1、废水

项目采用雨污分流制。屋面雨水经收集后与地面雨水汇合，排岀厂区项目产生的废水主要为生活污水。生活污水经厂区化粪池处理后由厂区 (略) 政污水管网，进入光大水务（淄博）有限公司水质净化三分厂深度处理。

生产废水包括基片水洗废水、净化服清洗废水、加湿用水废水、纯水制备产生的浓水、尾气处理系统排水和酸雾洗涤塔废水。冷却设备补水和冷却塔用水循环使用不外排，只需定期补水。

生产废水包括基片水洗废水、净化服清洗废水、加湿用水废水、纯水制备产生的浓水、尾气处理系统排水和酸雾洗涤塔废水，收集于厂区的污水收集池，经鉴定后作为危废定期交由有资质单位进行处理。

2、废气

2.1无组织废气

本项目车间为无尘车间，车间屋顶设有排放口，各机器设备制程期间密闭，制程结束后排入设备自带尾气收集装置和处理系统处理达标后排放，无废气的无组织排放。

2.2有组织废气

酸性废气

本项目酸性废气产生于基片清洗、化学气相沉积工序。主要污染物为氟化物、氯化氢、氮氧化物、氨、硫酸雾。氮氧化物主要来源于基片清洗工序硝酸和硝酸与硅片上粘附微量的金属 反应生产的硝酸盐的挥发以及化学气相淀积工序未参与反应的一氧化二氮气体的挥发。基片清洗、化学气相沉积废气经酸碱排风进入酸雾洗涤塔处理后由排气筒Pl (32m)排放。

酸雾洗涤塔主要由废气洗涤塔、通风机、排气管和加药系统等组成。废气先由排气管道输入废气洗涤塔，吸收液为25%氢氧化钠溶液，碱液经喷头喷洒而下，利用氢氧化钠溶液作吸收液浄化酸雾废气，酸性废气经洗涤塔处理达标后排入大气。

厂房中碱性废气中污染物主要为NH₃，主要来自清洗工序氨水挥发。清洗工序氨水挥发产，生的氨气进入酸碱排气管通过酸雾洗涤塔处理后通过排气筒P1排放。

本项目有机废气产生于光刻、磨抛工序。本项目所用有机溶剂、光刻胶、显影液等，在试验过程中会产生挥发性有机气体，均以VOCs计。有机废气收集后进入水喷淋和活性炭吸附系统处理，经排气筒高空排放。

工艺尾气产生于生产厂房，主要来自于外延、刻蚀工序。外延工序尾气主要为氢气、氮气等一般无害气体，经酸碱排风收集后排放，对周围环境影响较小，刻蚀产生的工艺尾气主要为氯气，经刻蚀scrubber处理系统书酸雾洗涤塔处理后，经32m排气筒排放。

3、噪声

项目生产设备位于洁浄厂房内，声级较小。项目主要噪声源有冷却塔、风机、纯水水泵、 废水处理水泵、空压机等。在做好基础减振、降噪等处理措施后，厂界噪声可满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)2类标准。

4、固废

本项目固废主要包括废基板、废包装材料、废RO膜、废光刻胶、废显影液、废容器、废活性炭、废离子交换树脂、废有机溶剂、废氢氟酸、含磷和砷的沉淀物、废废Al₂O₃；和SiO₂、废金属、废磨料、基片清洗废液、生活垃圾。

废离子交换树脂年产量为0.2t/a，废RO膜年产量0.1t/a，根据《国家危险废物名录》（2021）版废离子交换树脂和废RO膜不在属于危险废物，作为一般工业固废处理；

废基板：检验、量测等过程产生，根据企业提供数据，产生量约为0.00025t/a，属于一般固废，外售至资源回收部门进行处理；

废包装材料：基板、设备包装产生的纸板、木板等，产生量约为2t/a，属于一般固废，外售至资源回收部门进行处理；

废光刻胶：光刻过程产生，根据企业提供数据，产生量约为0.0043t/a，属于危险废物(HW16，397-001-16)，收集后委托有资质单位处理；

废显影液：光刻过程产生，根据企业提供资料，产生量约为0.0394t/a，属于危险废物(HW16，397-001-16)，收集后委托有资质单位处理；

废容器：酸液、碱液、有机试剂包装容器，产生量0.3t/a，属于危险废物(HW49，900-041-49)，收集后委托有资质单位处理；

废活性炭：项目使用活性炭吸附VOCs，废活性炭产生总量约为495t/a，属于危险废物(HW49，900-041-49)，收集后委托有资质的单位处理。

废有机溶剂：光刻、磨抛工序产生，产生量为6.98t/a，属于危险废物(HW49，900-041-49)，收集后委托有资质单位处理；

废氢氟酸：清洗过程产生，产生量为0.0576t/a，属于危险废物(HW43，900-300-34)，收集后委托有资质单位处理；

含磷和砷的沉淀物：外延工序产生，产生量为0.204t/a，属于危险废物(HW37，261-061-37)，收集后委托有资质单位处理；

废Al₂O₃；和SiO₂：化学气相淀积和镀膜工序产生，产生量为0.011t/a，属于一般固废，外售至资源回收单位。

废金属：物理气相沉积工序产生，产生量为0.002t/a，属于一般固废，收集后外售综合利用。

废研磨料：研磨过程会产生废研磨轮和研磨粉尘，产生量为0.06t/a，属于一般废物，收集后外售。

基片清洗废液：基片生产过程产生的清洗废液，产生量为1393.55t/a，属于危险废物(HW49，900-047-49)，收集后委托有资质单位处理；

净化服清洗废水产生量为15t/a，加湿用水废水产生量为24t/a、纯水制备产生的浓水产生量为620t/a，排入废水池中，收集后与基片清洗废水一同交由有资质的单位处理。

生活垃圾：职工生活过程产生，产生量为31.5t/a，属于一般固体废物，收集后由环卫部门统一清运处理。

本项目固废均按要求妥善处置，对周围环境影响较小。

1、废水

项目采用雨污分流制。屋面雨水经收集后与地面雨水汇合，排岀厂区项目产生的废水主要为生活污水。生活污水经厂区化粪池处理后由厂区 (略) 政污水管网，进入光大水务（淄博）有限公司水质净化三分厂深度处理。

生产废水包括基片水洗废水、净化服清洗废水、加湿用水废水、纯水制备产生的浓水、尾气处理系统排水和酸雾洗涤塔废水。冷却设备补水和冷却塔用水循环使用不外排，只需定期补水。

生产废水包括基片水洗废水、净化服清洗废水、加湿用水废水、纯水制备产生的浓水、尾气处理系统排水和酸雾洗涤塔废水，收集于厂区的污水收集池，经鉴定后作为危废定期交由有资质单位进行处理。

2、废气

2.1无组织废气

本项目车间为无尘车间，车间屋顶设有排放口，各机器设备制程期间密闭，制程结束后排入设备自带尾气收集装置和处理系统处理达标后排放，无废气的无组织排放。

2.2有组织废气

酸性废气

本项目酸性废气产生于基片清洗、化学气相沉积工序。主要污染物为氟化物、氯化氢、氮氧化物、氨、硫酸雾。氮氧化物主要来源于基片清洗工序硝酸和硝酸与硅片上粘附微量的金属 反应生产的硝酸盐的挥发以及化学气相淀积工序未参与反应的一氧化二氮气体的挥发。基片清洗、化学气相沉积废气经酸碱排风进入酸雾洗涤塔处理后由排气筒Pl (32m)排放。

酸雾洗涤塔主要由废气洗涤塔、通风机、排气管和加药系统等组成。废气先由排气管道输入废气洗涤塔，吸收液为25%氢氧化钠溶液，碱液经喷头喷洒而下，利用氢氧化钠溶液作吸收液浄化酸雾废气，酸性废气经洗涤塔处理达标后排入大气。

厂房中碱性废气中污染物主要为NH₃，主要来自清洗工序氨水挥发。清洗工序氨水挥发产，生的氨气进入酸碱排气管通过酸雾洗涤塔处理后通过排气筒P1排放。

本项目有机废气产生于光刻、磨抛工序。本项目所用有机溶剂、光刻胶、显影液等，在试验过程中会产生挥发性有机气体，均以VOCs计。有机废气收集后进入水喷淋和活性炭吸附系统处理，经排气筒高空排放。

工艺尾气产生于生产厂房，主要来自于外延、刻蚀工序。外延工序尾气主要为氢气、氮气等一般无害气体，经酸碱排风收集后排放，对周围环境影响较小，刻蚀产生的工艺尾气主要为氯气，经刻蚀scrubber处理系统书酸雾洗涤塔处理后，经32m排气筒排放。

3、噪声

项目生产设备位于洁浄厂房内，声级较小。项目主要噪声源有冷却塔、风机、纯水水泵、 废水处理水泵、空压机等。在做好基础减振、降噪等处理措施后，厂界噪声可满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)2类标准。

4、固废

本项目固废主要包括废基板、废包装材料、废RO膜、废光刻胶、废显影液、废容器、废活性炭、废离子交换树脂、废有机溶剂、废氢氟酸、含磷和砷的沉淀物、废废Al₂O₃；和SiO₂、废金属、废磨料、基片清洗废液、生活垃圾。

废离子交换树脂年产量为0.2t/a，废RO膜年产量0.1t/a，根据《国家危险废物名录》（2021）版废离子交换树脂和废RO膜不在属于危险废物，作为一般工业固废处理；

废基板：检验、量测等过程产生，根据企业提供数据，产生量约为0.00025t/a，属于一般固废，外售至资源回收部门进行处理；

废包装材料：基板、设备包装产生的纸板、木板等，产生量约为2t/a，属于一般固废，外售至资源回收部门进行处理；

废光刻胶：光刻过程产生，根据企业提供数据，产生量约为0.0043t/a，属于危险废物(HW16，397-001-16)，收集后委托有资质单位处理；

废显影液：光刻过程产生，根据企业提供资料，产生量约为0.0394t/a，属于危险废物(HW16，397-001-16)，收集后委托有资质单位处理；

废容器：酸液、碱液、有机试剂包装容器，产生量0.3t/a，属于危险废物(HW49，900-041-49)，收集后委托有资质单位处理；

废活性炭：项目使用活性炭吸附VOCs，废活性炭产生总量约为495t/a，属于危险废物(HW49，900-041-49)，收集后委托有资质的单位处理。

废有机溶剂：光刻、磨抛工序产生，产生量为6.98t/a，属于危险废物(HW49，900-041-49)，收集后委托有资质单位处理；

废氢氟酸：清洗过程产生，产生量为0.0576t/a，属于危险废物(HW43，900-300-34)，收集后委托有资质单位处理；

含磷和砷的沉淀物：外延工序产生，产生量为0.204t/a，属于危险废物(HW37，261-061-37)，收集后委托有资质单位处理；

废Al₂O₃；和SiO₂：化学气相淀积和镀膜工序产生，产生量为0.011t/a，属于一般固废，外售至资源回收单位。

废金属：物理气相沉积工序产生，产生量为0.002t/a，属于一般固废，收集后外售综合利用。

废研磨料：研磨过程会产生废研磨轮和研磨粉尘，产生量为0.06t/a，属于一般废物，收集后外售。

基片清洗废液：基片生产过程产生的清洗废液，产生量为1393.55t/a，属于危险废物(HW49，900-047-49)，收集后委托有资质单位处理；

净化服清洗废水产生量为15t/a，加湿用水废水产生量为24t/a、纯水制备产生的浓水产生量为620t/a，排入废水池中，收集后与基片清洗废水一同交由有资质的单位处理。

生活垃圾：职工生活过程产生，产生量为31.5t/a，属于一般固体废物，收集后由环卫部门统一清运处理。

本项目固废均按要求妥善处置，对周围环境影响较小。