项目名称

建设地点

建设单位

环境影响评价机构

项目概况

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

内蒙古奥 (略) 3-6英寸半导体级单晶硅棒及硅片制造项目

包头装备制造产业 (略) 开升稀 (略) 院内

内蒙古奥 (略)

内蒙古祥砳 (略)

项目建设年产1000t 3-6英寸半导体级单晶硅棒及500万片单晶硅切片项目。本项目总占地面积50亩（33333.3m²），总建筑面积27259m²。其中包括生产车间、主辅料库、综合办公楼及相关辅助设施等。项目供水、供电依托园区管网提供，设置2台2.1MW燃气锅炉(一用一备)用于冬季供暖。本项目总投资为30441万元，其中环保投资为629万元，环保投资占总投资的比例为2.1%。

废气：项目废气主要包括单晶炉清扫粉尘、石墨热场打磨粉尘、加料粉尘、单晶评价间酸洗废气、粘胶废气、污水站臭气、燃气锅炉废气、食堂油烟。

①单晶车间装料粉尘、石墨打磨粉尘、单晶炉清扫粉尘分别经集气罩收集各进入1套布袋除尘器处理后合并通过1根20m排气筒排放；②单晶评价车间酸洗废气通过酸雾抽风系统送至碱喷淋洗涤塔净化，净化后经20m高排气筒排放；③切片车间粘胶工序产生的有机废气经密闭罩收集至1套三级活性炭纤维吸附塔处理后经1根20m排气筒排放；④污水处理区各构筑物采用加盖密封处理的方式，盖板上预留进、出气口，臭气通过出气口以无组织形式排放；⑤燃气锅炉出厂设计有超低氮燃烧装置，燃烧废气经1根20m排气筒排放；⑥食堂设置电灶头，食堂油烟经一套油烟净化器处理后通过排气管道经一楼屋顶达标排放。

单晶车间和单晶评价间、切片车间有组织、无组织废气（颗粒物、氟化物、氯化氢、氮氧化物、非*烷总烃）排放浓度及排放速率均满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）中表2限值要求；锅炉燃烧废气中颗粒物、二氧化硫满足《锅炉大气污染物排放标准》（GB13271-2014）中表2新建锅炉大气污染物排放浓度限值，氮氧化物满足《锅炉大气污染物排放标准》（DB11/139-2015）排放浓度限值；污水处理站无组织废气（硫化氢、氨气、臭气浓度）满足《恶臭污染物排放标准》(GB14554－93) 中恶臭污染物厂界二级标准值；食堂油烟满足《饮食业油烟排放标准》最高允许排放浓度2mg/m³要求。

废水：项目废水主要包括酸洗清洗废水和碱喷淋洗涤塔废水，单晶机加车间机加废水，切片车间的线切废水、脱胶废水、硅片清洗废水，纯水制备定期排污水、锅炉定期排污水及生活污水。

酸洗清洗废水和碱喷淋洗涤塔废水经酸洗废水处理系统处理后，排入园区排水管网；机加废水、线切废水进入含硅废水处理系统处理后部分回用于生产，部分外排；脱胶废水、脱胶后清洗废水进入有机废水处理系统处理后部分回用，部分外排；锅炉定期排污水经厂区管网排放；纯水制备过程浓盐水排入循环水池中作为机加和碱喷淋洗涤工序补充水，循环水池废水定期排入厂区排水管网；生活污水经隔油池处理后进入化粪池，最终排入园区管网。全部外排废水经管道排入总排口排至北郊水质净化厂。外排废水水质满足《电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）》表1中电子专用材料间接排放限制要求。

噪声：项目主要噪声源为真空泵、空压机、截断机、开方机、磨面机、金刚线切片机、泵、风机等设备。项目采用隔声、消声、减震、合理布局等治理措施后，另外经建筑隔声、距离衰减等降噪措施后可以确保厂界噪声满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准要求。

固废：项目产生的一般工业固体废物包括废石英坩埚、废石墨热场、废金刚线、除尘器收集粉尘、废包装材料、废树脂板、废反渗透膜、不合格产品、单晶评价废样片、污泥（酸洗废水处理系统含氟污泥、含硅污泥、生化污泥）。全部暂存于一般固废暂存间（占地30m²，做基础防渗，渗透系数≤10^-7cm/s），定期外售综合利用。危险废物包括废活性炭（HW49 900-039-49）、废酸桶（HW49 900-041-49）、废油（HW08 900-249-08）、废胶片（HW13 900-014-13）、粘棒胶包装瓶（HW49 900-041-49），暂存于危废暂存间（占地10m²，做基础防渗，渗透系数≤10^-10cm/s），位于厂区的东北角，最终送至有资质的单位进行安全处置。生活垃圾收集于厂区垃圾桶，交由环卫部门清运。

一般工业固废暂存满足《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》（GB1859-2020）中有关规定；危险废物暂存满足《危险废物贮存污染控制标准》（GB18598-2001）及修改单。

项目名称

建设地点

建设单位

环境影响评价机构

项目概况

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

内蒙古奥 (略) 3-6英寸半导体级单晶硅棒及硅片制造项目

包头装备制造产业 (略) 开升稀 (略) 院内

内蒙古奥 (略)

内蒙古祥砳 (略)

项目建设年产1000t 3-6英寸半导体级单晶硅棒及500万片单晶硅切片项目。本项目总占地面积50亩（33333.3m²），总建筑面积27259m²。其中包括生产车间、主辅料库、综合办公楼及相关辅助设施等。项目供水、供电依托园区管网提供，设置2台2.1MW燃气锅炉(一用一备)用于冬季供暖。本项目总投资为30441万元，其中环保投资为629万元，环保投资占总投资的比例为2.1%。

废气：项目废气主要包括单晶炉清扫粉尘、石墨热场打磨粉尘、加料粉尘、单晶评价间酸洗废气、粘胶废气、污水站臭气、燃气锅炉废气、食堂油烟。

①单晶车间装料粉尘、石墨打磨粉尘、单晶炉清扫粉尘分别经集气罩收集各进入1套布袋除尘器处理后合并通过1根20m排气筒排放；②单晶评价车间酸洗废气通过酸雾抽风系统送至碱喷淋洗涤塔净化，净化后经20m高排气筒排放；③切片车间粘胶工序产生的有机废气经密闭罩收集至1套三级活性炭纤维吸附塔处理后经1根20m排气筒排放；④污水处理区各构筑物采用加盖密封处理的方式，盖板上预留进、出气口，臭气通过出气口以无组织形式排放；⑤燃气锅炉出厂设计有超低氮燃烧装置，燃烧废气经1根20m排气筒排放；⑥食堂设置电灶头，食堂油烟经一套油烟净化器处理后通过排气管道经一楼屋顶达标排放。

单晶车间和单晶评价间、切片车间有组织、无组织废气（颗粒物、氟化物、氯化氢、氮氧化物、非*烷总烃）排放浓度及排放速率均满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）中表2限值要求；锅炉燃烧废气中颗粒物、二氧化硫满足《锅炉大气污染物排放标准》（GB13271-2014）中表2新建锅炉大气污染物排放浓度限值，氮氧化物满足《锅炉大气污染物排放标准》（DB11/139-2015）排放浓度限值；污水处理站无组织废气（硫化氢、氨气、臭气浓度）满足《恶臭污染物排放标准》(GB14554－93) 中恶臭污染物厂界二级标准值；食堂油烟满足《饮食业油烟排放标准》最高允许排放浓度2mg/m³要求。

废水：项目废水主要包括酸洗清洗废水和碱喷淋洗涤塔废水，单晶机加车间机加废水，切片车间的线切废水、脱胶废水、硅片清洗废水，纯水制备定期排污水、锅炉定期排污水及生活污水。

酸洗清洗废水和碱喷淋洗涤塔废水经酸洗废水处理系统处理后，排入园区排水管网；机加废水、线切废水进入含硅废水处理系统处理后部分回用于生产，部分外排；脱胶废水、脱胶后清洗废水进入有机废水处理系统处理后部分回用，部分外排；锅炉定期排污水经厂区管网排放；纯水制备过程浓盐水排入循环水池中作为机加和碱喷淋洗涤工序补充水，循环水池废水定期排入厂区排水管网；生活污水经隔油池处理后进入化粪池，最终排入园区管网。全部外排废水经管道排入总排口排至北郊水质净化厂。外排废水水质满足《电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）》表1中电子专用材料间接排放限制要求。

噪声：项目主要噪声源为真空泵、空压机、截断机、开方机、磨面机、金刚线切片机、泵、风机等设备。项目采用隔声、消声、减震、合理布局等治理措施后，另外经建筑隔声、距离衰减等降噪措施后可以确保厂界噪声满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准要求。

固废：项目产生的一般工业固体废物包括废石英坩埚、废石墨热场、废金刚线、除尘器收集粉尘、废包装材料、废树脂板、废反渗透膜、不合格产品、单晶评价废样片、污泥（酸洗废水处理系统含氟污泥、含硅污泥、生化污泥）。全部暂存于一般固废暂存间（占地30m²，做基础防渗，渗透系数≤10^-7cm/s），定期外售综合利用。危险废物包括废活性炭（HW49 900-039-49）、废酸桶（HW49 900-041-49）、废油（HW08 900-249-08）、废胶片（HW13 900-014-13）、粘棒胶包装瓶（HW49 900-041-49），暂存于危废暂存间（占地10m²，做基础防渗，渗透系数≤10^-10cm/s），位于厂区的东北角，最终送至有资质的单位进行安全处置。生活垃圾收集于厂区垃圾桶，交由环卫部门清运。

一般工业固废暂存满足《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》（GB1859-2020）中有关规定；危险废物暂存满足《危险废物贮存污染控制标准》（GB18598-2001）及修改单。