半导体硅晶圆边沿和正反面缺陷检测技术产业化
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半导体硅晶圆边沿和正反面缺陷检测技术产业化
项目名称：2212-*-04-05-*半导体硅晶圆边沿和正反面缺陷检测技术产业化备案
事项名称：除特殊规定外投资额在10亿元及以下的企业项目备案（不含房地产开发项目）
审批部门：西安高新区行政审批服务局
事项状态：已办结
批复结果：批复
办理日期：2022-12-29 13:24:01
项目名称：2212-*-04-05-*半导体硅晶圆边沿和正反面缺陷检测技术产业化备案
事项名称：除特殊规定外投资额在10亿元及以下的企业项目备案（不含房地产开发项目）
审批部门：西安高新区行政审批服务局
事项状态：已办结
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