项目名称

天津中环 (略) 节能型功率器件用半导体单晶硅片项目

建设地点

天津滨海高新区华苑科技园（环外）海泰东路18号

建设单位

天津中环 (略)

环境影响评价机构

众信汇达（天津） (略)

项目概况

天津中环 (略) 位于天津滨海高新区华苑科技园（环外），现有两个厂区分别位于海泰东路12号（以下简称“老厂区”）和海泰东路18号（以下简称“新厂区”）。该公司拟投资*万元，建设节能型功率器件用半导体单晶硅片项目，该项目利用新厂区“天津中环领先半导体硅片项目（一期）工程”建设的厂房及配套建构筑物，购置安装线切机、清洗机、喷砂机等生产及配套设备；同时在老厂区内建设辅助制氢设施；该项目占地面积45948平方米，其中新厂区43617平方米、老厂区2331平方米，建筑面积36243.64平方米。项目建成后具备月产60万片半导体硅片的生产能力。该项目环保投资2775万元，主要用于施工期污染防治措施、运营期废气治理措施、废水处理措施、噪声防治措施、固体废物暂存措施及排污口规范化等。

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

根据该项目环境影响报告书分析结论：

（一）粘棒工序和抛光蜡使用工序在密闭车间进行，产生的废气经密闭负压收集后，引至1套二级活性炭净化设施处理后，通过1根25米高排气筒P1排放；

酸腐工序产生的废气经设备密闭收集后，引至三级洗涤塔进行净化后，通过1根25米高排气筒P2排放;

喷砂后清洗、背封前清洗、背封炉轨道清洗、去边、抛光后清洗、最终清洗工序、外延后清洗工序产生的废气经设备封闭收集；配液间内产生的废气经送排风系统收集；外延工序产生的废气经设备密闭收集，通过设备配套的“三级水洗+燃烧系统+一级水洗”预处理；上述经收集、预处理的废气一并通过碱洗塔进行净化处理后，通过1根25米高排气筒P3排放；

背封工序产生的废气经封闭收集后，引至硅烷燃烧塔（氧气助燃）+洗涤塔处理设施净化处理后，通过1根25米高排气筒P4排放；

辅助制氢系统转化炉配有低氮燃烧器，产生的废气经收集后，分别经2根30米高排气筒P5、P6排放；燃气热水锅炉配有低氮燃烧器，产生的废气经收集后，通过1根30米高排气筒P7排放。

排气筒P1排放的TRVOC、非*烷总烃排放浓度及排放速率须满足《工业企业挥发性有机物排放控制标准》（DB12/524-2020）相应限值要求，*酮排放速率及臭气浓度须满足《恶臭污染物排放标准》（DB12/059-2018）相应限值要求；排气筒P2排放的氟化物、氮氧化物排放浓度及排放速率须满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）相应限值要求，TRVOC、非*烷总烃排放浓度及排放速率须满足《工业企业挥发性有机物排放控制标准》（DB12/524-2020）相应限值要求，臭气浓度须满足《恶臭污染物排放标准》（DB12/059-2018）相应限值要求；排气筒P3排放的氟化物、氯化氢排放浓度及排放速率须满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）相应限值要求，氨排放速率及臭气浓度须满足《恶臭污染物排放标准》（DB12/059-2018）相应限值要求；排气筒P4排放的颗粒物排放浓度及排放速率须满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）相应限值要求；排气筒P5、P6排放的颗粒物、二氧化硫、氮氧化物的排放浓度须满足《石油化学工业污染物排放标准》（GB31571-2015）相应限值要求；排气筒P7排放的颗粒物、二氧化硫、氮氧化物、一氧化碳排放浓度和烟气黑度须满足《锅炉大气污染物排放标准》（DB12/151-2020）相应限值要求。

（二）项目产生的回用水经收集后作为纯水制备系统原水使用，不外排。生产废水、外延废气净化废水、喷淋塔废水经废水收集池按水质分类，依托位于老厂区的提升改造后TCL中环新 (略) 污水处理站处理后，通过老厂区总排口DW (略) 政污水管网，最终进入咸阳路污水处理厂集中处理；循环冷却系统排水、纯水制备排污水与经化粪池沉淀后的生活污水一同经新厂区总排口DW (略) 政污水管网，最终进入咸阳路污水处理厂集中处理。DW002排放的水质中BOD5浓度须满足《污水综合排放标准》（DB12/356-2018）三级排放限值要求；DW001、DW002排放的水质中PH、COD、SS、氨氮、总氮、总磷、氟化物、LAS、石油类、TOC浓度须满足《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）排放限值要求。

（三）生产设备、风机、冷却塔等设备为主要噪声源，应优先选用低噪声设备，经隔声减振等措施，确保厂界噪声满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008）4类标准限值要求。

（四）固体废物分类收集。废胶、混酸废酸液、氢氟酸废酸液、含抛光蜡废液、废加氢催化剂、废脱硫剂、废转化催化剂、废变换催化剂、废PSA吸附剂、废过滤棉、废活性炭、废润滑油、废油桶、含油抹布、废化学品包装物属于危险废物，交由有资质单位统一处置；废晶棒、废硅片及辅助材料、废弃包装材料属于一般固体废物，交由物资回收部门回收处理；生活垃圾袋装收集， (略) 管理部门定期清运。确保处置去向合理，避免产生二次污染。

（五）加强对危险物料的管理，制定应急预案，落实各项事故防范、减缓措施，有效避免事故发生。

公众参与情况

2023年7月13日至2023年7月26日受理公示期间未收到公众意见

公示时间

2023年7月31日至2023年8月4日

项目名称

天津中环 (略) 节能型功率器件用半导体单晶硅片项目

建设地点

天津滨海高新区华苑科技园（环外）海泰东路18号

建设单位

天津中环 (略)

环境影响评价机构

众信汇达（天津） (略)

项目概况

天津中环 (略) 位于天津滨海高新区华苑科技园（环外），现有两个厂区分别位于海泰东路12号（以下简称“老厂区”）和海泰东路18号（以下简称“新厂区”）。该公司拟投资*万元，建设节能型功率器件用半导体单晶硅片项目，该项目利用新厂区“天津中环领先半导体硅片项目（一期）工程”建设的厂房及配套建构筑物，购置安装线切机、清洗机、喷砂机等生产及配套设备；同时在老厂区内建设辅助制氢设施；该项目占地面积45948平方米，其中新厂区43617平方米、老厂区2331平方米，建筑面积36243.64平方米。项目建成后具备月产60万片半导体硅片的生产能力。该项目环保投资2775万元，主要用于施工期污染防治措施、运营期废气治理措施、废水处理措施、噪声防治措施、固体废物暂存措施及排污口规范化等。

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

根据该项目环境影响报告书分析结论：

（一）粘棒工序和抛光蜡使用工序在密闭车间进行，产生的废气经密闭负压收集后，引至1套二级活性炭净化设施处理后，通过1根25米高排气筒P1排放；

酸腐工序产生的废气经设备密闭收集后，引至三级洗涤塔进行净化后，通过1根25米高排气筒P2排放;

喷砂后清洗、背封前清洗、背封炉轨道清洗、去边、抛光后清洗、最终清洗工序、外延后清洗工序产生的废气经设备封闭收集；配液间内产生的废气经送排风系统收集；外延工序产生的废气经设备密闭收集，通过设备配套的“三级水洗+燃烧系统+一级水洗”预处理；上述经收集、预处理的废气一并通过碱洗塔进行净化处理后，通过1根25米高排气筒P3排放；

背封工序产生的废气经封闭收集后，引至硅烷燃烧塔（氧气助燃）+洗涤塔处理设施净化处理后，通过1根25米高排气筒P4排放；

辅助制氢系统转化炉配有低氮燃烧器，产生的废气经收集后，分别经2根30米高排气筒P5、P6排放；燃气热水锅炉配有低氮燃烧器，产生的废气经收集后，通过1根30米高排气筒P7排放。

排气筒P1排放的TRVOC、非*烷总烃排放浓度及排放速率须满足《工业企业挥发性有机物排放控制标准》（DB12/524-2020）相应限值要求，*酮排放速率及臭气浓度须满足《恶臭污染物排放标准》（DB12/059-2018）相应限值要求；排气筒P2排放的氟化物、氮氧化物排放浓度及排放速率须满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）相应限值要求，TRVOC、非*烷总烃排放浓度及排放速率须满足《工业企业挥发性有机物排放控制标准》（DB12/524-2020）相应限值要求，臭气浓度须满足《恶臭污染物排放标准》（DB12/059-2018）相应限值要求；排气筒P3排放的氟化物、氯化氢排放浓度及排放速率须满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）相应限值要求，氨排放速率及臭气浓度须满足《恶臭污染物排放标准》（DB12/059-2018）相应限值要求；排气筒P4排放的颗粒物排放浓度及排放速率须满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）相应限值要求；排气筒P5、P6排放的颗粒物、二氧化硫、氮氧化物的排放浓度须满足《石油化学工业污染物排放标准》（GB31571-2015）相应限值要求；排气筒P7排放的颗粒物、二氧化硫、氮氧化物、一氧化碳排放浓度和烟气黑度须满足《锅炉大气污染物排放标准》（DB12/151-2020）相应限值要求。

（二）项目产生的回用水经收集后作为纯水制备系统原水使用，不外排。生产废水、外延废气净化废水、喷淋塔废水经废水收集池按水质分类，依托位于老厂区的提升改造后TCL中环新 (略) 污水处理站处理后，通过老厂区总排口DW (略) 政污水管网，最终进入咸阳路污水处理厂集中处理；循环冷却系统排水、纯水制备排污水与经化粪池沉淀后的生活污水一同经新厂区总排口DW (略) 政污水管网，最终进入咸阳路污水处理厂集中处理。DW002排放的水质中BOD5浓度须满足《污水综合排放标准》（DB12/356-2018）三级排放限值要求；DW001、DW002排放的水质中PH、COD、SS、氨氮、总氮、总磷、氟化物、LAS、石油类、TOC浓度须满足《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）排放限值要求。

（三）生产设备、风机、冷却塔等设备为主要噪声源，应优先选用低噪声设备，经隔声减振等措施，确保厂界噪声满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008）4类标准限值要求。

（四）固体废物分类收集。废胶、混酸废酸液、氢氟酸废酸液、含抛光蜡废液、废加氢催化剂、废脱硫剂、废转化催化剂、废变换催化剂、废PSA吸附剂、废过滤棉、废活性炭、废润滑油、废油桶、含油抹布、废化学品包装物属于危险废物，交由有资质单位统一处置；废晶棒、废硅片及辅助材料、废弃包装材料属于一般固体废物，交由物资回收部门回收处理；生活垃圾袋装收集， (略) 管理部门定期清运。确保处置去向合理，避免产生二次污染。

（五）加强对危险物料的管理，制定应急预案，落实各项事故防范、减缓措施，有效避免事故发生。

公众参与情况

2023年7月13日至2023年7月26日受理公示期间未收到公众意见

公示时间

2023年7月31日至2023年8月4日