项目名称

天 (略) 芯片原子钟产线建设项目

建设地点

天津滨海高新区华苑产业园区（环外）海泰华科一路15号一幢一层102室

建设单位

天 (略)

环境影响评价机构

天津环 (略)

项目概况

天 (略) 拟投资3000万元，租赁位于天津滨海高新技术产业开发区华苑科技园（环外）海泰华科一路15号天津 (略) 1幢建筑102室，建设芯片原子钟产线建设项目。该项目建筑面积1300㎡，主要建设内容为：将租赁的1-2号厂房进行装修改造，购置并安装真空封装设备、深硅刻蚀机、光刻机、铯钟等设备，建成后可实现年产芯片原子钟物理部件1万套。该项目环保投资167.2万元，主要用于施工期隔声降噪措施、固体废物收集处置，运营期废气治理设施、废水治理设施、噪声防治措施、固体废物收集暂存及排污口规范化等。

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

根据该项目环境影响报告表分析结论：

（一）有机清洗工序、光刻工序、去蜡清洗工序、兆声清洗工序、焊料片清洗工序产生的废气经设备槽侧抽风收集，污水处理站异味产生池体均采用加盖池体，并设置引风系统收集，上述废气收集后引至一套二级活性炭净化装置处理后，通过1根15m高排气筒P1排放。深硅刻蚀工序、BOE腐蚀工序、湿法腐蚀工序、RCA清洗工序产生的废气经设备槽侧抽风收集后引至一套酸雾洗涤塔净化处理后，通过1根15m高排气筒P2排放。

P1、P2排放的废气中，非*烷总烃、TRVOC、*苯与二*苯合计的排放浓度和排放速率须满足《工业企业挥发性有机物排放控制标准》（DB12/524-2020）相应标准限值要求；氯化氢、硫酸雾、氟化氢、氮氧化物的排放浓度和排放速率须满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）相应标准限值要求（排放速率严格50%执行）；氨、硫化氢的排放速率和臭气浓度须满足《恶臭污染物排放标准》（DB12/059-2018）相应标准限值要求。P1、P2排气筒等效后，非*烷总烃、TRVOC的排放速率须满足《工业企业挥发性有机物排放控制标准》（DB12/524-2020）相应标准限值要求，氨的排放速率须满足《恶臭污染物排放标准》（DB12/059-2018）相应标准限值要求。

焊接工序产生的焊接烟尘经集气罩收集后进入移动式焊烟除尘器处理后，在车间无组织排放；厂界处颗粒物、锡及其化合物须满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）相应标准限值要求。

（二）有机废水、酸碱废水、含氟废水、一般生产废水、纯水站排浓水、纯水制备站冲洗废水、酸雾洗涤塔废水经企业新建的污水处理站处理后经污水站排口（DW002）排放后，和经化粪池处理后的生活污水一并排入天津 (略) 厂区总排口（DW001） (略) 政污水管网，最终进入咸阳路污水处理厂集中处理；污水站排口（DW002）废水水质须满足《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）相应标准限值要求，厂区总排口（DW001）废水水质须满足《污水综合排放标准》（DB12/356-2018）三级标准要求。

（三）HDMS烘箱、键合机、划片机等设备为主要噪声源，应优先选用低噪设备，采取隔声、减振、距离衰减等措施，确保厂界噪声满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准限值要求。

（四）固体废物分类收集。生活垃圾袋装收集， (略) 管理部门统一清运。废NMP、废*酮、废*醇、废异*醇、废*酸、废光刻胶、废显影液、废定影液、不合格废器件、废腐蚀液等废酸碱液、硅碎屑、废抛光液、废去蜡液、RCA清洗废液、废焊材、含沾染物的废包装桶、废活性炭（废气治理）、含氟污泥、废灯管属于危险废物，交由有资质的单位统一处理；污水处理站综合处理单元污泥鉴别前按危废管理，鉴定后若为一般固体废物则按照一般固体废物处理，若鉴定后为危险废物，则按照危险废物的要求进行暂存和处置。未沾染污染物的废包装桶为一般固体废物，交由物资部门回收处理；废靶材、废滤芯、废反渗透膜、废EDI膜、废抛光树脂、废超滤膜、废活性炭（纯水制备）属于一般固体废物，交由厂家回收处理。确保处置去向合理，避免产生二次污染。

（五）加强对危险物料的管理，制定应急预案，落实各项事故防范、减缓措施，有效避免事故发生。

公众参与情况

——

公示时间

2023年1月17日至2023年1月28日

项目名称

天 (略) 芯片原子钟产线建设项目

建设地点

天津滨海高新区华苑产业园区（环外）海泰华科一路15号一幢一层102室

建设单位

天 (略)

环境影响评价机构

天津环 (略)

项目概况

天 (略) 拟投资3000万元，租赁位于天津滨海高新技术产业开发区华苑科技园（环外）海泰华科一路15号天津 (略) 1幢建筑102室，建设芯片原子钟产线建设项目。该项目建筑面积1300㎡，主要建设内容为：将租赁的1-2号厂房进行装修改造，购置并安装真空封装设备、深硅刻蚀机、光刻机、铯钟等设备，建成后可实现年产芯片原子钟物理部件1万套。该项目环保投资167.2万元，主要用于施工期隔声降噪措施、固体废物收集处置，运营期废气治理设施、废水治理设施、噪声防治措施、固体废物收集暂存及排污口规范化等。

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

根据该项目环境影响报告表分析结论：

（一）有机清洗工序、光刻工序、去蜡清洗工序、兆声清洗工序、焊料片清洗工序产生的废气经设备槽侧抽风收集，污水处理站异味产生池体均采用加盖池体，并设置引风系统收集，上述废气收集后引至一套二级活性炭净化装置处理后，通过1根15m高排气筒P1排放。深硅刻蚀工序、BOE腐蚀工序、湿法腐蚀工序、RCA清洗工序产生的废气经设备槽侧抽风收集后引至一套酸雾洗涤塔净化处理后，通过1根15m高排气筒P2排放。

P1、P2排放的废气中，非*烷总烃、TRVOC、*苯与二*苯合计的排放浓度和排放速率须满足《工业企业挥发性有机物排放控制标准》（DB12/524-2020）相应标准限值要求；氯化氢、硫酸雾、氟化氢、氮氧化物的排放浓度和排放速率须满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）相应标准限值要求（排放速率严格50%执行）；氨、硫化氢的排放速率和臭气浓度须满足《恶臭污染物排放标准》（DB12/059-2018）相应标准限值要求。P1、P2排气筒等效后，非*烷总烃、TRVOC的排放速率须满足《工业企业挥发性有机物排放控制标准》（DB12/524-2020）相应标准限值要求，氨的排放速率须满足《恶臭污染物排放标准》（DB12/059-2018）相应标准限值要求。

焊接工序产生的焊接烟尘经集气罩收集后进入移动式焊烟除尘器处理后，在车间无组织排放；厂界处颗粒物、锡及其化合物须满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）相应标准限值要求。

（二）有机废水、酸碱废水、含氟废水、一般生产废水、纯水站排浓水、纯水制备站冲洗废水、酸雾洗涤塔废水经企业新建的污水处理站处理后经污水站排口（DW002）排放后，和经化粪池处理后的生活污水一并排入天津 (略) 厂区总排口（DW001） (略) 政污水管网，最终进入咸阳路污水处理厂集中处理；污水站排口（DW002）废水水质须满足《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）相应标准限值要求，厂区总排口（DW001）废水水质须满足《污水综合排放标准》（DB12/356-2018）三级标准要求。

（三）HDMS烘箱、键合机、划片机等设备为主要噪声源，应优先选用低噪设备，采取隔声、减振、距离衰减等措施，确保厂界噪声满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准限值要求。

（四）固体废物分类收集。生活垃圾袋装收集， (略) 管理部门统一清运。废NMP、废*酮、废*醇、废异*醇、废*酸、废光刻胶、废显影液、废定影液、不合格废器件、废腐蚀液等废酸碱液、硅碎屑、废抛光液、废去蜡液、RCA清洗废液、废焊材、含沾染物的废包装桶、废活性炭（废气治理）、含氟污泥、废灯管属于危险废物，交由有资质的单位统一处理；污水处理站综合处理单元污泥鉴别前按危废管理，鉴定后若为一般固体废物则按照一般固体废物处理，若鉴定后为危险废物，则按照危险废物的要求进行暂存和处置。未沾染污染物的废包装桶为一般固体废物，交由物资部门回收处理；废靶材、废滤芯、废反渗透膜、废EDI膜、废抛光树脂、废超滤膜、废活性炭（纯水制备）属于一般固体废物，交由厂家回收处理。确保处置去向合理，避免产生二次污染。

（五）加强对危险物料的管理，制定应急预案，落实各项事故防范、减缓措施，有效避免事故发生。

公众参与情况

——

公示时间

2023年1月17日至2023年1月28日