合肥欧益睿芯科技有限公司III类射线装置项目安徽省合肥市新站高新技术产业开发区综合保税区内荆山路与双凤路交口西南角

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合肥欧益睿芯科技有限公司III类射线装置项目安徽省合肥市新站高新技术产业开发区综合保税区内荆山路与双凤路交口西南角

备案系统登记表管理

建设项目环境影响登记表

填表日期:2023-02-08

合肥 (略) III类射线装置项目
(略) 新站高新技术产业开发区综合保税区内荆山路与双凤路交口西南角 24951.67
合肥 (略) 王晓燕
3740 20
2024-03-01
新建
一、建设内容:我司于制程使用射线装置,共有X射线衍射仪及离子注入机两种,X射线衍射仪对晶圆片进行浓度及金属膜厚度测量,X-ray对晶格产生绕射现象,精确测定物质的晶体结构,织构及应力,精确的进行物相分析;另离子注入机用高能电子束轰击材料产生射线,将带有一定能量的离子注入到晶圆片去达到掺杂的目的,在晶圆片上形成所需要的组件电子特性。二、建设规模:我司目前计划配置1台X射线衍射仪(型号:X’Pert3 MRD,最大管电压52KV,管电流,60mA,厂家已申请实行豁免管理)及2台离子注入机(型号:GSD200E/NISSIN2300AH,最大管电压160KV,管电流10mA)。三、射线装置具体使用位置:使用地点分别位于1A生产厂房2F测试区和注入区
环保措施:
1.按规定办理机台年度监测,厂内定期实施辐射作业人员个人剂量监测和工作场所辐射剂量监测;2.建立辐射安全管理及防护小组,负责本单位的辐射安全及防护工作,针对辐射工作人员的健康、个人剂量及工作场所及放射设备进行辐射剂量定期检测、作业人员培训等,建立相关计划及制度,以达到完善管理及监督的目的;3.设备安装、测试、维护过程中皆遵守设备安装标准程序,以利于辐射防护管理和控制,并于设备明显处张贴辐射警示标语及图标;4.为辐射作业人员配备个人辐射剂量片,定期送有资质检测机构进行检测并告知检测结果;5.人员操作前完成法规要求的辐射防护专业培训及厂内设备操作训练、安全操作规程,设备均由经过考试合格的人员进行操作;6.每年进行辐射事件应急演练,演练结束之后针对演练内容及演练过程进行总结。
,安徽, (略) ,合肥

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合肥 (略) III类射线装置项目
(略) 新站高新技术产业开发区综合保税区内荆山路与双凤路交口西南角 24951.67
合肥 (略) 王晓燕
3740 20
2024-03-01
新建
一、建设内容:我司于制程使用射线装置,共有X射线衍射仪及离子注入机两种,X射线衍射仪对晶圆片进行浓度及金属膜厚度测量,X-ray对晶格产生绕射现象,精确测定物质的晶体结构,织构及应力,精确的进行物相分析;另离子注入机用高能电子束轰击材料产生射线,将带有一定能量的离子注入到晶圆片去达到掺杂的目的,在晶圆片上形成所需要的组件电子特性。二、建设规模:我司目前计划配置1台X射线衍射仪(型号:X’Pert3 MRD,最大管电压52KV,管电流,60mA,厂家已申请实行豁免管理)及2台离子注入机(型号:GSD200E/NISSIN2300AH,最大管电压160KV,管电流10mA)。三、射线装置具体使用位置:使用地点分别位于1A生产厂房2F测试区和注入区
环保措施:
1.按规定办理机台年度监测,厂内定期实施辐射作业人员个人剂量监测和工作场所辐射剂量监测;2.建立辐射安全管理及防护小组,负责本单位的辐射安全及防护工作,针对辐射工作人员的健康、个人剂量及工作场所及放射设备进行辐射剂量定期检测、作业人员培训等,建立相关计划及制度,以达到完善管理及监督的目的;3.设备安装、测试、维护过程中皆遵守设备安装标准程序,以利于辐射防护管理和控制,并于设备明显处张贴辐射警示标语及图标;4.为辐射作业人员配备个人辐射剂量片,定期送有资质检测机构进行检测并告知检测结果;5.人员操作前完成法规要求的辐射防护专业培训及厂内设备操作训练、安全操作规程,设备均由经过考试合格的人员进行操作;6.每年进行辐射事件应急演练,演练结束之后针对演练内容及演练过程进行总结。
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