关于年产755吨高纯半导体材料生产项目项目拟审批公示
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1、大气污染物[br]本项目产生的四氯化硅生产线废气、三溴化硼生产线废气、三氯氧磷生产线废气、四氯化钛生产线废气、三氯化硼生产线废气、金属钛生产线废气引入一套无机废气处理系统(两级降膜吸收塔吸收%2B两级碱液喷淋塔洗涤)处理,红磷转化尾气导入水封容器吸收后与酸洗废气和五氧化二磷生产废气一起引入一套次氯酸钠溶液填料塔进行处理,经处理后HCl、粉尘、NOx排放浓度均能满足《无机化学工业污染物排放标准》(GB31573-2015)表3大气污染物排放限值,P2O5排放速率和排放浓度能满足《 (略) 环境污染物排放标准》(DB52%2F864-2022)表2标准,由一根25m高排气筒(DA001%23)排放;[br]亚磷酸三*酯生产线废气、硼酸三*酯生产线废气、硼酸三*酯生产线废气、反式-1%2C2-二氯*烯生产线废气、磷酸三*酯生产线废气、磷酸三*酯生产线废气、正硅酸*酯生产线废气引入一套有机废气处理系统(两级水喷淋吸收%2BUV高效光解%2B活性炭吸附)处理后*醇和NMHC排放速率和排放浓度能满足《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2二级标准,由一根25m高排气筒(DA002%23)排放。[br]2、水污染物[br]本项目产生的纯水制备强制排水、循环冷却系统强制排水收集于回用水池作地坪冲洗、废气处理系统和冷却循环水系统补充水使用;无机含盐废水经无机废水处理设施调节%2B中和沉淀%2BMVR蒸发处理后收集的MVR蒸发冷凝水作为厂区地坪冲洗、废气处理系统和冷却循环水系统的补水使用不外排;有机废水、初期雨水和生活污水排入有机废水处理设施“调节%2B隔油沉淀%2B芬顿氧化”预处理%2B“UASB厌氧%2BMBR好氧”生化处理后达到《城市污水再生利用++工业用水水质》(GB%2FT19923-2005)表1标准作厂区地坪冲洗、废气处理系统和冷却循环水系统的补水使用不外排。[br]3、固废[br]本项目生产过程中产生的废碳化硼、废微孔过滤器、废活性炭、废水处理站中和沉渣、废水处理站蒸发结晶盐、实验室废液、废机油专用容器分类收集,暂存于危废暂存间,定期交由有相关危废处置资质的单位处置;破碎石英管送玻璃制造企业回收再生利用;生活垃圾统一收集后集中交环卫部门处理。[br]4、噪声[br]本项目噪声主要来源于提纯釜、精馏塔、蒸馏釜、转化炉、还原炉、烘箱、废气处理系统、循环水站、空压机、风机等噪声设备,通过采取对噪声设备采取隔声降噪、基础减震、出口设置消声器等措施后,对声环境影响较小。
1、大气污染物[br]本项目产生的四氯化硅生产线废气、三溴化硼生产线废气、三氯氧磷生产线废气、四氯化钛生产线废气、三氯化硼生产线废气、金属钛生产线废气引入一套无机废气处理系统(两级降膜吸收塔吸收%2B两级碱液喷淋塔洗涤)处理,红磷转化尾气导入水封容器吸收后与酸洗废气和五氧化二磷生产废气一起引入一套次氯酸钠溶液填料塔进行处理,经处理后HCl、粉尘、NOx排放浓度均能满足《无机化学工业污染物排放标准》(GB31573-2015)表3大气污染物排放限值,P2O5排放速率和排放浓度能满足《 (略) 环境污染物排放标准》(DB52%2F864-2022)表2标准,由一根25m高排气筒(DA001%23)排放;[br]亚磷酸三*酯生产线废气、硼酸三*酯生产线废气、硼酸三*酯生产线废气、反式-1%2C2-二氯*烯生产线废气、磷酸三*酯生产线废气、磷酸三*酯生产线废气、正硅酸*酯生产线废气引入一套有机废气处理系统(两级水喷淋吸收%2BUV高效光解%2B活性炭吸附)处理后*醇和NMHC排放速率和排放浓度能满足《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2二级标准,由一根25m高排气筒(DA002%23)排放。[br]2、水污染物[br]本项目产生的纯水制备强制排水、循环冷却系统强制排水收集于回用水池作地坪冲洗、废气处理系统和冷却循环水系统补充水使用;无机含盐废水经无机废水处理设施调节%2B中和沉淀%2BMVR蒸发处理后收集的MVR蒸发冷凝水作为厂区地坪冲洗、废气处理系统和冷却循环水系统的补水使用不外排;有机废水、初期雨水和生活污水排入有机废水处理设施“调节%2B隔油沉淀%2B芬顿氧化”预处理%2B“UASB厌氧%2BMBR好氧”生化处理后达到《城市污水再生利用++工业用水水质》(GB%2FT19923-2005)表1标准作厂区地坪冲洗、废气处理系统和冷却循环水系统的补水使用不外排。[br]3、固废[br]本项目生产过程中产生的废碳化硼、废微孔过滤器、废活性炭、废水处理站中和沉渣、废水处理站蒸发结晶盐、实验室废液、废机油专用容器分类收集,暂存于危废暂存间,定期交由有相关危废处置资质的单位处置;破碎石英管送玻璃制造企业回收再生利用;生活垃圾统一收集后集中交环卫部门处理。[br]4、噪声[br]本项目噪声主要来源于提纯釜、精馏塔、蒸馏釜、转化炉、还原炉、烘箱、废气处理系统、循环水站、空压机、风机等噪声设备,通过采取对噪声设备采取隔声降噪、基础减震、出口设置消声器等措施后,对声环境影响较小。
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