深圳市半导体制造专用光源及检测技术工程研究中心
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深圳市半导体制造专用光源及检测技术工程研究中心
国家编码：2305-*-04-05-*
项目名称：深圳市半导体制造专用光源及检测技术工程研究中心
项目单位：哈尔滨工业大学（深圳）（哈尔滨工业大学深圳科 (略) ）
立项类型：备案
立项时间：2023-05-28
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项目名称：深圳市半导体制造专用光源及检测技术工程研究中心
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