Mini/及车用LED芯片图形化衬底产业化和半导体衬底材料工程技术研究中心项目
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Mini/及车用LED芯片图形化衬底产业化和半导体衬底材料工程技术研究中心项目
| 受理号(号) | * |
| 项目名称 | Mini/Micro LED及车用LED芯片图形化衬底产业化和半导体衬底材料工程技术研究中心项目 |
| 建设地点 | (略) (略) 生态园56号路与东园大道交汇处西侧（东莞生态产业园） |
| 建设单位 | 广东中图半 (略) |
| 环境影响评价机构 | 广东 (略) |
| 项目概况 | Mini/Micro LED及车用LED芯片图形化衬底产业化和半导体衬底材料工程技术研究中心项 (略) 松山湖高新技术产业开发区工业北二路4号（中心坐标：东经：113°55′39.407″；北纬：23°4′25.199″），项目占地面积40000.96m2，建筑面积为53710m2，项目总投资*.69万元，环保投资500万元，主要从事图形化衬底、外延片、芯片的生产、研发。生产：生产4寸图形化衬底(MMS)240万片/年、6寸图形化衬底(MMS)12万片/年、6寸图形化衬底(PSS)108万片/年；实验研发：实验研发6寸外延片12000片/年，6寸芯片3600片/年，8寸图形化衬底1200片/年。 |
| 主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施 | (1)废水：生活污水：项目员工生活污水经隔油隔渣池+三级化粪池预处 (略) 《水污染排放限值》(DB44/26-2001)第二时段三级标准及《污水排入城镇下水道水质标准》(GB/T31962-2015)B等级标准的较严值后， (略) 政截污管网。 项目生产废水经自建污水处理站处理后50% (略) 政污水管网，50%回用于超纯水制备系统、生产废水处理设施处理能力为500m3/d，处理工艺为“pH调节、混凝沉淀、二级缺氧、MBR、精密过滤器、RO反渗透、漂水氧化”，回用水水质达到《城市污水再生利用 工业用水水质》(GB/T19923-2005）中“工艺与产品用水”标准；外排废水水 (略) 《水污染物排放限值》(DB44/26-2001）第二时段三级标准、《污水排入城镇下水道水质标准》(GB/T31962-2015)B等级标准及《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1间接排放中半导体器件标准的较严值 (2)废气： 酸雾废气：收集后经1套Scrubber燃烧水洗式尾气处理器+二级碱液喷淋塔装置处理达标后经33m排气筒高空排放，排放 (略) 地方标准《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）第二时段二级标准。 有机废气：收集后经1套生物净化器+二级活性炭吸附装置处理达标后经33m排气筒高空排放，排放 (略) 《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》(DB44/2367-2022)表1挥发性有机物排放限值； 氨气：收集后经1套酸液喷淋塔装置处理达标后经33m排气筒高空排放，排放可达到《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93）表2恶臭污染物排放标准值； 颗粒物：收集后经1套酸液喷淋塔装置处理达标后经33m排气筒高空排放，排放 (略) 地方标准《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）第二时段二级标准； 废气处理站臭气：收集后经1套生物除臭+活性炭吸附装置处理达标后经15m排气筒高空排放，H2S、NH3、臭气浓度排放可达到《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93）表2恶臭污染物排放标准值； 备用发电机燃烧废气：收集后经1套碱液喷淋装置处理达标后经15m排气筒高空排放，二氧化硫、氮氧化物、烟尘排放 (略) 地方标准《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）第二时段二级标准； 厨房油烟：厨房油烟经油烟净化装置处理达到《饮食业油烟排放标准（试行）》(GB18483-2001）中型标准后由排气筒于所在建筑物天面高空处达标排放，对周围环境影响较小。 厂区内NMHC通过加强原料管理，提高废气收集效率， (略) 《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》(DB44/2367-2022)表3厂区内VOCs无组织排放限值；厂界无组织废气通过加强车间通风，颗粒物、硫酸雾、氟化物、氯气、氯化氢、氮氧化物排放 (略) 地方标准《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）第二时段无组织排放监控浓度限值；H2S、NH3、臭气浓度排放可达到《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93）恶臭污染物厂界标准值中新扩改建二级标准要求。 (3)噪声：通过距离的衰减和墙体的阻隔及减振、消声措施后，厂界噪声可达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中3类标准限值，故项目营运期间生产噪声对周围环境影响不大。 (4)固体废物：项目废包装材料、废石英砂过滤器、反渗透膜（1）、废活性炭、不合格品、废胶膜、废金属材料、废氧化铟锡、废金属氧化物等一般工业固废分 (略) 回收处理；项目废化学品包装容器、废硫酸、废*酮、废异*醇、废去胶液、废ITO刻蚀液、废BOE刻蚀液、废去蜡液、废光刻胶、沾有重金属的废PVC胶膜、废过滤器（外延生长设备）、废活性炭、废反渗透膜（2）、污泥，属于危险废物，收集交有危险废物资质单位回收处理，并执行危险废物转移联单；员工生活垃圾须避雨集中堆放，统一由环卫部门运往垃圾处理场作无害化处理，日产日清。 |
| 公众参与情况 | 无需开展 |
| 相关环保措施承诺 | 严格落实环评文件中的各项环保措施，确保达标排放，并落实风险防范措施，将环境风险降低到可接受水平。 |
| 公示时间 | 2023-06-21 |
| 联系人 | (略) 生态环境局松山湖直属分局 |
| 联系电话 | * |
| 通讯地址 | (略) 松山湖园区红棉路6号创新科技园10号楼228 |
| 初步审查意见 | 根据《中华人民共和国环境影响评价法》、《建设项目环境保护管理条例》、《建设项目环境影响评价分类管理名录》、《建设项目环境影响报告书（表）编制监督管理办法》以及环境影响评价有关技术导则、建设项目环境影响评价审批程序等有关规定，我局对该建设项目的环境影响评价文件（见附件）等材料进行审查，对该建设项目环境影响评价文件作出拟不予批准的审批意见。 |
| 初步审查意见附件 | |
| 备注 | 为体现公开、公正的原则，维护公众环境权益，现拟作出审批意见的环境影响评价文件基本情况予以公示，公示期五个工作日。 听证告知：依据《中华人民共和国行政许可法》，自公示之日五个工作日申请人、利害关系人可对以上拟作出的建设项目环境影响评价文件审批意见提出书面听证申请。 |
| 受理号(号) | * |
| 项目名称 | Mini/Micro LED及车用LED芯片图形化衬底产业化和半导体衬底材料工程技术研究中心项目 |
| 建设地点 | (略) (略) 生态园56号路与东园大道交汇处西侧（东莞生态产业园） |
| 建设单位 | 广东中图半 (略) |
| 环境影响评价机构 | 广东 (略) |
| 项目概况 | Mini/Micro LED及车用LED芯片图形化衬底产业化和半导体衬底材料工程技术研究中心项 (略) 松山湖高新技术产业开发区工业北二路4号（中心坐标：东经：113°55′39.407″；北纬：23°4′25.199″），项目占地面积40000.96m2，建筑面积为53710m2，项目总投资*.69万元，环保投资500万元，主要从事图形化衬底、外延片、芯片的生产、研发。生产：生产4寸图形化衬底(MMS)240万片/年、6寸图形化衬底(MMS)12万片/年、6寸图形化衬底(PSS)108万片/年；实验研发：实验研发6寸外延片12000片/年，6寸芯片3600片/年，8寸图形化衬底1200片/年。 |
| 主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施 | (1)废水：生活污水：项目员工生活污水经隔油隔渣池+三级化粪池预处 (略) 《水污染排放限值》(DB44/26-2001)第二时段三级标准及《污水排入城镇下水道水质标准》(GB/T31962-2015)B等级标准的较严值后， (略) 政截污管网。 项目生产废水经自建污水处理站处理后50% (略) 政污水管网，50%回用于超纯水制备系统、生产废水处理设施处理能力为500m3/d，处理工艺为“pH调节、混凝沉淀、二级缺氧、MBR、精密过滤器、RO反渗透、漂水氧化”，回用水水质达到《城市污水再生利用 工业用水水质》(GB/T19923-2005）中“工艺与产品用水”标准；外排废水水 (略) 《水污染物排放限值》(DB44/26-2001）第二时段三级标准、《污水排入城镇下水道水质标准》(GB/T31962-2015)B等级标准及《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1间接排放中半导体器件标准的较严值 (2)废气： 酸雾废气：收集后经1套Scrubber燃烧水洗式尾气处理器+二级碱液喷淋塔装置处理达标后经33m排气筒高空排放，排放 (略) 地方标准《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）第二时段二级标准。 有机废气：收集后经1套生物净化器+二级活性炭吸附装置处理达标后经33m排气筒高空排放，排放 (略) 《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》(DB44/2367-2022)表1挥发性有机物排放限值； 氨气：收集后经1套酸液喷淋塔装置处理达标后经33m排气筒高空排放，排放可达到《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93）表2恶臭污染物排放标准值； 颗粒物：收集后经1套酸液喷淋塔装置处理达标后经33m排气筒高空排放，排放 (略) 地方标准《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）第二时段二级标准； 废气处理站臭气：收集后经1套生物除臭+活性炭吸附装置处理达标后经15m排气筒高空排放，H2S、NH3、臭气浓度排放可达到《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93）表2恶臭污染物排放标准值； 备用发电机燃烧废气：收集后经1套碱液喷淋装置处理达标后经15m排气筒高空排放，二氧化硫、氮氧化物、烟尘排放 (略) 地方标准《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）第二时段二级标准； 厨房油烟：厨房油烟经油烟净化装置处理达到《饮食业油烟排放标准（试行）》(GB18483-2001）中型标准后由排气筒于所在建筑物天面高空处达标排放，对周围环境影响较小。 厂区内NMHC通过加强原料管理，提高废气收集效率， (略) 《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》(DB44/2367-2022)表3厂区内VOCs无组织排放限值；厂界无组织废气通过加强车间通风，颗粒物、硫酸雾、氟化物、氯气、氯化氢、氮氧化物排放 (略) 地方标准《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）第二时段无组织排放监控浓度限值；H2S、NH3、臭气浓度排放可达到《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93）恶臭污染物厂界标准值中新扩改建二级标准要求。 (3)噪声：通过距离的衰减和墙体的阻隔及减振、消声措施后，厂界噪声可达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中3类标准限值，故项目营运期间生产噪声对周围环境影响不大。 (4)固体废物：项目废包装材料、废石英砂过滤器、反渗透膜（1）、废活性炭、不合格品、废胶膜、废金属材料、废氧化铟锡、废金属氧化物等一般工业固废分 (略) 回收处理；项目废化学品包装容器、废硫酸、废*酮、废异*醇、废去胶液、废ITO刻蚀液、废BOE刻蚀液、废去蜡液、废光刻胶、沾有重金属的废PVC胶膜、废过滤器（外延生长设备）、废活性炭、废反渗透膜（2）、污泥，属于危险废物，收集交有危险废物资质单位回收处理，并执行危险废物转移联单；员工生活垃圾须避雨集中堆放，统一由环卫部门运往垃圾处理场作无害化处理，日产日清。 |
| 公众参与情况 | 无需开展 |
| 相关环保措施承诺 | 严格落实环评文件中的各项环保措施，确保达标排放，并落实风险防范措施，将环境风险降低到可接受水平。 |
| 公示时间 | 2023-06-21 |
| 联系人 | (略) 生态环境局松山湖直属分局 |
| 联系电话 | * |
| 通讯地址 | (略) 松山湖园区红棉路6号创新科技园10号楼228 |
| 初步审查意见 | 根据《中华人民共和国环境影响评价法》、《建设项目环境保护管理条例》、《建设项目环境影响评价分类管理名录》、《建设项目环境影响报告书（表）编制监督管理办法》以及环境影响评价有关技术导则、建设项目环境影响评价审批程序等有关规定，我局对该建设项目的环境影响评价文件（见附件）等材料进行审查，对该建设项目环境影响评价文件作出拟不予批准的审批意见。 |
| 初步审查意见附件 | |
| 备注 | 为体现公开、公正的原则，维护公众环境权益，现拟作出审批意见的环境影响评价文件基本情况予以公示，公示期五个工作日。 听证告知：依据《中华人民共和国行政许可法》，自公示之日五个工作日申请人、利害关系人可对以上拟作出的建设项目环境影响评价文件审批意见提出书面听证申请。 |
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