建设项目名称

建设单位名称

建设地点

环评文件编制单位名称

建设项目概况

主要环境影响和环境保护对策与措施

建设单位开展的公众参与情况

公示起止日期

中电晶华（天津） (略) 6～8英寸硅外延片生产线扩产项目

中电晶华（天津） (略)

(略) 津南区八里台镇丰泽四大道7号

世纪鑫海（天津） (略)

(略) 场需求，扩大企业经营生产范围，中电晶华（天津） (略) 拟投资15000万元建设“中电晶华（天津） (略) 6～8英寸硅外延片生产线扩产项目 ”（以下简称“本项目”），本项目在现有厂区内新增6#设备间为存放三氯氢硅的槽车气站使用场所，新增7#设备间为存放氯化氢的槽车气站使用场所，建设主体为 (略) 第四十六研究所，使用主体为中电晶华（天津） (略) ；本项目主要生产设备在现有厂房内建设生产，现有厂房建筑面积、占地面积不变。

建设内容主要为：购置安装外延炉及其配套设备设施（尾气处理器、气体纯化系统、气体面板及管道、 外延清洗设备、测试仪器（表面颗粒度测试仪、外延电阻率测试仪、几何参数测试仪））等，部分设备利旧，不涉及现有工程改造，本项目建成后预计增加产量6～8英寸硅外延片100万片。

1.废气

本项目废气污染源主要为①外延沉积过程产生的氯化氢气体，分别经外延炉自带的水喷淋式尾气处理器进行处理，每台水喷淋式尾气处理器的风量均为800m³/h，本项目共12台外延炉（26个反应腔），配备27个水喷淋式尾气处理器，净化后通过27根均为25m高的排气筒P1-P27排放；②特气柜切换气瓶工序产生的氯化氢气体，经一套水喷淋式尾气处理器进行处理，水喷淋式尾气处理器的风量为800m³/h，净化后通过1根25m高排气筒P28排放；③钟罩清洗工序、擦拭钟罩工序产生的氟化物、NO₂气体，外延氧化工序产生的氟化物，尾气清洗工序产生的氟化物，依托 (略) 第四十六研究所建设的酸性气体洗涤塔（编号为AID-001）进行处理，酸性气体洗涤塔（编号为AID-001）的处理能力为40000m³/h，处理后由一根32m高排气筒P29排放；④外延清洗工序产生的HCl气体，依托 (略) 第四十六研究所建设的酸性气体洗涤塔（编号为AID-002）进行处理，酸性气体洗涤塔（编号为AID-002）的处理能力为30000m³/h，处理后由一根32m高排气筒P30排放；⑤外延清洗工序产生的NH₃气体，依托 (略) 第四十六研究所建设的碱性气体洗涤塔（编号为AKI-002）进行处理，碱性气体洗涤塔（编号为AKI-002）的处理能力为24000m³/h，处理后由一根32m高排气筒P31排放。

2.废水

本项目外排废水主要为员工生活污水及生产废水，其中生产废水包括水喷淋式尾气处理器废水、外延清洗废水、钟罩清洗废水、外延氧化废水、尾气清洗废水、洗衣废水、纯水以及超纯水制备产生的排浓水，以上废水均排入 (略) 第四十六研究所建设的1套污水处理站处理，生活污水经化粪池静置沉淀，最终均通过 (略) 第四十六研究所的总排口排至双林污水处理厂，本项目污水排口依托 (略) 第四十六研究所的总排口，总排口由 (略) 第四十六研究所负责。3.噪声

室内设备噪声通过采取基础减振、墙体隔声等防治措施；风机等室外设备装隔声罩、风机进出风管道接口软管相连等降噪措施。四侧厂界噪声排放能达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准要求。

4.固体废物

一般工业固废主要包括废包装材料，不合格衬底片及报废硅外延片，废包装材料定期交由物资部门回收利用，不合格衬底片定期返回厂家，报废硅外延片定期外售；危险废物主要包括废包装瓶/废包装桶（氢氟酸、双氧水、硝酸、盐酸、氨水），废包装管（真空油脂），废包装瓶（汞珠），废汞珠，废防酸手套，废活性炭口罩，废防护面罩，废防酸皮裙，废防护服，废浴花，以上危险废物均暂存于危险废物暂存间内，定期委托具有相应处理资质单位处理；生活垃圾由城管委统一清运。各类固体废物处置去向明确，不会产生二次污染。

依据《环境影响评价公众参与办法》（生态环境部令第4号，2019.1.1）有关有求，建设单位通过网站、报纸及项目所在地公众易于知悉的场所张贴公告的方式同时进行了征求意见稿公示。建设项目公示期间未收到公众反对意见和质疑，建设项目的建设和运营对周围环境的影响表示可以接受。

2023.8.3-2023.8.9

建设项目名称

建设单位名称

建设地点

环评文件编制单位名称

建设项目概况

主要环境影响和环境保护对策与措施

建设单位开展的公众参与情况

公示起止日期

中电晶华（天津） (略) 6～8英寸硅外延片生产线扩产项目

中电晶华（天津） (略)

(略) 津南区八里台镇丰泽四大道7号

世纪鑫海（天津） (略)

(略) 场需求，扩大企业经营生产范围，中电晶华（天津） (略) 拟投资15000万元建设“中电晶华（天津） (略) 6～8英寸硅外延片生产线扩产项目 ”（以下简称“本项目”），本项目在现有厂区内新增6#设备间为存放三氯氢硅的槽车气站使用场所，新增7#设备间为存放氯化氢的槽车气站使用场所，建设主体为 (略) 第四十六研究所，使用主体为中电晶华（天津） (略) ；本项目主要生产设备在现有厂房内建设生产，现有厂房建筑面积、占地面积不变。

建设内容主要为：购置安装外延炉及其配套设备设施（尾气处理器、气体纯化系统、气体面板及管道、 外延清洗设备、测试仪器（表面颗粒度测试仪、外延电阻率测试仪、几何参数测试仪））等，部分设备利旧，不涉及现有工程改造，本项目建成后预计增加产量6～8英寸硅外延片100万片。

1.废气

本项目废气污染源主要为①外延沉积过程产生的氯化氢气体，分别经外延炉自带的水喷淋式尾气处理器进行处理，每台水喷淋式尾气处理器的风量均为800m³/h，本项目共12台外延炉（26个反应腔），配备27个水喷淋式尾气处理器，净化后通过27根均为25m高的排气筒P1-P27排放；②特气柜切换气瓶工序产生的氯化氢气体，经一套水喷淋式尾气处理器进行处理，水喷淋式尾气处理器的风量为800m³/h，净化后通过1根25m高排气筒P28排放；③钟罩清洗工序、擦拭钟罩工序产生的氟化物、NO₂气体，外延氧化工序产生的氟化物，尾气清洗工序产生的氟化物，依托 (略) 第四十六研究所建设的酸性气体洗涤塔（编号为AID-001）进行处理，酸性气体洗涤塔（编号为AID-001）的处理能力为40000m³/h，处理后由一根32m高排气筒P29排放；④外延清洗工序产生的HCl气体，依托 (略) 第四十六研究所建设的酸性气体洗涤塔（编号为AID-002）进行处理，酸性气体洗涤塔（编号为AID-002）的处理能力为30000m³/h，处理后由一根32m高排气筒P30排放；⑤外延清洗工序产生的NH₃气体，依托 (略) 第四十六研究所建设的碱性气体洗涤塔（编号为AKI-002）进行处理，碱性气体洗涤塔（编号为AKI-002）的处理能力为24000m³/h，处理后由一根32m高排气筒P31排放。

2.废水

本项目外排废水主要为员工生活污水及生产废水，其中生产废水包括水喷淋式尾气处理器废水、外延清洗废水、钟罩清洗废水、外延氧化废水、尾气清洗废水、洗衣废水、纯水以及超纯水制备产生的排浓水，以上废水均排入 (略) 第四十六研究所建设的1套污水处理站处理，生活污水经化粪池静置沉淀，最终均通过 (略) 第四十六研究所的总排口排至双林污水处理厂，本项目污水排口依托 (略) 第四十六研究所的总排口，总排口由 (略) 第四十六研究所负责。3.噪声

室内设备噪声通过采取基础减振、墙体隔声等防治措施；风机等室外设备装隔声罩、风机进出风管道接口软管相连等降噪措施。四侧厂界噪声排放能达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准要求。

4.固体废物

一般工业固废主要包括废包装材料，不合格衬底片及报废硅外延片，废包装材料定期交由物资部门回收利用，不合格衬底片定期返回厂家，报废硅外延片定期外售；危险废物主要包括废包装瓶/废包装桶（氢氟酸、双氧水、硝酸、盐酸、氨水），废包装管（真空油脂），废包装瓶（汞珠），废汞珠，废防酸手套，废活性炭口罩，废防护面罩，废防酸皮裙，废防护服，废浴花，以上危险废物均暂存于危险废物暂存间内，定期委托具有相应处理资质单位处理；生活垃圾由城管委统一清运。各类固体废物处置去向明确，不会产生二次污染。

依据《环境影响评价公众参与办法》（生态环境部令第4号，2019.1.1）有关有求，建设单位通过网站、报纸及项目所在地公众易于知悉的场所张贴公告的方式同时进行了征求意见稿公示。建设项目公示期间未收到公众反对意见和质疑，建设项目的建设和运营对周围环境的影响表示可以接受。

2023.8.3-2023.8.9