芯恩（青岛）集成电路有限公司集成电路研发生产一期项目（年产12英寸芯片24万片）-审批拟批准情况公示
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芯恩（青岛）集成电路有限公司集成电路研发生产一期项目（年产12英寸芯片24万片）-审批拟批准情况公示
| 项目名称： | 芯恩（青岛） (略) 集成电路研发生产一期项目（年产12英寸芯片24万片） | |
| 建设地点： | (略) 西海岸新区山王河路1088号 | |
| 建设单位： | 芯恩（青岛） (略) | |
| 环境影响评价机构： | 青岛 (略) | |
| 公示时间： | 2023年03月14日至2023年03月20日 | |
| 项目概况： | 项目位于青岛西海岸新区红石崖街道办事处山王河路1088号（从园区四号路以南到纵七路以东），依托厂区现有厂房进行建设。项目主要建设内容：新增12英寸集成电路生产设施及多电子束扫描量测设备等配套设施，项目建成后生产规模为年产12英寸芯片产能24万片。项目电学测试工序涉及射线装置，电磁辐射环境影响将另行评价。项目总投资*.6万元，其中环保投资9800万元。 | |
| 主要环境影响及预防或 者减轻不良环境影响的 对策和措施： | 项目设计、建设和运行过程中要认真落实《报告表》提出的各项环境污染防治和风险防范措施，并做好以下工作：（一）严格落实水污染防治措施。项目废水采取分质处理措施。含氨废水、“酸液喷淋洗涤塔”废水通过含氨废水处理系统（采用“吹脱+硫酸吸收法”工艺）处理，尾水排入含氟废水处理系统及深度除氟系统；含氨废水处理系统出水、生产工艺中的含氟废水“碱液喷淋洗涤塔”废水、POU电加热水洗及POU电浆水洗中的含氟废水、超纯水制备系统中的再生含氟废水通过含氟废水处理系统（采用“CaCl2 混凝沉淀法”工艺）、深度除氟系统（采用絮凝沉淀法工艺）处理，尾水排入酸碱废水处理系统；化学机械抛光及清洗生产工艺中的研磨废水通过研磨废水处理系统（采用混凝沉淀法工艺）处理，尾水排入酸碱废水处理系统；深度除氟系统出水、研磨废水处理系统出水、生产工艺中的酸碱废水和有机废水、POU电加热水洗及POU电浆水洗中的酸碱废水、超纯水制备系统中的反渗透浓水和再生酸碱废水、冷冻水系统排水、工艺冷却水系统排水通过酸碱废水处理系统（采用二级中和法工艺）处理，尾水通过企业拟建二期厂区新增废水总排口排入专用管道进入电子信息产业园污水处理厂处理。超纯水制备系统产生的反冲洗水、常温循环冷却水系统排水、生活污水（含餐饮废水）等通过企业一期厂区现有废水 (略) 政污水管网进入龙泉河污水处理厂处理。拟建二期厂区新增废水总排口pH、SS、化学需氧量、氨氮、总氮、总磷、氟化物浓度，一期厂区现有废水总排口化学需氧量、SS、氨氮、动植物油浓度执行《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1中“半导体器件”间接排放标准要求。项目须按照“源头控制、分区防控、污染监控、应急响应”原则，运行过程加强管理，采取防渗、防漏、防腐措施，防止污染地下水和土壤。对工程设计、施工相关档案资料存档。（二）严格落实大气污染防治措施。废气主要为酸性废气、碱性废气、有机废气、天然气燃烧废气、含砷废气。生产厂房为洁净厂房，所有设备均密闭，同时采用负压抽风。项目采用的废气处理工艺包括工艺尾气处理系统（加热水洗、电浆水洗、干式吸附处理系统）和中央废气处理系统（酸性废气处理系统、碱性废气处理系统、有机废气处理系统）两级处理系统处理。外延生长、热氧化+烘烤、掺杂-扩散、化学气相沉积等工序废气采用“POU电加热水洗”工艺预处理，干法蚀刻工序废气采用“POU电浆水洗”工艺预处理。上述经POU系统预处理的工艺废气与硅片加工前清洗、曝光、湿法刻蚀及清洗（酸洗）、湿法去胶及清洗（酸洗）、掺杂-离子注入（非含砷废气）、化学机械抛光后清洗（酸洗）等工序产生的其他酸性废气经管道收集混合后，进入 “碱液喷淋洗涤塔”处理，尾气通过40m高排气筒排放。NOX排放浓度执行《区域性大气污染物综合排放标准》（DB37/2376-2019），氯化氢、硫酸雾、氟化物、氯气排放浓度和等效排放速率、氮氧化物排放速率执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2限值要求；磷化氢、溴化氢排放浓度和排放速率参照 (略) 《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）表1限值要求。湿法刻蚀后清洗（碱洗）、化学机械抛光后清洗（碱洗）等工序产生的碱性废气收集混合后，进入 “酸液喷淋洗涤塔”处理，尾气通过40m高排气筒排放。氨排放速率执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2限值要求。干法去胶工序废气采用“POU电浆水洗”工艺预处理后与光阻涂布、软烘烤、曝光后烘烤、硬烘烤、湿法刻蚀后清洗（有机洗）、湿法去胶及清洗（有机洗）等工序产生的有机废气收集混合后，进入 “沸石转轮吸附浓缩+TO焚烧炉”处理，尾气通过40m高排气筒排放，VOCs排放浓度和排放速率执行《挥发性有机物排放标准第7部分：其他行业》（DB37/2801.7-2019）表1“非重点行业Ⅱ时段”限值要求，颗粒物、二氧化硫、氮氧化物排放浓度执行《区域性大气污染物综合排放标准》（DB37/2376-2019）表1“重点控制区”限值要求。掺杂-离子注入（含砷废气）工序废气采用“POU干式吸附”工艺（吸附剂为活性炭掺杂金属氧化物）预处理后，进入“厂房散热通风排气系统”，尾气通过40m高排气筒排放。砷化氢排放浓度和排放速率参 (略) 《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）表1限值要求。罐区储罐产生的酸性废气、碱性废气及有机废气通过管道收集进入相应的废气处理设施处理后排放。厂界监控点氯化氢、硫酸雾、氟化物、氯气、氮氧化物浓度执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2限值要求；氨浓度执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表1二级新扩改建限值要求；VOCs、臭气浓度执行《挥发性有机物排放标准第7部分：其他行业》（DB37/2801.7-2019）表2限值要求，异*醇浓度执行表3限值要求；厂区内无组织废气中NMHC执行《挥发性有机物无组织排放控制标准》(GB37822—2019)附录A表A.1中特别排放限值要求。严格落实《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB37822-2019）要求，规范废气收集处理设施，减少无组织排放，确保厂区内及厂界无组织排放执行限值要求。项目须严格按照环评报告要求定期更换活性炭、沸石转轮等耗材，留存详细的购买、更换、处置台账，台账至少保存3年。项目废气污染物排放量控制在VOCs 13.05t/a、SO2 0.053t/a、NOx5.71t/a、颗粒物0.027t/a以内。（三）严格落实噪声污染防治措施。车间及生产设备须合理布局，采取减振、隔声等有效的噪声污染防治措施。厂界噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类标准要求。（四）严格落实固体废物污染防治措施。硫酸废液、磷酸废液、硝酸废液、浓氢氟酸废液、废异*醇、有机清洗废液NMP（N-*基吡咯烷酮）、有机清洗废液EKC、废稀释剂EBR、废光阻及去除剂、废润滑油、废离子交换树脂（废水回用制备超纯水）、废抹布/手套等（沾染化学物质的清洗杂物）、废过滤材料、含砷废液和固废、废吸附材料、化学品废包装材料、废铅酸电池、废灯管等危险废物，暂存于现有危废暂存间（127.56m2），委托有危废处置资质单位定期处置。废活性炭（自来水制备超纯水）、废芯片、废靶材、一般废包装材料、废离子交换树脂（新鲜水制备纯水）等一般工业固废，暂存于现有一般工业固废暂存间（786.25m2），硫酸铵废液暂存于厂务废液储罐，外售综合利用；废水处理污泥（氟化钙污泥、研磨污泥）暂存于现有污泥暂存间（200.61m2），定期委外处理。生活垃圾分类收集后定期清运；餐厨垃圾、浮油渣和废油脂定期委外处理。各类固体废物应根据特性分区、分类贮存和管理。一般工业固体废物贮存过程应满足相应防渗漏、防雨淋、防扬尘等环境保护要求；危险废物暂存管理需满足《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2001）及修改单要求，按规范建立一般工业固体废物和危险废物固体废物污染环境防治责任制度、管理台账，确保可溯源并存档备查。（五）严格落实环境风险防范措施。按照《突发环境事件应急管理办法》的相关要求，修订突发环境事件应急预案并向我局备案。对环境污染防范设施依法依规开展安全风险评价、评估和事故隐患排查治理，并按规定报安全生产主管部门。配备充足的环境应急物资，加强应急培训和演练，有效防范、科学处置突发环境事件。项目生产区设置事故检测仪器及报警系统、事故废水“三防控制体系”（利用现有工程1080m3事故水池）等；完善现有环境风险防控体系，落实与周边企业的区域环境风险联控联动机制等。 | |
| 建设单位或地方政府及 有关部门作出的相关环 境保护措施承诺文件： | ||
| 审 批 单 位 | 名称： | (略) 生态环境局西海岸新区分局 |
| 联系电话： | 0532-* | |
| 传真电话： | ||
| 通讯地址： | (略) 西海岸新区双珠路166号2号楼3楼 | |
| 邮政编码： | * | |
| 项目名称： | 芯恩（青岛） (略) 集成电路研发生产一期项目（年产12英寸芯片24万片） | |
| 建设地点： | (略) 西海岸新区山王河路1088号 | |
| 建设单位： | 芯恩（青岛） (略) | |
| 环境影响评价机构： | 青岛 (略) | |
| 公示时间： | 2023年03月14日至2023年03月20日 | |
| 项目概况： | 项目位于青岛西海岸新区红石崖街道办事处山王河路1088号（从园区四号路以南到纵七路以东），依托厂区现有厂房进行建设。项目主要建设内容：新增12英寸集成电路生产设施及多电子束扫描量测设备等配套设施，项目建成后生产规模为年产12英寸芯片产能24万片。项目电学测试工序涉及射线装置，电磁辐射环境影响将另行评价。项目总投资*.6万元，其中环保投资9800万元。 | |
| 主要环境影响及预防或 者减轻不良环境影响的 对策和措施： | 项目设计、建设和运行过程中要认真落实《报告表》提出的各项环境污染防治和风险防范措施，并做好以下工作：（一）严格落实水污染防治措施。项目废水采取分质处理措施。含氨废水、“酸液喷淋洗涤塔”废水通过含氨废水处理系统（采用“吹脱+硫酸吸收法”工艺）处理，尾水排入含氟废水处理系统及深度除氟系统；含氨废水处理系统出水、生产工艺中的含氟废水“碱液喷淋洗涤塔”废水、POU电加热水洗及POU电浆水洗中的含氟废水、超纯水制备系统中的再生含氟废水通过含氟废水处理系统（采用“CaCl2 混凝沉淀法”工艺）、深度除氟系统（采用絮凝沉淀法工艺）处理，尾水排入酸碱废水处理系统；化学机械抛光及清洗生产工艺中的研磨废水通过研磨废水处理系统（采用混凝沉淀法工艺）处理，尾水排入酸碱废水处理系统；深度除氟系统出水、研磨废水处理系统出水、生产工艺中的酸碱废水和有机废水、POU电加热水洗及POU电浆水洗中的酸碱废水、超纯水制备系统中的反渗透浓水和再生酸碱废水、冷冻水系统排水、工艺冷却水系统排水通过酸碱废水处理系统（采用二级中和法工艺）处理，尾水通过企业拟建二期厂区新增废水总排口排入专用管道进入电子信息产业园污水处理厂处理。超纯水制备系统产生的反冲洗水、常温循环冷却水系统排水、生活污水（含餐饮废水）等通过企业一期厂区现有废水 (略) 政污水管网进入龙泉河污水处理厂处理。拟建二期厂区新增废水总排口pH、SS、化学需氧量、氨氮、总氮、总磷、氟化物浓度，一期厂区现有废水总排口化学需氧量、SS、氨氮、动植物油浓度执行《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1中“半导体器件”间接排放标准要求。项目须按照“源头控制、分区防控、污染监控、应急响应”原则，运行过程加强管理，采取防渗、防漏、防腐措施，防止污染地下水和土壤。对工程设计、施工相关档案资料存档。（二）严格落实大气污染防治措施。废气主要为酸性废气、碱性废气、有机废气、天然气燃烧废气、含砷废气。生产厂房为洁净厂房，所有设备均密闭，同时采用负压抽风。项目采用的废气处理工艺包括工艺尾气处理系统（加热水洗、电浆水洗、干式吸附处理系统）和中央废气处理系统（酸性废气处理系统、碱性废气处理系统、有机废气处理系统）两级处理系统处理。外延生长、热氧化+烘烤、掺杂-扩散、化学气相沉积等工序废气采用“POU电加热水洗”工艺预处理，干法蚀刻工序废气采用“POU电浆水洗”工艺预处理。上述经POU系统预处理的工艺废气与硅片加工前清洗、曝光、湿法刻蚀及清洗（酸洗）、湿法去胶及清洗（酸洗）、掺杂-离子注入（非含砷废气）、化学机械抛光后清洗（酸洗）等工序产生的其他酸性废气经管道收集混合后，进入 “碱液喷淋洗涤塔”处理，尾气通过40m高排气筒排放。NOX排放浓度执行《区域性大气污染物综合排放标准》（DB37/2376-2019），氯化氢、硫酸雾、氟化物、氯气排放浓度和等效排放速率、氮氧化物排放速率执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2限值要求；磷化氢、溴化氢排放浓度和排放速率参照 (略) 《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）表1限值要求。湿法刻蚀后清洗（碱洗）、化学机械抛光后清洗（碱洗）等工序产生的碱性废气收集混合后，进入 “酸液喷淋洗涤塔”处理，尾气通过40m高排气筒排放。氨排放速率执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2限值要求。干法去胶工序废气采用“POU电浆水洗”工艺预处理后与光阻涂布、软烘烤、曝光后烘烤、硬烘烤、湿法刻蚀后清洗（有机洗）、湿法去胶及清洗（有机洗）等工序产生的有机废气收集混合后，进入 “沸石转轮吸附浓缩+TO焚烧炉”处理，尾气通过40m高排气筒排放，VOCs排放浓度和排放速率执行《挥发性有机物排放标准第7部分：其他行业》（DB37/2801.7-2019）表1“非重点行业Ⅱ时段”限值要求，颗粒物、二氧化硫、氮氧化物排放浓度执行《区域性大气污染物综合排放标准》（DB37/2376-2019）表1“重点控制区”限值要求。掺杂-离子注入（含砷废气）工序废气采用“POU干式吸附”工艺（吸附剂为活性炭掺杂金属氧化物）预处理后，进入“厂房散热通风排气系统”，尾气通过40m高排气筒排放。砷化氢排放浓度和排放速率参 (略) 《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）表1限值要求。罐区储罐产生的酸性废气、碱性废气及有机废气通过管道收集进入相应的废气处理设施处理后排放。厂界监控点氯化氢、硫酸雾、氟化物、氯气、氮氧化物浓度执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2限值要求；氨浓度执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表1二级新扩改建限值要求；VOCs、臭气浓度执行《挥发性有机物排放标准第7部分：其他行业》（DB37/2801.7-2019）表2限值要求，异*醇浓度执行表3限值要求；厂区内无组织废气中NMHC执行《挥发性有机物无组织排放控制标准》(GB37822—2019)附录A表A.1中特别排放限值要求。严格落实《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB37822-2019）要求，规范废气收集处理设施，减少无组织排放，确保厂区内及厂界无组织排放执行限值要求。项目须严格按照环评报告要求定期更换活性炭、沸石转轮等耗材，留存详细的购买、更换、处置台账，台账至少保存3年。项目废气污染物排放量控制在VOCs 13.05t/a、SO2 0.053t/a、NOx5.71t/a、颗粒物0.027t/a以内。（三）严格落实噪声污染防治措施。车间及生产设备须合理布局，采取减振、隔声等有效的噪声污染防治措施。厂界噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类标准要求。（四）严格落实固体废物污染防治措施。硫酸废液、磷酸废液、硝酸废液、浓氢氟酸废液、废异*醇、有机清洗废液NMP（N-*基吡咯烷酮）、有机清洗废液EKC、废稀释剂EBR、废光阻及去除剂、废润滑油、废离子交换树脂（废水回用制备超纯水）、废抹布/手套等（沾染化学物质的清洗杂物）、废过滤材料、含砷废液和固废、废吸附材料、化学品废包装材料、废铅酸电池、废灯管等危险废物，暂存于现有危废暂存间（127.56m2），委托有危废处置资质单位定期处置。废活性炭（自来水制备超纯水）、废芯片、废靶材、一般废包装材料、废离子交换树脂（新鲜水制备纯水）等一般工业固废，暂存于现有一般工业固废暂存间（786.25m2），硫酸铵废液暂存于厂务废液储罐，外售综合利用；废水处理污泥（氟化钙污泥、研磨污泥）暂存于现有污泥暂存间（200.61m2），定期委外处理。生活垃圾分类收集后定期清运；餐厨垃圾、浮油渣和废油脂定期委外处理。各类固体废物应根据特性分区、分类贮存和管理。一般工业固体废物贮存过程应满足相应防渗漏、防雨淋、防扬尘等环境保护要求；危险废物暂存管理需满足《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2001）及修改单要求，按规范建立一般工业固体废物和危险废物固体废物污染环境防治责任制度、管理台账，确保可溯源并存档备查。（五）严格落实环境风险防范措施。按照《突发环境事件应急管理办法》的相关要求，修订突发环境事件应急预案并向我局备案。对环境污染防范设施依法依规开展安全风险评价、评估和事故隐患排查治理，并按规定报安全生产主管部门。配备充足的环境应急物资，加强应急培训和演练，有效防范、科学处置突发环境事件。项目生产区设置事故检测仪器及报警系统、事故废水“三防控制体系”（利用现有工程1080m3事故水池）等；完善现有环境风险防控体系，落实与周边企业的区域环境风险联控联动机制等。 | |
| 建设单位或地方政府及 有关部门作出的相关环 境保护措施承诺文件： | ||
| 审 批 单 位 | 名称： | (略) 生态环境局西海岸新区分局 |
| 联系电话： | 0532-* | |
| 传真电话： | ||
| 通讯地址： | (略) 西海岸新区双珠路166号2号楼3楼 | |
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