1

大MEMS器件研发与制造

(略) 高新区毕原三路3000号

浙江 (略)

(略) 现代建 (略)

项 (略) 高新区毕原三路3000号。项目总投资3200万元，其中环保投资310.5万元。本项目建设MEMS光电器件制造工艺平台，用于MEMS光电器件研发、制造和辅助配套，年生产MEMS光电器件5000片，其中4500片为产品，500片为研发实验的不良品。

（1）废气：碱性废气经负压收集+管道输送+酸液喷淋洗涤吸收塔由排气筒排放；酸性废气经负压收集+管道输送+碱液喷淋洗涤吸收塔由排气筒排放；有机废气：负压收集+管道输送+活性炭吸附塔后由排气筒；

（2）废水：生产废水清洗废水送废水站含氨废水系统处理；显影清洗废水、湿蚀刻清洗废水、去胶液清洗废水、异*醇清洗废水送废水站芬顿废水系统处理；酸液喷淋洗涤吸收塔排污水送废水站含氨废水系统处理，碱液喷淋洗涤吸收塔排污水送废水站芬顿废水系统处理；纯水制备产生的浓水和经处理的生产废水 (略) 第七污水处理厂进一步处理；生活污水依托园区化粪池 (略) 政污水管网；

（3）噪声：噪声主要为设备运行噪声，泵类经采用低噪声设备、基础减振、出口软管连接等措施后达标排放；风机、空压机经采用低噪声设备、基础减振、阻性消声器等措施后达标排放；

（4）固废：生产过程中产生的清洗废液、涂胶废液、废Led灯、显影废液、湿蚀刻废液、去胶液废液等分类集中收集后，暂存于危险废物贮存间内，定期交由有资质单位统一外运处置。废反渗透膜、废活性炭由厂家回收后再利用。生活垃圾由环卫部门统一处理。

报告表类项目，未开展公众调查意见。

1

大MEMS器件研发与制造

(略) 高新区毕原三路3000号

浙江 (略)

(略) 现代建 (略)

项 (略) 高新区毕原三路3000号。项目总投资3200万元，其中环保投资310.5万元。本项目建设MEMS光电器件制造工艺平台，用于MEMS光电器件研发、制造和辅助配套，年生产MEMS光电器件5000片，其中4500片为产品，500片为研发实验的不良品。

（1）废气：碱性废气经负压收集+管道输送+酸液喷淋洗涤吸收塔由排气筒排放；酸性废气经负压收集+管道输送+碱液喷淋洗涤吸收塔由排气筒排放；有机废气：负压收集+管道输送+活性炭吸附塔后由排气筒；

（2）废水：生产废水清洗废水送废水站含氨废水系统处理；显影清洗废水、湿蚀刻清洗废水、去胶液清洗废水、异*醇清洗废水送废水站芬顿废水系统处理；酸液喷淋洗涤吸收塔排污水送废水站含氨废水系统处理，碱液喷淋洗涤吸收塔排污水送废水站芬顿废水系统处理；纯水制备产生的浓水和经处理的生产废水 (略) 第七污水处理厂进一步处理；生活污水依托园区化粪池 (略) 政污水管网；

（3）噪声：噪声主要为设备运行噪声，泵类经采用低噪声设备、基础减振、出口软管连接等措施后达标排放；风机、空压机经采用低噪声设备、基础减振、阻性消声器等措施后达标排放；

（4）固废：生产过程中产生的清洗废液、涂胶废液、废Led灯、显影废液、湿蚀刻废液、去胶液废液等分类集中收集后，暂存于危险废物贮存间内，定期交由有资质单位统一外运处置。废反渗透膜、废活性炭由厂家回收后再利用。生活垃圾由环卫部门统一处理。

报告表类项目，未开展公众调查意见。