PECVD工艺研发项目-已受理项目

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PECVD工艺研发项目-已受理项目

建设地点: (略) 大兴区西红门镇金 (略) 23号楼1层
公示时间:2023-04-28至2023-05-08
受理时间:2023-04-28
项目概况:利用现有车间,不增加土建内容,增加一台PECVD(等离子体增强化学的气相沉积法)气相镀膜工艺设备,进行外延片镀膜的研发试验。项目建设成后预计年进行研发试验160批次,其中每批研发1片~5片,每次研发最多不超过5片。项目最终目的是根据实验后的外延片,记录实验数据。
行政相对人名称:中科芯电半导体科技(北京)有限公司
联系人:王云凯
联系电话:*
审批部门: (略) 大兴区生态环境局
邮政编码:*
邮寄地址: (略) 大兴区黄村镇兴政南巷8号
传真电话:*
设定依据:1、《中华人民共和国环境保护法》第十九条、第四十一条、第六十一条、第六十三条。2、《中华人民共和国环境影响评价法》第二十二条、第二十三条、第二十四条、第二十五条。3、《中华人民共和国大气污染防治法》第十八条、第二十二条。4、《中华人民共和国水污染防治法》第十九条。5、《中华人民共和国环境噪声污染防治法》第十三条。6、《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》第十三条、第十四条。7、《中华人民共和国放射性污染防治法》第二十九条。8、《建设项目环境保护管理条例》第六条。

建设地点: (略) 大兴区西红门镇金 (略) 23号楼1层
公示时间:2023-04-28至2023-05-08
受理时间:2023-04-28
项目概况:利用现有车间,不增加土建内容,增加一台PECVD(等离子体增强化学的气相沉积法)气相镀膜工艺设备,进行外延片镀膜的研发试验。项目建设成后预计年进行研发试验160批次,其中每批研发1片~5片,每次研发最多不超过5片。项目最终目的是根据实验后的外延片,记录实验数据。
行政相对人名称:中科芯电半导体科技(北京)有限公司
联系人:王云凯
联系电话:*
审批部门: (略) 大兴区生态环境局
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邮寄地址: (略) 大兴区黄村镇兴政南巷8号
传真电话:*
设定依据:1、《中华人民共和国环境保护法》第十九条、第四十一条、第六十一条、第六十三条。2、《中华人民共和国环境影响评价法》第二十二条、第二十三条、第二十四条、第二十五条。3、《中华人民共和国大气污染防治法》第十八条、第二十二条。4、《中华人民共和国水污染防治法》第十九条。5、《中华人民共和国环境噪声污染防治法》第十三条。6、《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》第十三条、第十四条。7、《中华人民共和国放射性污染防治法》第二十九条。8、《建设项目环境保护管理条例》第六条。

    
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