环行审〔2023〕53号

关于安徽领特 (略) 半导体二极管、三极管、晶圆

生产项目环境影响报告表的批复

安徽领特 (略) ：

你公司报送的《安徽领特 (略) 半导体二极管、三极管、晶圆生产项目环境影响报告表》（以下简称《报告表》）收悉。根据《 (略) 生态环境局关于印发< (略) 建设项目环境影响评价文件分级审批管理暂行办法>的通知》文件规定，我局决定受理该项目环评文件，按要求对《报告表》进行审查，并在湾沚区政府信息公开网进行受理与拟审批公示，期间未收到任何异议。现根据《中华人民共和国环境影响评价法及有关法律法规规定，批复如下：

一、安徽领特 (略) 坐落在安徽新芜经济开发区科创二路17号，中心位置地理坐标为东经118^。37^′29^〞，北纬31^。9^′38^〞，新建半导体二极管、三极管、晶圆生产项目。项目占地面积26510.96平方米，建筑面积19051平方米，总投资10000万元，其中，环保投资700万元，环保投资占总投资比例7%。项目主要建设内容为：设置磷硼扩前清洗槽、泡片析片清洗槽、涂磷硼台、沟槽蚀刻槽、镀镍前清洗槽、全自动镀镍机、全自动显定影槽、超声波清洗机等生产设备，配套建设危废暂存库、一般固废库及相应环保处理设施等。项目建成后，将形成年产10亿个二极管、7亿个三级管、20亿个晶圆的生产规模的生产规模。

本项目已经湾沚区发改委登记备案（湾发改备[2021]77号，项目代码2103-*-04-05-*）。项目建设符合国家当前产业政策、湾沚区总体规划及安徽新芜经济开发区发展规划要求，建设单位在采取有效污染控制措施、实现污染物达标排放、满足总量控制要求后，从环境保护角度分析，该项目建设是可行的。我局同意建设单位按《报告表》所列的项目性质、规模、地点、环境保护措施进行建设。

二、项目单位在项目工程设计、建设过程和生产运营中，应认真落实《报告表》中提出的各项环保措施，并重点做好以下几点工作：

1、建设单位应加强施工期环境管理，防止施工废水、扬尘及噪声污染，做好水土保持工作。施工时应采取路面保湿、覆盖等措施，减小扬尘对周围环境的污染；施工期噪声参照执行《建筑施工场界环境噪声排放标准》（GB12523-2011）表1中限值要求。

2、项目须严格按照“雨污分流、清污分流、集中收集、分质处理”的原则建设厂区内排水、污水处理系统。厂区外管网连接须经开发区管委会审核确认。项目外排废水主要为工艺废水（酸性废水、含氟废水、废气洗涤塔废水、含镍金废水）和职工生活污水等，其中，酸性废水、含氟废水、废气洗涤塔废水经pH调节+絮凝沉淀处理+生化处理系统处理达标外排；含镍金废水经混凝沉淀+离子吸附+ RO处理，纯水出水回用到镍金生产工段，RO浓水蒸发结晶处理，不外排；生活污水经高效化粪池处理。废水排 (略) 《半导体行业水污染物排放标准》（DB34/4294-2022）中表2间接排放限值标准和芜湖 (略) 接管标准。涉水区域、排水管道、废水收集池、危废暂存库、化学品库、事故池等重点区域须按规范要求做好相应防腐防渗措施。废水排放口须按要求设置规范化排污口。

3、项目生产工艺废气污染源有清洗、蒸清、去胶、沟槽蚀刻、去氧化膜、台腐、沉积、光刻、铂扩、异*醇清洗、热压、焊接等工序，主要废气污染物有硫酸雾、氯化氢、氟化物、氮氧化物、二*苯、非*烷总烃、锡及其化合物、氨等。其中，清洗、蒸清、去胶、沟槽蚀刻、去氧化膜、台腐废气有效收集由两级碱喷淋塔处理；沉积废气（硅烷、笑气）有效收集由燃烧器+两级碱喷淋处理；光刻、铂扩、异*醇清洗、热压、焊接有效收集经两级活性炭吸附处理。硫酸雾、氯化氢、氟化物、氮氧化物、二*苯、非*烷总烃、锡及其化合物等污染物排放浓度执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）有组织及无组织排放标准；氨气执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）中二级标准；厂区内有机废气无组织排放满足《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB37822-2019）。按规范要求设置排气筒。

4、项目建成投产后，噪声主要来源于设备运行噪声。建设单位应通过合理布局，并采取相应的减振、隔声和吸声等措施，实现厂界噪声达标排放。厂界噪声排放执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类标准。

5、项目生产中产生的各类固体废弃物应根据特性按规范要求分类收集，定期交相关单位处置。其中，废显影液、废光刻胶、废定影液、废活性炭、含镍金污泥、含镍金结晶、镀镍金废液、废包装桶、废化学品包装袋、废RO 膜、废树脂等危险废物必须集中收集后委托有资质单位进行安全处置，并执行危险废物转移申报审批制度，危废库须按《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2001）及其修改单规定建设。其它属于一般工业固废的，排放执行《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》（GB18599-2020）有关规定，集中收集后外售或综合利用；严禁将危险固废夹杂在一般工业固废中外运，杜绝产生二次污染。

6、项目总量控制指标核定为：COD排放总量不得大于1.8663吨/年，NH₃-N排放总量不得大于0.345吨/年；NOx排放总量不得大于0.0353吨/年，VOCs排放总量不得大于0.163吨/年。

7、项目实施过程中应按照“达标排放、清洁生产、总量控制”原则，严格执行配套建设的环境保护设施与主体工程同时设计、同时施工、同时投产使用的环境保护“三同时”制度，落实各项环境保护措施。建设单位在启动生产设施或发生实际排污之前，需申请取得排污许可证或者填报排污登记表。按国家规定的标准和程序实施竣工环境保护验收，未经验收或验收不合格的不得投入生产、使用。

8、建设单位应建立健全环境管理制度，明确专人落实环保工作；切实加强风险防范和危废管理，定期检查、维护、维修污染治理设施，定期委托有资质单位开展达标性检测，确保污染治理设施正常运行。

9、项目须采用先进的工艺、设备和技术，实行清洁生产，严禁使用国家明令禁止、淘汰、落后的生产工艺、设备和产品。

三、项目应严格按照我局批复内容建设，若项目的规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染措施发生重大变动，你公司应严格遵照国家相关法律法规规定，另行报批环评文件。

2023年6月12日

环行审〔2023〕53号

关于安徽领特 (略) 半导体二极管、三极管、晶圆

生产项目环境影响报告表的批复

安徽领特 (略) ：

你公司报送的《安徽领特 (略) 半导体二极管、三极管、晶圆生产项目环境影响报告表》（以下简称《报告表》）收悉。根据《 (略) 生态环境局关于印发< (略) 建设项目环境影响评价文件分级审批管理暂行办法>的通知》文件规定，我局决定受理该项目环评文件，按要求对《报告表》进行审查，并在湾沚区政府信息公开网进行受理与拟审批公示，期间未收到任何异议。现根据《中华人民共和国环境影响评价法及有关法律法规规定，批复如下：

一、安徽领特 (略) 坐落在安徽新芜经济开发区科创二路17号，中心位置地理坐标为东经118^。37^′29^〞，北纬31^。9^′38^〞，新建半导体二极管、三极管、晶圆生产项目。项目占地面积26510.96平方米，建筑面积19051平方米，总投资10000万元，其中，环保投资700万元，环保投资占总投资比例7%。项目主要建设内容为：设置磷硼扩前清洗槽、泡片析片清洗槽、涂磷硼台、沟槽蚀刻槽、镀镍前清洗槽、全自动镀镍机、全自动显定影槽、超声波清洗机等生产设备，配套建设危废暂存库、一般固废库及相应环保处理设施等。项目建成后，将形成年产10亿个二极管、7亿个三级管、20亿个晶圆的生产规模的生产规模。

本项目已经湾沚区发改委登记备案（湾发改备[2021]77号，项目代码2103-*-04-05-*）。项目建设符合国家当前产业政策、湾沚区总体规划及安徽新芜经济开发区发展规划要求，建设单位在采取有效污染控制措施、实现污染物达标排放、满足总量控制要求后，从环境保护角度分析，该项目建设是可行的。我局同意建设单位按《报告表》所列的项目性质、规模、地点、环境保护措施进行建设。

二、项目单位在项目工程设计、建设过程和生产运营中，应认真落实《报告表》中提出的各项环保措施，并重点做好以下几点工作：

1、建设单位应加强施工期环境管理，防止施工废水、扬尘及噪声污染，做好水土保持工作。施工时应采取路面保湿、覆盖等措施，减小扬尘对周围环境的污染；施工期噪声参照执行《建筑施工场界环境噪声排放标准》（GB12523-2011）表1中限值要求。

2、项目须严格按照“雨污分流、清污分流、集中收集、分质处理”的原则建设厂区内排水、污水处理系统。厂区外管网连接须经开发区管委会审核确认。项目外排废水主要为工艺废水（酸性废水、含氟废水、废气洗涤塔废水、含镍金废水）和职工生活污水等，其中，酸性废水、含氟废水、废气洗涤塔废水经pH调节+絮凝沉淀处理+生化处理系统处理达标外排；含镍金废水经混凝沉淀+离子吸附+ RO处理，纯水出水回用到镍金生产工段，RO浓水蒸发结晶处理，不外排；生活污水经高效化粪池处理。废水排 (略) 《半导体行业水污染物排放标准》（DB34/4294-2022）中表2间接排放限值标准和芜湖 (略) 接管标准。涉水区域、排水管道、废水收集池、危废暂存库、化学品库、事故池等重点区域须按规范要求做好相应防腐防渗措施。废水排放口须按要求设置规范化排污口。

3、项目生产工艺废气污染源有清洗、蒸清、去胶、沟槽蚀刻、去氧化膜、台腐、沉积、光刻、铂扩、异*醇清洗、热压、焊接等工序，主要废气污染物有硫酸雾、氯化氢、氟化物、氮氧化物、二*苯、非*烷总烃、锡及其化合物、氨等。其中，清洗、蒸清、去胶、沟槽蚀刻、去氧化膜、台腐废气有效收集由两级碱喷淋塔处理；沉积废气（硅烷、笑气）有效收集由燃烧器+两级碱喷淋处理；光刻、铂扩、异*醇清洗、热压、焊接有效收集经两级活性炭吸附处理。硫酸雾、氯化氢、氟化物、氮氧化物、二*苯、非*烷总烃、锡及其化合物等污染物排放浓度执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）有组织及无组织排放标准；氨气执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）中二级标准；厂区内有机废气无组织排放满足《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB37822-2019）。按规范要求设置排气筒。

4、项目建成投产后，噪声主要来源于设备运行噪声。建设单位应通过合理布局，并采取相应的减振、隔声和吸声等措施，实现厂界噪声达标排放。厂界噪声排放执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类标准。

5、项目生产中产生的各类固体废弃物应根据特性按规范要求分类收集，定期交相关单位处置。其中，废显影液、废光刻胶、废定影液、废活性炭、含镍金污泥、含镍金结晶、镀镍金废液、废包装桶、废化学品包装袋、废RO 膜、废树脂等危险废物必须集中收集后委托有资质单位进行安全处置，并执行危险废物转移申报审批制度，危废库须按《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2001）及其修改单规定建设。其它属于一般工业固废的，排放执行《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》（GB18599-2020）有关规定，集中收集后外售或综合利用；严禁将危险固废夹杂在一般工业固废中外运，杜绝产生二次污染。

6、项目总量控制指标核定为：COD排放总量不得大于1.8663吨/年，NH₃-N排放总量不得大于0.345吨/年；NOx排放总量不得大于0.0353吨/年，VOCs排放总量不得大于0.163吨/年。

7、项目实施过程中应按照“达标排放、清洁生产、总量控制”原则，严格执行配套建设的环境保护设施与主体工程同时设计、同时施工、同时投产使用的环境保护“三同时”制度，落实各项环境保护措施。建设单位在启动生产设施或发生实际排污之前，需申请取得排污许可证或者填报排污登记表。按国家规定的标准和程序实施竣工环境保护验收，未经验收或验收不合格的不得投入生产、使用。

8、建设单位应建立健全环境管理制度，明确专人落实环保工作；切实加强风险防范和危废管理，定期检查、维护、维修污染治理设施，定期委托有资质单位开展达标性检测，确保污染治理设施正常运行。

9、项目须采用先进的工艺、设备和技术，实行清洁生产，严禁使用国家明令禁止、淘汰、落后的生产工艺、设备和产品。

三、项目应严格按照我局批复内容建设，若项目的规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染措施发生重大变动，你公司应严格遵照国家相关法律法规规定，另行报批环评文件。

2023年6月12日