内蒙古 (略) ：

你公司《关于内蒙古 (略) 半导体硅料清洗建设项目环境影响报告审批的申请》及由内蒙古 (略) 编制完成的《内蒙古 (略) 半导体硅料清洗建设项目环境影响报告表》等相关材料收悉。经我局审议，同意该项目建设，现批复如下。

一、项目基本情况

项目位于呼和浩特经济技术开发区沙尔沁工业园区，租赁内蒙古 (略) 现有厂房，总建筑面积为3000平方米。项目建设3条全自动半导体硅料清洗生产线，包括2条氢氟酸清洗线和1条环保试剂清洗线，建设规模为年清洗半导体单晶硅料6600吨。项目总投资为1200万元，其中环保投资为134万元，占总投资比例为11.17%。

项目为新建项目，在全面落实报告表提出的各项污染防治措施后建设可行。

二、项目建设与运营管理中应重点做好以下工作

（一）加强施工期环境管理。项目施工废水经处理后回用；采取洒水抑尘以减少施工扬尘的污染；合理布置施工设备，选用低噪声设备，施工噪声应符合《建筑施工场界环境噪声排放标准》（GB12523-2011）及所在区域声环境功能区相关要求。

（二）做好大气污染防治工作。项目生产车间进行封闭，酸洗废气经集气罩收集后引入酸雾洗涤塔处理，满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2新污染源二级排放限值后通过符合高度规定的排气筒排放；破碎粉尘经集气罩收集后通过布袋除尘器处理，满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2新污染源二级排放限值后通过符合高度规定的排气筒排放；试剂槽硅料清洗液挥发废气收集后经活性炭吸附装置处理，满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2新污染源二级排放限值后通过符合高度规定的排气筒排放。

实施节能技术改造，建立能源管理制度，实现温室气体排放不新增。

（三）加强水环境保护。项目酸性废水和含清洗剂废水经厂区自建污水处理设施处理后与纯水制备排水一并经园区污水管网排入园区污水处理厂，须满足《电子工业水污染物排放标准》（GB38731-2020）表1标准限值以及园区污水处理厂进水水质要求。项目须严格按照环境影响评价文件要求建设含氟化物废水处置措施，加强含氟废水处置力度并达标排放。

项目危险废物暂存间及污水涉及的池体、管网等须做好防渗措施。

（四）严格控制噪声环境影响。项目噪声排放须满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类标准要求。

（五）加强固废管理。生活垃圾由环卫部门处置；未洗净的硅料返回清洗生产线；纯水制备产生的废离子交换树脂由厂家回收；除尘器收集的粉尘、废水处理产生的污泥外运综合利用或运至指定地点填埋处置；废活性炭、酸碱废包装物、废滤网等危险废物分类暂存于危险废物暂存间，由有资质单位转运处置。项目须配套建设足够容量的危险废物临时贮存库，严格按照《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2001）及修改单中的相关要求进行设计施工。

（六）做好项目环境信息公开工作，建立健全相关制度。建设单位须严格执行《建设项目环境影响评价信息公开机制方案》《环境影响评价公众参与办法》等相关要求。

（七）严格执行环评报告中提出的其他环境影响防治对策，确保污染物达标排放。

三、项目建设必须严格执行配套建设的环境保护设施与主体工程同时设计、同时施工、同时投产使用的环境保护“三同时制度”。项目须在启动生产设施或在实际排污之前申请排污许可证。建设项目竣工后，建设单位应对配套建设的环境保护设施进行自主验收。

四、如工程的性质、规模、地点或者防治污染的措施发生重大变动，应当在开工前重新报批本工程的环境影响评价文件。

五、 (略) 生态环境局开发区环保分局负责该项目施工期和运营期的环境监察及环评事中事后监管工作。

(略) 生态环境局

2023年3月2日

内蒙古 (略) ：

你公司《关于内蒙古 (略) 半导体硅料清洗建设项目环境影响报告审批的申请》及由内蒙古 (略) 编制完成的《内蒙古 (略) 半导体硅料清洗建设项目环境影响报告表》等相关材料收悉。经我局审议，同意该项目建设，现批复如下。

一、项目基本情况

项目位于呼和浩特经济技术开发区沙尔沁工业园区，租赁内蒙古 (略) 现有厂房，总建筑面积为3000平方米。项目建设3条全自动半导体硅料清洗生产线，包括2条氢氟酸清洗线和1条环保试剂清洗线，建设规模为年清洗半导体单晶硅料6600吨。项目总投资为1200万元，其中环保投资为134万元，占总投资比例为11.17%。

项目为新建项目，在全面落实报告表提出的各项污染防治措施后建设可行。

二、项目建设与运营管理中应重点做好以下工作

（一）加强施工期环境管理。项目施工废水经处理后回用；采取洒水抑尘以减少施工扬尘的污染；合理布置施工设备，选用低噪声设备，施工噪声应符合《建筑施工场界环境噪声排放标准》（GB12523-2011）及所在区域声环境功能区相关要求。

（二）做好大气污染防治工作。项目生产车间进行封闭，酸洗废气经集气罩收集后引入酸雾洗涤塔处理，满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2新污染源二级排放限值后通过符合高度规定的排气筒排放；破碎粉尘经集气罩收集后通过布袋除尘器处理，满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2新污染源二级排放限值后通过符合高度规定的排气筒排放；试剂槽硅料清洗液挥发废气收集后经活性炭吸附装置处理，满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2新污染源二级排放限值后通过符合高度规定的排气筒排放。

实施节能技术改造，建立能源管理制度，实现温室气体排放不新增。

（三）加强水环境保护。项目酸性废水和含清洗剂废水经厂区自建污水处理设施处理后与纯水制备排水一并经园区污水管网排入园区污水处理厂，须满足《电子工业水污染物排放标准》（GB38731-2020）表1标准限值以及园区污水处理厂进水水质要求。项目须严格按照环境影响评价文件要求建设含氟化物废水处置措施，加强含氟废水处置力度并达标排放。

项目危险废物暂存间及污水涉及的池体、管网等须做好防渗措施。

（四）严格控制噪声环境影响。项目噪声排放须满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类标准要求。

（五）加强固废管理。生活垃圾由环卫部门处置；未洗净的硅料返回清洗生产线；纯水制备产生的废离子交换树脂由厂家回收；除尘器收集的粉尘、废水处理产生的污泥外运综合利用或运至指定地点填埋处置；废活性炭、酸碱废包装物、废滤网等危险废物分类暂存于危险废物暂存间，由有资质单位转运处置。项目须配套建设足够容量的危险废物临时贮存库，严格按照《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2001）及修改单中的相关要求进行设计施工。

（六）做好项目环境信息公开工作，建立健全相关制度。建设单位须严格执行《建设项目环境影响评价信息公开机制方案》《环境影响评价公众参与办法》等相关要求。

（七）严格执行环评报告中提出的其他环境影响防治对策，确保污染物达标排放。

三、项目建设必须严格执行配套建设的环境保护设施与主体工程同时设计、同时施工、同时投产使用的环境保护“三同时制度”。项目须在启动生产设施或在实际排污之前申请排污许可证。建设项目竣工后，建设单位应对配套建设的环境保护设施进行自主验收。

四、如工程的性质、规模、地点或者防治污染的措施发生重大变动，应当在开工前重新报批本工程的环境影响评价文件。

五、 (略) 生态环境局开发区环保分局负责该项目施工期和运营期的环境监察及环评事中事后监管工作。

(略) 生态环境局

2023年3月2日