3DNAND产线装备关键零部件开发及产业化应用-备案查询
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3DNAND产线装备关键零部件开发及产业化应用-备案查询
项目名称:3D NAND产线装备关键零部件开发及产业化应用
建设内容及规模:本项目组织开展52种关键零部件国产化研发攻关，对应零部件在3D NAND 存储器生产制造工艺中进行应用验证。本项目总投资27亿元，新增购置必要软硬件42台（套），采购额约13亿元。项目期内，相关零部件性能和可靠性达到长江存储产线应用要求。
项目单位:长江 (略)
法人代表姓名:陈南翔
申报日期:2023-07-03 16:56:39
项目名称:3D NAND产线装备关键零部件开发及产业化应用
建设内容及规模:本项目组织开展52种关键零部件国产化研发攻关，对应零部件在3D NAND 存储器生产制造工艺中进行应用验证。本项目总投资27亿元，新增购置必要软硬件42台（套），采购额约13亿元。项目期内，相关零部件性能和可靠性达到长江存储产线应用要求。
项目单位:长江 (略)
法人代表姓名:陈南翔
申报日期:2023-07-03 16:56:39
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