 青 (略) | |
| 环境影响评价机构： | 上海环科 (略) | |
| 公示时间： | **日至**日 | |
| 项目概况： | 新建6英寸功率器件芯片生产线，新建晶圆片级芯片规模封装（WLCSP）生产线 | |
| 主要环境影响及预防或 者减轻不良环境影响的 对策和措施： | （一）严格落实大气污染防治措施。芯片厂房：非含砷特殊工艺尾气经电加热水洗式或干式吸附 POU 预处理后，与酸性废气、碱性废气一同经酸碱废气处理系统碱液喷淋洗涤塔处理后，通过1根30m高的排气筒（DA001）排放；有机废气经有机废气处理系统沸石浓缩转轮+RTO炉处理后，通过1根30m高的排气筒（DA002）排放；含砷工艺尾气经干式吸附POU处理后，通过1根25m高的排气筒（DA010）排放。芯片厂房生产废气中 NOx、颗粒物有组织排放浓度须满足《区域性大气污染物综合排放标准》（DB37/2376-2019）表1中重点控制区标准；硫酸雾、氯化氢、氟化物、氯气须满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表 2 标准要求；VOCs 有组织排放浓度和排放速率须满足《挥发性有机物排放标准 第 7 部分：其他行业》（DB37/2801.7-2019）“非重点行业第Ⅱ时段”标准；砷化氢和磷化氢排放浓度和排放速率 (略) 《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）表 1 标准限值。封装厂房：酸性废气经酸性废气处理系统碱液喷淋洗涤塔处理后，通过1根30m高的排气筒（DA003）排放；有机废气经有机废气处理系统沸石浓缩转轮+RTO炉处理后，通过1根30m高的排气筒（DA004）排放。封装厂房产生废气NOx、硫酸雾排放须满足《电镀污染物排放标准》（GB21900-2008）表 5 标准要求限值的 50%执行；VOCs 排放浓度和排放速率须满足《挥发性有机物排放标准 第 7 部分：其他行业》（DB37/2801.7-2019）“非重点行业第Ⅱ时段”标准限值；HCL排放须满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表 2 标准要求；颗粒物、氮氧化物和二氧化硫的排放浓度须满足《区域性大气污染物综合排放标准》（DB37/2376-2019）表1中重点控制区标准。锅炉采用低氮燃烧工艺，锅炉废气经动力厂房楼顶18.5m高的排气筒（DA005）排放；污水处理站废气经两级水喷淋洗涤塔处理后，通过1根22m高的排气筒（DA006）排放；食堂厨房油烟废气经集气罩至油烟净化设备处理后，通过1根9m高的排气筒（DA009）排放。污水站废气氨、硫化氢和臭气浓度须满足《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表 2 的限值；锅炉废气SO2、颗粒物、 NOX 和烟气林格曼黑度须满足《锅炉大气污染物排放标准》（DB37/2374-2018）表2重点控制区的限值；厨房餐饮油烟须满足《 (略) 饮食油烟排放标准》（DB37/597-2006）中表2和表3限值。加强无组织废气排放污染物控制措施。VOCs和各特征因子的厂界监控浓度须满足《挥发性有机物排放标准 第7部分：其他行业》（DB37/2801.7-2019）“非重点行业第Ⅱ时段”标准；硫酸雾、氯化氢、氟化物和氯气厂界监控浓度须满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2标准要求；氨和硫化氢厂界监控浓度须满足《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)；厂区内非*烷总烃监控点浓度须满足《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB37822-2019）附录A中表A.1中的特别排放限值要求。（二）严格落实水污染防治措施。项目含一类污染物废水分别设含镍银废水收集系统、含镍废水收集系统、含铬废水收集系统，车间排口达标，再排入酸碱废水处理系统，其他生产废水经分类处理后，与经化粪池处理后的生活污水、空调冷凝水和锅炉排 (略) 政污水管网排入即墨西部污水处理厂进行处理，废水排放须满足《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1中半导体器件制造业间接排放限值和表2单位产品基准排水量，生活污水中的BOD5、动植物油、LAS须满足《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T31962-2015）表1中B等级标准。氟化物须满足《 (略) 即墨区住房和城乡建设局关于青 (略) 废水排放去向问题的回复意见》中提出的 2mg/L 限值； TDS须满足即墨区北部污水处理厂的接管要求值。项目须对危废暂存场所等进行严格防渗处理措施，防止污染地下水和土壤。（三）严格落实噪声污染防治措施。项目生产设备置于室内，并采取隔声、降噪、减振等治理措施，确保营运期厂界噪声符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中的3类标准。（四）严格落实固体废物污染防治措施。按照国家有关规定，对固体废物进行规范收集、贮存和无害化处置利用。废靶材、废金属、废芯片、废包装材料、废过滤介质、废离子交换树脂、无机污泥、有机污泥、废品及电子废弃物收集后外售综合利用，项目一般固废处置场所须满足《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》要求。有机废液、废光刻机及溶剂、废定影液、废显影液及溶剂、有机去胶废液、硫酸废液、沾染化学品废物、沾染砷废物、废化学品空桶、废化学品包装、废汞灯、废铅酸电池、废柴油、COD在线仪表检测废液、废机油、废电路板、含镍银废液、含镍废液、含铬废液、含铜废液、含锡废液及含金废液须委托具有危险废物经营资质的单位处置，项目危险废物暂存场须符合《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2001）及修改单的要求。生产中若发现环境影响报告中未识别的危险废物，按照危险废物的管理要求处理处置。生活垃圾由环卫部门定期清运。（五）严格落实环境监测技术规范和《报告表》提出的管理与监测制度。严格按照《排污口规范化整治技术要求（试行）》等规范设置污染物排放口和标志牌。排气筒设置采样监测孔，安装采样监测平台。（六）风险防范和应急措施。完善风险管理，严格落实环境风险防范措施，编制突发环境事件应急预案报我分局备案，并定期组织演练。如遇环保设施检修、出现异常等情况，应立即停产抢修并及时向我分局报告，如实记录被查。对环境污染防治设施依法依规开展安全评价评估、事故隐患排查治理，并按规定报安全生产主管部门。 | |
| 建设单位或地方政府及 有关部门作出的相关环 境保护措施承诺文件： | ||
| 审 批 单 位 | 名称： | (略) 生态环境局即墨分局 |
| 联系电话： | 0532-* | |
| 传真电话： | ||
| 通讯地址： | 即墨区壮武路496号 | |
| 邮政编码： | * | |
| 项目名称： | 惠科6英寸晶圆半导体功率器件项目 | |
| 建设地点： | (略) 即墨区北安街道太吉路1号 | |
| 建设单位： | 青 (略) | |
| 环境影响评价机构： | 上海环科 (略) | |
| 公示时间： | **日至**日 | |
| 项目概况： | 新建6英寸功率器件芯片生产线，新建晶圆片级芯片规模封装（WLCSP）生产线 | |
| 主要环境影响及预防或 者减轻不良环境影响的 对策和措施： | （一）严格落实大气污染防治措施。芯片厂房：非含砷特殊工艺尾气经电加热水洗式或干式吸附 POU 预处理后，与酸性废气、碱性废气一同经酸碱废气处理系统碱液喷淋洗涤塔处理后，通过1根30m高的排气筒（DA001）排放；有机废气经有机废气处理系统沸石浓缩转轮+RTO炉处理后，通过1根30m高的排气筒（DA002）排放；含砷工艺尾气经干式吸附POU处理后，通过1根25m高的排气筒（DA010）排放。芯片厂房生产废气中 NOx、颗粒物有组织排放浓度须满足《区域性大气污染物综合排放标准》（DB37/2376-2019）表1中重点控制区标准；硫酸雾、氯化氢、氟化物、氯气须满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表 2 标准要求；VOCs 有组织排放浓度和排放速率须满足《挥发性有机物排放标准 第 7 部分：其他行业》（DB37/2801.7-2019）“非重点行业第Ⅱ时段”标准；砷化氢和磷化氢排放浓度和排放速率 (略) 《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）表 1 标准限值。封装厂房：酸性废气经酸性废气处理系统碱液喷淋洗涤塔处理后，通过1根30m高的排气筒（DA003）排放；有机废气经有机废气处理系统沸石浓缩转轮+RTO炉处理后，通过1根30m高的排气筒（DA004）排放。封装厂房产生废气NOx、硫酸雾排放须满足《电镀污染物排放标准》（GB21900-2008）表 5 标准要求限值的 50%执行；VOCs 排放浓度和排放速率须满足《挥发性有机物排放标准 第 7 部分：其他行业》（DB37/2801.7-2019）“非重点行业第Ⅱ时段”标准限值；HCL排放须满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表 2 标准要求；颗粒物、氮氧化物和二氧化硫的排放浓度须满足《区域性大气污染物综合排放标准》（DB37/2376-2019）表1中重点控制区标准。锅炉采用低氮燃烧工艺，锅炉废气经动力厂房楼顶18.5m高的排气筒（DA005）排放；污水处理站废气经两级水喷淋洗涤塔处理后，通过1根22m高的排气筒（DA006）排放；食堂厨房油烟废气经集气罩至油烟净化设备处理后，通过1根9m高的排气筒（DA009）排放。污水站废气氨、硫化氢和臭气浓度须满足《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表 2 的限值；锅炉废气SO2、颗粒物、 NOX 和烟气林格曼黑度须满足《锅炉大气污染物排放标准》（DB37/2374-2018）表2重点控制区的限值；厨房餐饮油烟须满足《 (略) 饮食油烟排放标准》（DB37/597-2006）中表2和表3限值。加强无组织废气排放污染物控制措施。VOCs和各特征因子的厂界监控浓度须满足《挥发性有机物排放标准 第7部分：其他行业》（DB37/2801.7-2019）“非重点行业第Ⅱ时段”标准；硫酸雾、氯化氢、氟化物和氯气厂界监控浓度须满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2标准要求；氨和硫化氢厂界监控浓度须满足《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)；厂区内非*烷总烃监控点浓度须满足《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB37822-2019）附录A中表A.1中的特别排放限值要求。（二）严格落实水污染防治措施。项目含一类污染物废水分别设含镍银废水收集系统、含镍废水收集系统、含铬废水收集系统，车间排口达标，再排入酸碱废水处理系统，其他生产废水经分类处理后，与经化粪池处理后的生活污水、空调冷凝水和锅炉排 (略) 政污水管网排入即墨西部污水处理厂进行处理，废水排放须满足《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1中半导体器件制造业间接排放限值和表2单位产品基准排水量，生活污水中的BOD5、动植物油、LAS须满足《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T31962-2015）表1中B等级标准。氟化物须满足《 (略) 即墨区住房和城乡建设局关于青 (略) 废水排放去向问题的回复意见》中提出的 2mg/L 限值； TDS须满足即墨区北部污水处理厂的接管要求值。项目须对危废暂存场所等进行严格防渗处理措施，防止污染地下水和土壤。（三）严格落实噪声污染防治措施。项目生产设备置于室内，并采取隔声、降噪、减振等治理措施，确保营运期厂界噪声符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中的3类标准。（四）严格落实固体废物污染防治措施。按照国家有关规定，对固体废物进行规范收集、贮存和无害化处置利用。废靶材、废金属、废芯片、废包装材料、废过滤介质、废离子交换树脂、无机污泥、有机污泥、废品及电子废弃物收集后外售综合利用，项目一般固废处置场所须满足《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》要求。有机废液、废光刻机及溶剂、废定影液、废显影液及溶剂、有机去胶废液、硫酸废液、沾染化学品废物、沾染砷废物、废化学品空桶、废化学品包装、废汞灯、废铅酸电池、废柴油、COD在线仪表检测废液、废机油、废电路板、含镍银废液、含镍废液、含铬废液、含铜废液、含锡废液及含金废液须委托具有危险废物经营资质的单位处置，项目危险废物暂存场须符合《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2001）及修改单的要求。生产中若发现环境影响报告中未识别的危险废物，按照危险废物的管理要求处理处置。生活垃圾由环卫部门定期清运。（五）严格落实环境监测技术规范和《报告表》提出的管理与监测制度。严格按照《排污口规范化整治技术要求（试行）》等规范设置污染物排放口和标志牌。排气筒设置采样监测孔，安装采样监测平台。（六）风险防范和应急措施。完善风险管理，严格落实环境风险防范措施，编制突发环境事件应急预案报我分局备案，并定期组织演练。如遇环保设施检修、出现异常等情况，应立即停产抢修并及时向我分局报告，如实记录被查。对环境污染防治设施依法依规开展安全评价评估、事故隐患排查治理，并按规定报安全生产主管部门。 | |
| 建设单位或地方政府及 有关部门作出的相关环 境保护措施承诺文件： | ||
| 审 批 单 位 | 名称： | (略) 生态环境局即墨分局 |
| 联系电话： | 0532-* | |
| 传真电话： | ||
| 通讯地址： | 即墨区壮武路496号 | |
| 邮政编码： | * | |
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